【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及靶材加工，尤其涉及一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置。
技術介紹
1、隨著半導體工業、液晶顯示技術及薄膜技術的發展，對高純鋁平面靶材的需求日益增長。高純鋁靶材因其優異的導電性、導熱性和反射性，廣泛應用于濺射鍍膜等領域。
2、高純鋁平面靶材在加工過程中需要進行磨削加工處理，目前的常規磨削加工設備采用恒定的磨削進給速度和冷卻效果進行加工，磨削區域過熱會導致高純鋁高溫而氧化，且磨削砂輪過熱也會加劇磨損速度、甚至發生損壞；因此我們提出一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置來解決這個問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，以解決上述
技術介紹
中所提出的問題。
2、為了實現上述目的，本專利技術采用了如下技術方案：
3、一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，包括：
4、底座，所述底座的頂部設置有控制器和用于固定靶材的固定夾具；
5、磨削機構，用于實現靶材的磨削加工，所述磨削機構包括升降框、平移板、安裝架、側板和磨削輪，所述磨削輪轉動安裝在所述安裝架內，所述平移板滑動連接在所述升降框內，且所述升降框內轉動安裝有兩個絲桿，所述平移板螺紋套接在兩個絲桿的外側，且所述絲桿上固定安裝有從動齒輪，所述升降框的一側內壁上固定安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上固定連接有主動齒輪，兩個所述從動齒輪均與所述主動齒輪相嚙合，所述側板的一側固定安裝有安裝桿，所述安裝桿的底端固定連接有用于監測磨削區域溫度的紅外測溫儀；p>
6、冷卻機構，用于對靶材和砂輪進行冷卻，所述冷卻機構包括壓縮箱、噴淋筒、連接軸和旋轉電機，所述驅動電機和紅外測溫儀與控制器電性連接，所述紅外測溫儀監測磨削區域溫度超過閾值時通過控制器控制旋轉電機的輸出轉速提升，所述連接軸轉動連接在所述壓縮箱的頂部，所述噴淋筒的外側連通有多個噴嘴。
7、優選的，所述壓縮箱的兩側分別連通有第一u型管和第二u型管，所述第一u型管和第二u型管的兩端均設置有單向閥，且所述第一u型管的另一端連通有冷卻供水管，所述第二u型管的另一端連通有導出管，所述噴淋筒的頂部連通有導入管，所述導入管的另一端與所述導出管的另一端連通；
8、所述壓縮箱的內部滑動密封安裝有活塞板，所述活塞板的頂部固定安裝有豎桿，所述豎桿的頂端固定連接有方框，所述方框內滑動安裝有方板，所述壓縮箱的頂部固定安裝有機座和兩個固定板，所述旋轉電機固定安裝在所述機座的頂部，所述連接軸轉動連接在兩個所述固定板內，且所述連接軸的兩端均固定連接有轉動臂，所述轉動臂的另一側固定連接有圓桿，兩個所述方板分別轉動套接在對應的所述圓桿的外側，且所述連接軸的外側固定套接有從動錐齒輪，所述旋轉電機的輸出軸上固定連接有主動錐齒輪，所述主動錐齒輪與所述從動錐齒輪相嚙合。
9、優選的，兩個所述固定板之間固定連接有同一個電阻條，所述電阻條的外側滑動套接有兩個導電框，所述電阻條和導電框串聯接入驅動電機的電路內；
10、所述導電框的底部固定安裝有導向板，所述壓縮箱的頂部開設有導向槽，兩個所述導向板均滑動連接在所述導向槽內，且所述導電框的頂部固定連接有豎板，所述連接軸的外側滑動套接有兩個套筒，兩個所述套筒分別轉動連接在對應的所述豎板內。
11、優選的，所述連接軸的外側固定安裝有兩個轉板，所述轉板的外側滑動套接有兩個套板，位于同一側的兩個所述套板相互靠近的一側均固定連接有拉繩，所述拉繩的另一端與對應的所述套筒固定連接，且所述套板的另一側固定連接有壓簧，所述壓簧的另一端固定連接有擋板，所述擋板固定連接在對應的所述轉板的外側，且所述轉板的一側轉動安裝有兩個定滑輪，所述拉繩繞設于對應的所述定滑輪的外側。
12、優選的，所述連接軸的前后兩側均一體成型有導向凸起，所述套筒滑動套接在所述導向凸起的外側，且所述套筒的一端一體成型有限位凸起，所述限位凸起活動抵接在對應的所述豎板的一側，且所述套筒的另一端固定連接有限位圈，所述限位圈活動抵接在對應的所述豎板的另一側。
13、優選的，所述安裝架的前側固定安裝有磨削電機，所述磨削輪固定連接在所述磨削電機的輸出軸上，且所述安裝架的頂部固定連接有橫板，所述側板的底部固定安裝有安裝板，所述安裝板與所述橫板之間固定連接有第一壓力傳感器，且所述安裝板的底部兩側均固定連接有立板，所述橫板滑動套接在所述立板的外側，所述立板的底部固定安裝有限位板，所述限位板活動抵接在所述橫板的底部，且所述側板與所述平移板之間固定連接有第二壓力傳感器，所述安裝板的頂部固定連接有滑軌，所述平移板滑動套接在所述滑軌的外側。
