【技術實現步驟摘要】
本申請涉及諧振器，具體而言，涉及一種體聲波諧振器及其制備方法、濾波器。
技術介紹
1、射頻濾波器是應用于無線通訊領域射頻前端的核心組件，諧振器是構成射頻濾波器的關鍵，也是基礎單元。當前應用于射頻市場的諧振器有聲表面波諧振器和體聲波諧振器，其中體聲波諧振器憑借高諧振頻率、高品質因子、高機電耦合系數、高功率容量、低損耗、小體積，且與半導體工藝兼容的優勢，逐漸成為市場主流。
2、體聲波諧振器的電極加交流電之后，主要產生縱向振動，同時也會激發出其他橫向模式聲波，造成能量泄露。
技術實現思路
1、本申請的目的在于，針對上述現有技術中的不足，提供一種體聲波諧振器及其制備方法、濾波器。
2、為實現上述目的，本申請實施例采用的技術方案如下：
3、本申請實施例的一方面，提供一種體聲波諧振器，包括襯底以及依次設置于襯底上的第一電極、壓電層、第二電極和輔助層，在壓電層和第二電極之間設置有第一空隙，在第二電極和輔助層之間設置有第二空隙，第一空隙和第二空隙均位于體聲波諧振器的有效諧振區域的邊界處。
4、可選地，第一空隙和第二空隙沿襯底厚度方向上的正投影具有交疊區域。
5、可選地，第二空隙位于有效諧振區域外，且第二空隙的一端延伸至有效諧振區域的邊界；和/或，第一空隙具有位于有效諧振區域內的第一部分以及位于有效諧振區域外的第二部分。
6、可選地，在第一空隙內設置有至少一個第一支柱，第一空隙至少被第一支柱劃分為多個第一子空隙；和/或，在第二空
7、可選地，在第二電極和輔助層之間還設置有保護層，第二空隙位于保護層和輔助層之間。
8、可選地，第一空隙的數量為多個，多個第一空隙沿有效諧振區域的邊界順次排布。
9、本申請實施例的另一方面，提供一種體聲波諧振器制備方法，方法包括：
10、提供襯底；
11、在襯底上依次形成第一電極和壓電層；
12、在壓電層上依次形成第一犧牲層以及覆蓋第一犧牲層的第二電極；
13、在第二電極上依次形成第二犧牲層以及覆蓋第二犧牲層的輔助層；
14、釋放第一犧牲層形成位于壓電層和第二電極之間的第一空隙，釋放第二犧牲層形成位于第二電極和輔助層之間的第二空隙。
15、可選地，在壓電層上依次形成第一犧牲層以及覆蓋第一犧牲層的第二電極包括：
16、在壓電層上形成具有多個犧牲塊的第一犧牲層，其中，多個犧牲塊間隔分布；
17、在壓電層上形成填充于相鄰兩個犧牲塊之間的第一支柱，以及覆蓋多個犧牲塊的第二電極。
18、可選地，在第二電極上依次形成第二犧牲層以及覆蓋第二犧牲層的輔助層包括：
19、在第二電極上形成多個間隔的第二支柱；
20、在第二電極上形成填充于相鄰第二支柱之間的第二犧牲層；
21、在第二電極上形成覆蓋第二犧牲層的輔助層。
22、本申請實施例的又一方面，提供一種濾波器，包括多個諧振器，多個諧振器包括串聯的串聯諧振器和/或與串聯諧振器并聯的并聯諧振器，多個諧振器中的至少一個為上述任一種的體聲波諧振器。
23、本申請的有益效果包括：
24、本申請提供了一種體聲波諧振器及其制備方法、濾波器，包括襯底以及依次設置于襯底上的第一電極、壓電層、第二電極和輔助層，在壓電層和第二電極之間設置有第一空隙，在第二電極和輔助層之間設置有第二空隙，第一空隙和第二空隙均位于體聲波諧振器的有效諧振區域的邊界處。這樣，體聲波諧振器便能夠借助第一空隙在有效諧振區域的邊界處形成阻抗不匹配，進而用于反射聲波，同時體聲波諧振器能夠借助第二空隙在有效諧振區域的邊界處形成阻抗不匹配，也可以用于反射聲波。基于第一空隙和第二空隙各自所處的層級位置，因此，兩者相互配合能夠對聲波進行更好的反射，使得體聲波諧振器的振動能量被束縛在有效諧振區域內，從而能夠改善體聲波諧振器的機械品質因數，減少體聲波諧振器的能量損耗。
