【技術實現步驟摘要】
本技術涉及硅片切割主輥，尤其是涉及一種主輥及其切割設備。
技術介紹
1、在切割硅片的過程中，金剛線下落后會與切割輥的刻槽內壁形成接觸，此時刻槽內壁對金剛線提供支撐。相關技術中，由于刻槽的槽距逐漸減小，導致金剛線與刻槽不匹配，使得金剛線下落至刻槽的底部，金剛線與刻槽內壁之間的接觸面積較小，使金剛線在切割過程中發生晃動，甚至處于懸空狀態，從而切割出的硅片容易出現線痕和翹曲等問題，降低了硅片的品質。
技術實現思路
1、本技術旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本技術的一個目的在于提出一種主輥，提高了切割線與線槽的適配度，增加了切割線在線槽內的穩定性，從而防止切割線出現跳線、斷線等風險，使切割線順利切割硅棒，且能夠提升硅片的品質。
2、本技術的另一個目的在于提出一種采用上述主輥的切割設備。
3、根據本技術第一方面實施例的主輥，包括：輥體，所述輥體上形成有多個線槽，多個所述線槽沿所述輥體的軸向間隔開，每個所述線槽沿所述輥體的周向延伸，所述線槽用于放置切割硅棒的切割線；其中，每個所述線槽的底壁包括連接段和兩個弧形段，所述連接段的兩端分別與兩個所述弧形段相連，每個所述弧形段的半徑為d，所述d滿足：28μm≤d≤40μm。
4、根據本技術實施例的主輥，通過將每個線槽的底壁的弧形段的半徑設置為28μm≤d≤40μm。由此，使常規切割線能夠與線槽的底壁充分接觸，提高了切割線與線槽的適配度，避免切割線在切割過程中發生晃動或處于懸空狀態，增加了切割線在線槽內
5、根據本技術的一些實施例，相鄰兩個所述線槽之間的槽距為d，所述切割線的線徑為d1，所述切割線切割所述硅棒得到的硅片的厚度為d2，所述d、d1和d2滿足：d＝d1+d2+余量，所述余量為4μm～5μm。
6、根據本技術的一些實施例，每個所述線槽的橫截面的形狀為v形，每個所述線槽的夾角為ɑ，其中，所述ɑ滿足：ɑ＝(0.5d1+4)°±2°。
7、根據本技術的一些實施例，在所述輥體的軸向上所述連接段的長度為l，相鄰兩個所述線槽之間的槽距為d，所述切割線的線徑為d1，在所述輥體的徑向上所述線槽的深度為h，在所述輥體的徑向上所述切割線的移動距離為2.5d1，其中，所述l、d、d1、h和d滿足：所述a為60μm～70μm，所述b為25μm～45μm。
8、根據本技術的一些實施例，每個所述線槽具有最高位置和最低位置，所述切割線適于在所述最高位置和所述最低位置之間切換，在所述主輥的軸向上所述最高位置的長度為l，其中，所述l、l、d、h和d滿足：
9、根據本技術的一些實施例，相鄰兩個所述最高位置之間的最小距離為n，其中，所述n、l、d、h和d滿足：
10、根據本技術的一些實施例，相鄰兩個所述線槽之間的最小距離為m，所述m、d1、h和ɑ滿足：
11、根據本技術的一些實施例，在所述輥體的徑向上所述線槽的深度為h，其中，所述h滿足：200μm≤h≤230μm。
12、根據本技術的一些實施例，所述輥體的外周面的表面粗糙度為ra，其中，所述ra滿足：ra＜1.6。
13、根據本技術第二方面實施例的切割設備，包括根據本技術上述第一方面實施例的主輥。
14、本技術的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本技術的實踐了解到。
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1.一種主輥，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的主輥，其特征在于，相鄰兩個所述線槽之間的槽距為D，所述切割線的線徑為d1，所述切割線切割所述硅棒得到的硅片的厚度為d2，所述D、d1和d2滿足：D＝d1+d2+余量，所述余量為4μm～5μm。
3.根據權利要求2所述的主輥，其特征在于，每個所述線槽的橫截面的形狀為V形，每個所述線槽的夾角為ɑ，其中，所述ɑ滿足：ɑ＝(0.5d1+4)°±2°。
4.根據權利要求3所述的主輥，其特征在于，在所述輥體的軸向上所述連接段的長度為L，在所述輥體的徑向上所述線槽的深度為H，在所述輥體的徑向上所述切割線的移動距離為2.5d1，其中，所述L、D、d1、H和d滿足：所述a為60μm～70μm，所述b為25μm～45μm。
5.根據權利要求4所述的主輥，其特征在于，每個所述線槽具有最高位置和最低位置，所述切割線適于在所述最高位置和所述最低位置之間切換，在所述主輥的軸向上所述最高位置的長度為l，其中，所述l、L、D、H和d滿足：
6.根據權利要求4所述的主輥，其特征在于，相鄰兩個所述最
7.根據權利要求4所述的主輥，其特征在于，相鄰兩個所述線槽之間的最小距離為m，所述m、d1、H和ɑ滿足：
8.根據權利要求1所述的主輥，其特征在于，在所述輥體的徑向上所述線槽的深度為H，其中，所述H滿足：200μm≤H≤230μm。
9.根據權利要求1-8任一項所述的主輥，其特征在于，所述輥體的外周面的表面粗糙度為Ra，其中，所述Ra滿足：Ra＜1.6。
10.一種切割設備，其特征在于，包括根據權利要求1-9任一項所述的主輥。
...【技術特征摘要】
1.一種主輥，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的主輥，其特征在于，相鄰兩個所述線槽之間的槽距為d，所述切割線的線徑為d1，所述切割線切割所述硅棒得到的硅片的厚度為d2，所述d、d1和d2滿足：d＝d1+d2+余量，所述余量為4μm～5μm。
3.根據權利要求2所述的主輥，其特征在于，每個所述線槽的橫截面的形狀為v形，每個所述線槽的夾角為ɑ，其中，所述ɑ滿足：ɑ＝(0.5d1+4)°±2°。
4.根據權利要求3所述的主輥，其特征在于，在所述輥體的軸向上所述連接段的長度為l，在所述輥體的徑向上所述線槽的深度為h，在所述輥體的徑向上所述切割線的移動距離為2.5d1，其中，所述l、d、d1、h和d滿足：所述a為60μm～70μm，所述b為25μm～45μm。
5.根據權利要求4所述的主輥，其特征在于，每個所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：林晴，袁為進，王亞麗，倪晉濤，張毅，
申請(專利權)人：阿特斯光伏電力洛陽有限公司，
類型：新型
國別省市：
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