14、優選的，所述底座的頂部兩側均固定連接有立桿，位于同一側的兩個所述立桿的頂端固定連接有同一個頂板，所述升降框的兩側均固定安裝有升降板，兩個所述升降板分別滑動套接在對應的所述立桿的外側，且所述頂板的頂部固定安裝有電動推桿，所述電動推桿的輸出端固定連接在對應的所述升降板的頂部。
15、優選的，所述固定夾具包括工作臺、夾持電機和四個夾持板，所述夾持板的外側固定連接有l板，所述l板的底部轉動連接有弧形連桿，所述工作臺的底部轉動安裝有安裝軸，所述安裝軸的外側固定套接有轉動架，所述弧形連桿的另一端轉動連接在所述轉動架的底部，且所述轉動架的外側固定安裝有第一錐齒輪，所述夾持電機固定安裝在所述底座的頂部，且所述夾持電機的輸出軸上固定連接有橫軸，所述橫軸的另一端固定連接有第二錐齒輪，所述第一錐齒輪與第二錐齒輪相嚙合。
16、優選的，所述底座的頂部開設有凹槽，所述凹槽內固定安裝有接水盒，所述工作臺的底部固定安裝有多個支撐桿，多個所述支撐桿的底端均固定連接在所述接水盒的底部內壁上，且所述接水盒的底部內壁上固定安裝有多個定位板，所述定位板轉動套接在所述橫軸的外側；
17、所述工作臺的頂部開設有四個滑孔，所述l板滑動連接在對應的所述滑孔內，所述滑孔的內壁上一體成型有限位條，所述l板滑動套接在所述限位條的外側。
18、優選的，所述平移板和側板的兩側均開設有方形凹槽，所述升降框滑動連接在兩個所述方形凹槽內，所述控制器的頂部設置有蓄電池。
19、本專利技術的有益效果在于：
20、本專利技術中，所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，通過將需要進行磨削加工的靶材放置在工作臺上，然后啟動夾持電機帶動橫軸旋轉，橫軸通過第一錐齒輪與第二錐齒輪的嚙合帶動安裝軸和轉動架旋轉，轉動架通過四個弧形連桿帶動四個l板相互靠近，四個l板帶動四個夾持板相互靠近，從而實現對靶材的裝夾固定；
21、本專利技術中，所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，通過啟動磨削電機帶動磨削輪旋轉，并啟動電動推桿帶動升降框升降，從而帶動磨削輪向下進給，通過啟動驅動電機帶動主動齒輪旋轉，主動齒輪通過與從動齒輪的嚙合帶動兩個絲桿旋轉，兩個絲桿通過與平移板的螺紋傳動帶動平移板水平移動，平移板通過第二壓力傳感器帶動側板向右運動，并通過安裝板、立板、橫板和安裝架帶動磨削輪進行橫向進給，從而實現漫長的自動本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述壓縮箱（7）的兩側分別連通有第一U型管（701）和第二U型管（703），所述第一U型管（701）和第二U型管（703）的兩端均設置有單向閥（705），且所述第一U型管（701）的另一端連通有冷卻供水管（702），所述第二U型管（703）的另一端連通有導出管（704），所述噴淋筒（8）的頂部連通有導入管（802），所述導入管（802）的另一端與所述導出管（704）的另一端連通；
3.根據權利要求2所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，兩個所述固定板（904）之間固定連接有同一個電阻條（10），所述電阻條（10）的外側滑動套接有兩個導電框（11），所述電阻條（10）和導電框（11）串聯接入驅動電機（504）的電路內；
4.根據權利要求3所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述連接軸（9）的外側固定安裝有兩個轉板（910），所述轉板（910）的外側滑動套接有兩個套板（908），位于同一側的兩個所述套
5.根據權利要求4所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述連接軸（9）的前后兩側均一體成型有導向凸起，所述套筒（905）滑動套接在所述導向凸起的外側，且所述套筒（905）的一端一體成型有限位凸起，所述限位凸起活動抵接在對應的所述豎板（12）的一側，且所述套筒（905）的另一端固定連接有限位圈，所述限位圈活動抵接在對應的所述豎板（12）的另一側。
6.根據權利要求1所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述安裝架（601）的前側固定安裝有磨削電機（602），所述磨削輪（6）固定連接在所述磨削電機（602）的輸出軸上，且所述安裝架（601）的頂部固定連接有橫板（603），所述側板（606）的底部固定安裝有安裝板，所述安裝板與所述橫板（603）之間固定連接有第一壓力傳感器（604），且所述安裝板的底部兩側均固定連接有立板（608），所述橫板（603）滑動套接在所述立板（608）的外側，所述立板（608）的底部固定安裝有限位板，所述限位板活動抵接在所述橫板（603）的底部，且所述側板（606）與所述平移板（5）之間固定連接有第二壓力傳感器（605），所述安裝板的頂部固定連接有滑軌（607），所述平移板（5）滑動套接在所述滑軌（607）的外側。
