【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及感光性樹(shù)脂組合物、抗蝕劑膜、抗蝕劑下層膜及抗蝕劑永久膜。
技術(shù)介紹
1、近年來(lái)，隨著電子設(shè)備的小型化，半導(dǎo)體封裝的高密度化不斷發(fā)展。半導(dǎo)體封裝的高密度化與半導(dǎo)體元件的進(jìn)一步微細(xì)化要求相結(jié)合，對(duì)表面保護(hù)膜、層間絕緣膜等要求形成數(shù)μm的微細(xì)圖案。
2、以往，半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜等廣泛使用耐熱性、機(jī)械特性等優(yōu)異的使用聚酰亞胺樹(shù)脂等的正型感光性樹(shù)脂組合物。通常，聚酰亞胺樹(shù)脂通過(guò)加熱固化使它們的前體涂膜閉環(huán)而形成樹(shù)脂涂膜。該樹(shù)脂涂膜具有優(yōu)異的耐熱性、機(jī)械特性。然而，使用聚酰亞胺前體的正型感光性樹(shù)脂組合物在加熱固化時(shí)會(huì)發(fā)生由脫水引起的體積收縮，存在發(fā)生膜厚損失和尺寸精度降低的問(wèn)題。另外，近年來(lái)，期望低溫下的膜形成工藝，但若在低溫下使聚酰亞胺固化，則酰亞胺化不完全，因此存在無(wú)法得到令人滿意的物性的課題。
3、因此，提出了一種使用了酚醛樹(shù)脂、感光劑和熱交聯(lián)劑的正型感光性樹(shù)脂組合物，其不發(fā)生由加熱固化引起的脫水，能夠在低溫下固化，且固化后具有優(yōu)異的機(jī)械特性(例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的正型感光性樹(shù)脂組合物中，作為基礎(chǔ)的酚醛樹(shù)脂缺乏堿溶解性和感光劑親和性，不適合形成微細(xì)圖案。
4、因此，為了實(shí)現(xiàn)微細(xì)圖案形成，還提出了使用改性酚醛樹(shù)脂的正型樹(shù)脂組合物(例如專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2記載的正型感光性樹(shù)脂組合物中，依然存在酚醛樹(shù)脂的堿溶解性和感光劑親和性的課題，并未實(shí)現(xiàn)令人滿意的微細(xì)圖案形成。
5、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
6、專(zhuān)利文獻(xiàn)
7、專(zhuān)利文
8、專(zhuān)利文獻(xiàn)2：國(guó)際公開(kāi)第2009/063808號(hào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、專(zhuān)利技術(shù)所要解決的課題
2、隨著半導(dǎo)體封裝的高密度化、圖案的微細(xì)化，要求開(kāi)發(fā)一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其由除了高的堿溶解性以外還具有高的感光劑親和性的酚醛樹(shù)脂構(gòu)成，在制成抗蝕劑膜時(shí)具有低溫固化性、低體積收縮性。
3、本專(zhuān)利技術(shù)的目的在于提供一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其具有以往的正型感光性樹(shù)脂組合物所沒(méi)有的堿溶解性、感光劑親和性以及在制成抗蝕劑膜時(shí)的低溫固化性及低體積收縮性。
4、用于解決課題的方法
5、本專(zhuān)利技術(shù)人等為了解決上述課題而進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，包含具有特定結(jié)構(gòu)單元的酚醛清漆型酚醛樹(shù)脂組合物、感光劑、熱交聯(lián)劑和有機(jī)溶劑的正型感光性樹(shù)脂組合物的堿溶解性和感光劑親和性優(yōu)異，并且在制成抗蝕劑膜時(shí)低溫固化性和低體積收縮性優(yōu)異，從而完成了本專(zhuān)利技術(shù)。
6、即，本專(zhuān)利技術(shù)涉及含有下述成分(a)～(d)的正型感光性樹(shù)脂組合物，
7、(a)由間甲酚衍生的結(jié)構(gòu)單元(a1)、由苯甲醛衍生的結(jié)構(gòu)單元(a2)及由水楊醛衍生的結(jié)構(gòu)單元(a3)的摩爾比((a1)：(a2)：(a3))為1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛樹(shù)脂，
8、(b)感光劑，
9、(c)熱交聯(lián)劑，
10、(d)有機(jī)溶劑。
11、本專(zhuān)利技術(shù)還涉及通過(guò)將正型感光性樹(shù)脂組合物干燥而得到的感光性膜。
12、本專(zhuān)利技術(shù)還涉及由正型感光性樹(shù)脂組合物得到的抗蝕劑膜。
13、本專(zhuān)利技術(shù)還涉及由正型感光性樹(shù)脂組合物得到的抗蝕劑下層膜。
14、本專(zhuān)利技術(shù)還涉及由正型感光性樹(shù)脂組合物得到的抗蝕劑永久膜。
15、專(zhuān)利技術(shù)效果
16、根據(jù)本專(zhuān)利技術(shù)，可提供堿溶解性及感光劑親和性優(yōu)異且在制成抗蝕劑膜時(shí)低溫固化性及低體積收縮性優(yōu)異的正型感光性樹(shù)脂組合物。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其含有下述成分(A)～(D)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述成分(A)為利用酸催化劑使間甲酚、苯甲醛及水楊醛在有機(jī)溶劑中以摩爾比計(jì)為間甲酚：苯甲醛：水楊醛＝1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的范圍縮聚而得到的酚醛清漆型酚醛樹(shù)脂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述成分(A)中的由間甲酚衍生的結(jié)構(gòu)單元(a1)、由苯甲醛衍生的結(jié)構(gòu)單元(a2)及由水楊醛衍生的結(jié)構(gòu)單元(a3)的含量合計(jì)為30質(zhì)量％以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述成分(B)為醌二疊氮系感光性化合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述成分(C)為三聚氰胺樹(shù)脂或尿素樹(shù)脂。
6.一種感光性膜，通過(guò)將權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物干燥而得到。
7.一種抗蝕劑膜，由權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物得到。
8.一種抗蝕劑下層膜，由權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物得
9.一種抗蝕劑永久膜，由權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物得到。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其含有下述成分(a)～(d)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述成分(a)為利用酸催化劑使間甲酚、苯甲醛及水楊醛在有機(jī)溶劑中以摩爾比計(jì)為間甲酚：苯甲醛：水楊醛＝1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的范圍縮聚而得到的酚醛清漆型酚醛樹(shù)脂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述成分(a)中的由間甲酚衍生的結(jié)構(gòu)單元(a1)、由苯甲醛衍生的結(jié)構(gòu)單元(a2)及由水楊醛衍生的結(jié)構(gòu)單元(a3)的含量合計(jì)為30質(zhì)量％以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：長(zhǎng)田裕仁，伊部武史，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：DIC株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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