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1.一種體聲波諧振器，其特征在于，包括襯底以及依次設置于所述襯底上的第一電極、壓電層、第二電極和輔助層，在所述壓電層和所述第二電極之間設置有第一空隙，在所述第二電極和所述輔助層之間設置有第二空隙，所述第一空隙和所述第二空隙均位于所述體聲波諧振器的有效諧振區域的邊界處。
2.如權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述第一空隙和所述第二空隙沿所述襯底厚度方向上的正投影具有交疊區域。
3.如權利要求1或2所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述第二空隙位于所述有效諧振區域外，且所述第二空隙的一端延伸至所述有效諧振區域的邊界；和/或，所述第一空隙具有位于所述有效諧振區域內的第一部分以及位于所述有效諧振區域外的第二部分。
4.如權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，在所述第一空隙內設置有至少一個第一支柱，所述第一空隙至少被所述第一支柱劃分為多個第一子空隙；和/或，在所述第二空隙內設置有至少一個第二支柱，所述第二空隙至少被所述第二支柱劃分為多個第二子空隙。
5.如權利要求1、2或4所述的體聲波諧振器，其特征在于，在所述第二電極和所述輔助層
6.如權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述第一空隙的數量為多個，多個所述第一空隙沿所述有效諧振區域的邊界順次排布。
7.一種體聲波諧振器制備方法，其特征在于，所述方法包括：
8.如權利要求7所述的體聲波諧振器制備方法，其特征在于，所述在所述壓電層上依次形成第一犧牲層以及覆蓋所述第一犧牲層的第二電極包括：
9.如權利要求7所述的體聲波諧振器制備方法，其特征在于，所述在所述第二電極上依次形成第二犧牲層以及覆蓋所述第二犧牲層的輔助層包括：
10.一種濾波器，其特征在于，包括多個諧振器，多個所述諧振器包括串聯的串聯諧振器和/或與所述串聯諧振器并聯的并聯諧振器，多個所述諧振器中的至少一個為權利要求1至6任一項所述的體聲波諧振器。
...【技術特征摘要】
1.一種體聲波諧振器，其特征在于，包括襯底以及依次設置于所述襯底上的第一電極、壓電層、第二電極和輔助層，在所述壓電層和所述第二電極之間設置有第一空隙，在所述第二電極和所述輔助層之間設置有第二空隙，所述第一空隙和所述第二空隙均位于所述體聲波諧振器的有效諧振區域的邊界處。
2.如權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述第一空隙和所述第二空隙沿所述襯底厚度方向上的正投影具有交疊區域。
3.如權利要求1或2所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述第二空隙位于所述有效諧振區域外，且所述第二空隙的一端延伸至所述有效諧振區域的邊界；和/或，所述第一空隙具有位于所述有效諧振區域內的第一部分以及位于所述有效諧振區域外的第二部分。
4.如權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，在所述第一空隙內設置有至少一個第一支柱，所述第一空隙至少被所述第一支柱劃分為多個第一子空隙；和/或，在所述第二空隙內設置有至少一個第二支柱，所述第二空隙至少被所述第二支柱劃...
【專利技術屬性】
技術研發人員：代金豪，蔡耀，李俊楠，王雅馨，韓金釗，
申請(專利權)人：武漢敏聲新技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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