7.根據權利要求1所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述底座（1）的頂部兩側均固定連接有立桿（404），位于同一側的兩個所述立桿（404）的頂端固定連接有同一個頂板（402），所述升降框（4）的兩側均固定安裝有升降板（401），兩個所述升降板（401）分別滑動套接在對應的所述立桿（404）的外側，且所述頂板（402）的頂部固定安裝有電動推桿（403），所述電動推桿（403）的輸出端固定連接在對應的所述升降板（401）的頂部。
8.根據權利要求1所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述固定夾具包括工作臺（2）、夾持電機（209）和四個夾持板（201），所述夾持板（201）的外側固定連接有L板（202），所述L板（202）的底部轉動連接有弧形連桿（203），所述工作臺（2）的底部轉動安裝有安裝軸（205），所述安裝軸（205）的外側固定套接有轉動架（204），所述弧形連桿（203）的另一端轉動連接在所述轉動架（204）的底部，且所述轉動架（204）的外側固定安裝有第一錐齒輪（206），所述夾持電機（209）固定安裝在所述底座（1）的頂部，且所述夾持電機（209）的輸出軸上固定連接有橫軸（208），所述橫軸（208）的另一端固定連接有第二錐齒輪（207），所述第一錐齒輪（206）與第二錐齒輪（207）相嚙合。
9.根據權利要求8所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述底座（1）的頂部開設有凹槽，所述凹槽內固定安裝有接水盒（3），所述工作臺（2）的底部固定安裝有多個支撐桿，多個所述支撐桿的底端均固定連接在所述接水盒（3）的底部內壁上，且所述接水盒（3）的底部內壁上固定安裝有多個定位板，所述定位板轉動套接在所述橫軸（208）...
【技術特征摘要】
1.一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述壓縮箱（7）的兩側分別連通有第一u型管（701）和第二u型管（703），所述第一u型管（701）和第二u型管（703）的兩端均設置有單向閥（705），且所述第一u型管（701）的另一端連通有冷卻供水管（702），所述第二u型管（703）的另一端連通有導出管（704），所述噴淋筒（8）的頂部連通有導入管（802），所述導入管（802）的另一端與所述導出管（704）的另一端連通；
3.根據權利要求2所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，兩個所述固定板（904）之間固定連接有同一個電阻條（10），所述電阻條（10）的外側滑動套接有兩個導電框（11），所述電阻條（10）和導電框（11）串聯接入驅動電機（504）的電路內；
4.根據權利要求3所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述連接軸（9）的外側固定安裝有兩個轉板（910），所述轉板（910）的外側滑動套接有兩個套板（908），位于同一側的兩個所述套板（908）相互靠近的一側均固定連接有拉繩（906），所述拉繩（906）的另一端與對應的所述套筒（905）固定連接，且所述套板（908）的另一側固定連接有壓簧（909），所述壓簧（909）的另一端固定連接有擋板，所述擋板固定連接在對應的所述轉板（910）的外側，且所述轉板（910）的一側轉動安裝有兩個定滑輪（907），所述拉繩（906）繞設于對應的所述定滑輪（907）的外側。
5.根據權利要求4所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述連接軸（9）的前后兩側均一體成型有導向凸起，所述套筒（905）滑動套接在所述導向凸起的外側，且所述套筒（905）的一端一體成型有限位凸起，所述限位凸起活動抵接在對應的所述豎板（12）的一側，且所述套筒（905）的另一端固定連接有限位圈，所述限位圈活動抵接在對應的所述豎板（12）的另一側。
6.根據權利要求1所述的一種高純鋁平面靶材磨削加工裝置，其特征在于，所述安裝架（601）的前側固定安裝有磨削電機（602），所述磨削輪（6）固定連接在所述磨削電機（602）的輸出軸上，且所述安裝架（601）的頂部固定連接有橫板（603），所述側板（606）的底部固定安裝有安裝板，所述安裝板與所述橫板（603）之間固定連接有第一壓力傳感器（604），且所述安...
【專利技術屬性】
技術研發人員：常代展，王雷，郝國建，
申請(專利權)人：江蘇海泰光電材料科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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