【技術實現步驟摘要】
本技術屬于加熱裝置，具體涉及一種平板式化學氣相沉積用加熱器。
技術介紹
1、化學氣相沉積是利用氣態或蒸氣態的物質在一定溫度下通過化學反應，在氣體中或氣固界面上生成固態沉積物的一種氣相沉積固體薄膜的新技術。其基本原理在學術界己形成比較一致的看法，但由于對膜層材料要求的多樣性和原料氣體的復雜性，對于具體的反應過程和成膜機理以及工藝方法的研究仍在繼續深入發展中。由于化學氣相沉積方法的獨特優點，目前這種技術被廣泛應用于無機材料表面改性涂層制備、物質提純、研制新晶體、以及沉積各種單晶、玻璃態無機薄膜材料領域。反應氣體來源已由會屬鹵化物向羰基化合物以及其它金屬有機化合物方向發展。
2、在反應室，應選擇合適的加熱方式對基體材料進行加熱，并使其保持一定的溫度。在現有技術中，加熱的方式有多種，常見的就是加熱器。現有技術中的加熱器多采用加熱管進行加熱，若干根圓柱狀的加熱管固定在反應室的內壁上，向加熱管內通電，從而使得加熱管向反應室內輸送熱量。但現有技術中的這種加熱管加熱效果并不理想，加熱面積小，導致需要花費較長的時間才能將反應室加熱到預設溫度。
技術實現思路
1、本技術的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種平板式化學氣相沉積用加熱器。
2、為了實現上述目的，本技術采用了如下技術方案：一種平板式化學氣相沉積用加熱器，其包括平板和加熱管，所述加熱管盤繞并且鋪設在所述平板上，以此使得所述平板的全部區域均鋪設有所述加熱管，以此擴大加熱面積，加熱效果更佳；所述加熱管內部中空，
3、在本申請的一個實施例中，所述加熱管的制作材料是金屬。
4、在本申請的一個實施例中，所述加熱管由不銹鋼制作而成。
5、在本申請的一個實施例中，還包括固定匯集塊，所述固定匯集塊上設置有預設數量的與所述加熱管適配的安裝孔，所述固定匯集塊上的安裝孔軸向貫通于所述固定匯集塊，所述加熱管的兩端均穿過所述安裝孔，以此使得所述加熱管的兩端均固定安裝在所述固定匯集塊上，從而更加方便對所述加熱管通電。
6、在本申請的一個實施例中，在所述平板的中部區域設置有一通孔，所述通孔軸向貫通于所述平板，所述加熱管的兩端均從所述通孔穿過，以此使得所述加熱管的鋪設更加整齊和提高空間利用率。
7、在本申請的一個實施例中，在所述平板上還設置有預設數量的螺紋孔，所述平板式化學氣相沉積用加熱器還包括固定壓條，所述固定壓條將所述加熱管壓在身下并且通過螺栓/螺釘和所述螺紋孔固定連接在一起，以此使得所述加熱管固定安裝在所述平板上。
8、在本申請的一個實施例中，還包括固定壓條和帶有螺紋的螺母，所述螺母和所述平板固定連接在一起，所述固定壓條將所述加熱管壓在身下并且通過螺栓和所述螺母固定連接在一起，從而使得所述加熱管被安裝在所述平板上。
9、在本申請的一個實施例中，所述平板的四角處各設置有一缺口，所述缺口用以和反應室的凸起卡接，以此使得所述加熱器被固定在反應室的內壁上。
10、在本申請的一個實施例中，所述平板包括接觸板、加強板，所述接觸板具有伸出包裹部，所述接觸板圍合成一個容置腔，所述加強板的兩端和所述接觸板的伸出包裹部固定連接，所述加強板用以加強所述平板的強度；所述接觸板上固定鋪設所述加熱管。
11、在本申請的一個實施例中，所述平板還包括隔離塊，所述隔離塊上設置有臺階，所述加強板搭接在所述臺階上，以此將相鄰的兩塊所述加強板隔離開來。
12、本申請的有益效果是：本申請提供的該平板式化學氣相沉積用加熱器結構簡單，加熱管鋪設整齊，加熱面積大，加熱效果好。
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1.一種平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，包括平板和加熱管，所述加熱管盤繞并且鋪設在所述平板上，以此使得所述平板的全部區域均鋪設有所述加熱管，以此擴大加熱面積，加熱效果更佳；所述加熱管內部中空，且所述加熱管內部穿過加熱絲，所述加熱絲通電，從而所述加熱管散發熱量。
2.根據權利要求1所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述加熱管的制作材料是金屬。
3.根據權利要求2所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述加熱管由不銹鋼制作而成。
4.根據權利要求1所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，還包括固定匯集塊，所述固定匯集塊上設置有預設數量的與所述加熱管適配的安裝孔，所述固定匯集塊上的安裝孔軸向貫通于所述固定匯集塊，所述加熱管的兩端均穿過所述安裝孔，以此使得所述加熱管的兩端均固定安裝在所述固定匯集塊上，從而更加方便對所述加熱管通電。
5.根據權利要求4所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，在所述平板的中部區域設置有一通孔，所述通孔軸向貫通于所述平板，所述加熱管的兩端均從所述通孔穿過，以此使得所述加熱管
6.根據權利要求5所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，在所述平板上還設置有預設數量的螺紋孔，所述平板式化學氣相沉積用加熱器還包括固定壓條，所述固定壓條將所述加熱管壓在身下并且通過螺栓/螺釘和所述螺紋孔固定連接在一起，以此使得所述加熱管固定安裝在所述平板上。
7.根據權利要求5所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，還包括固定壓條和帶有螺紋的螺母，所述螺母和所述平板固定連接在一起，所述固定壓條將所述加熱管壓在身下并且通過螺栓和所述螺母固定連接在一起，從而使得所述加熱管被安裝在所述平板上。
8.根據權利要求5所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述平板的四角處各設置有一缺口，所述缺口用以和反應室的凸起卡接，以此使得所述加熱器被固定在反應室的內壁上。
9.根據權利要求8所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述平板包括接觸板、加強板，所述接觸板具有伸出包裹部，所述接觸板圍合成一個容置腔，所述加強板的兩端和所述接觸板的伸出包裹部固定連接，所述加強板用以加強所述平板的強度；所述接觸板上固定鋪設所述加熱管。
10.根據權利要求9所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述平板還包括隔離塊，所述隔離塊上設置有臺階，所述加強板搭接在所述臺階上，以此將相鄰的兩塊所述加強板隔離開來。
...【技術特征摘要】
1.一種平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，包括平板和加熱管，所述加熱管盤繞并且鋪設在所述平板上，以此使得所述平板的全部區域均鋪設有所述加熱管，以此擴大加熱面積，加熱效果更佳；所述加熱管內部中空，且所述加熱管內部穿過加熱絲，所述加熱絲通電，從而所述加熱管散發熱量。
2.根據權利要求1所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述加熱管的制作材料是金屬。
3.根據權利要求2所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，所述加熱管由不銹鋼制作而成。
4.根據權利要求1所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，還包括固定匯集塊，所述固定匯集塊上設置有預設數量的與所述加熱管適配的安裝孔，所述固定匯集塊上的安裝孔軸向貫通于所述固定匯集塊，所述加熱管的兩端均穿過所述安裝孔，以此使得所述加熱管的兩端均固定安裝在所述固定匯集塊上，從而更加方便對所述加熱管通電。
5.根據權利要求4所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，在所述平板的中部區域設置有一通孔，所述通孔軸向貫通于所述平板，所述加熱管的兩端均從所述通孔穿過，以此使得所述加熱管的鋪設更加整齊和提高空間利用率。
6.根據權利要求5所述的平板式化學氣相沉積用加熱器，其特征在于，...
【專利技術屬性】
技術研發人員：居建華，
申請(專利權)人：無錫思銳電子設備科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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