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    一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu)制造方法及圖紙

    技術(shù)編號(hào):42982870 閱讀:14 留言:0更新日期:2024-10-15 13:17
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及晶圓運(yùn)輸技術(shù)領(lǐng)域,且公開(kāi)了一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),包括機(jī)體,還包括夾持機(jī)構(gòu),所述夾持機(jī)構(gòu)包括連接臂,所述連接臂的正面底部固定連接有第一搬運(yùn)架,所述第一搬運(yùn)架的頂部正面的兩側(cè)和頂部靠近中部位置均固定連接有墊片,所述連接臂的內(nèi)部中部活動(dòng)連接有螺紋桿,所述螺紋桿的外側(cè)活動(dòng)連接有第二搬運(yùn)架,所述第二搬運(yùn)架的頂部中部靠近背面位置活動(dòng)套接有滑動(dòng)桿,所述螺紋桿的外側(cè)靠近底部位置固定套接有從動(dòng)錐齒輪;本發(fā)明專利技術(shù)通過(guò)第一搬運(yùn)架的墊片托住晶圓,第二搬運(yùn)架向下移動(dòng)并用其上的墊片貼合晶圓,上下墊片夾住晶圓,有利于防止晶圓在運(yùn)輸時(shí)受到速度影響在機(jī)器人的末端執(zhí)行器上滑動(dòng)影響精度。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及晶圓運(yùn)輸,更具體地涉及一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu)


    技術(shù)介紹

    1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,其原材料是硅,高純度的多晶硅溶解后滲入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅,硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨、拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓,國(guó)內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主;晶圓運(yùn)輸機(jī)構(gòu)是晶圓生產(chǎn)線不可或缺的部分,在整個(gè)生產(chǎn)線上完成晶圓的分類(lèi)、預(yù)對(duì)準(zhǔn)和運(yùn)輸?shù)裙δ埽沁B接物料搬運(yùn)系統(tǒng)與晶圓處理系統(tǒng)的橋梁,晶圓運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的核心部件主要包括晶圓裝載裝置、晶圓運(yùn)輸手、晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和空氣過(guò)濾器,晶圓運(yùn)輸手承擔(dān)著晶圓精確定位與快速、平穩(wěn)搬運(yùn)任務(wù),是半導(dǎo)體制造裝置中使用最多的機(jī)器人設(shè)備,其性能對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展至關(guān)重要,機(jī)器人運(yùn)動(dòng)時(shí)的平穩(wěn)無(wú)振動(dòng)影響晶圓傳輸?shù)木龋瑱C(jī)器人自身的潔凈度和運(yùn)行時(shí)微粒的產(chǎn)生量決定晶圓的加工環(huán)境的潔凈度,由此可見(jiàn),晶圓傳輸機(jī)器人需要具備高可靠性和平穩(wěn)無(wú)振動(dòng)傳輸晶圓的特點(diǎn)。

    2、晶圓在運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中,需要通過(guò)晶圓傳輸機(jī)器人的末端執(zhí)行器進(jìn)行承托晶圓進(jìn)行移動(dòng),但是現(xiàn)有的末端執(zhí)行器在運(yùn)輸過(guò)程中對(duì)晶圓的約束較少,當(dāng)運(yùn)輸?shù)乃俣冗^(guò)快以及快速旋轉(zhuǎn)時(shí)都有可能導(dǎo)致晶圓在末端執(zhí)行器上滑動(dòng)影響晶圓傳輸?shù)木龋黄浯危┒藞?zhí)行器上的墊片在使用過(guò)程中會(huì)被磨損,造成晶圓的附著力下降,進(jìn)一步影響晶圓傳輸?shù)木取?/p>

    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,本專利技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),以解決上述
    技術(shù)介紹
    中存在的問(wèn)題。

    2、本專利技術(shù)提供如下技術(shù)方案:一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),包括機(jī)體,還包括夾持機(jī)構(gòu),所述機(jī)體的內(nèi)部底部固定連接有行走裝置,所述行走裝置的頂部中部固定連接有運(yùn)輸裝置,所述運(yùn)輸裝置的頂部正面固定連接有夾持機(jī)構(gòu),所述機(jī)體的正面一側(cè)固定連接有晶圓盒裝載臺(tái),所述夾持機(jī)構(gòu)包括連接臂,所述連接臂的正面底部固定連接有第一搬運(yùn)架,所述第一搬運(yùn)架的頂部正面的兩側(cè)和頂部靠近中部位置均固定連接有墊片,所述連接臂的內(nèi)部中部活動(dòng)連接有螺紋桿,所述螺紋桿的外側(cè)活動(dòng)連接有第二搬運(yùn)架,所述第二搬運(yùn)架的頂部中部靠近背面位置活動(dòng)套接有滑動(dòng)桿,所述螺紋桿的外側(cè)靠近底部位置固定套接有從動(dòng)錐齒輪,所述從動(dòng)錐齒輪的背面活動(dòng)連接有主錐齒輪,所述主錐齒輪的背面活動(dòng)連接有微型電機(jī)。

    3、進(jìn)一步的,所述運(yùn)輸裝置包括立柱,所述立柱的頂部中部活動(dòng)套接有支撐柱,所述支撐柱的頂部活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)臺(tái),所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂部另一側(cè)活動(dòng)連接有第二機(jī)械手。

    4、進(jìn)一步的,所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂部一側(cè)活動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂,所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂的一側(cè)頂部活動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂,所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂的另一側(cè)頂部活動(dòng)連接有第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂,所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂的一側(cè)正面固定連接夾持機(jī)構(gòu)。

    5、進(jìn)一步的,所述行走裝置包括滑座,所述滑座的一側(cè)固定連接有馬達(dá)架,所述滑座的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有u型槽,所述滑座的內(nèi)部中部的兩側(cè)活動(dòng)連接有滾珠螺桿,所述滾珠螺桿的外側(cè)中部活動(dòng)連接有滑臺(tái),所述滑臺(tái)的頂部正背面均固定連接有滑塊,所述滑塊與u型槽的頂部互相適配。

    6、進(jìn)一步的,所述晶圓盒裝載臺(tái)包括裝載臺(tái)本體,所述裝載臺(tái)本體的頂部中部固定連接有連接板,所述連接板的頂部正面的兩側(cè)固定連接有定位塊,所述連接板的頂部背面的兩側(cè)固定連接有夾緊塊。

    7、進(jìn)一步的,所述裝載臺(tái)本體的頂部背面固定連接有固定框,所述固定框的正面活動(dòng)連接有防護(hù)罩,所述防護(hù)罩的正面底部固定連接有把手。

    8、進(jìn)一步的,所述固定框的兩側(cè)中部固定連接有第一安裝件,所述第一安裝件的外側(cè)中部活動(dòng)套接有第一旋轉(zhuǎn)件,所述第一旋轉(zhuǎn)件的正面固定連接有連接套桿,所述連接套桿的內(nèi)部活動(dòng)套接有滑動(dòng)內(nèi)桿,所述滑動(dòng)內(nèi)桿的正面固定連接有第二旋轉(zhuǎn)件,所述第二旋轉(zhuǎn)件的內(nèi)部活動(dòng)套接有第二安裝件,所述第二安裝件與防護(hù)罩固定連接。

    9、本專利技術(shù)的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn):

    10、1.本專利技術(shù)通過(guò)設(shè)有夾持裝置,在運(yùn)輸晶圓時(shí),通過(guò)第一搬運(yùn)架移動(dòng)到晶圓下方并用墊片托住晶圓,微型電機(jī)工作帶動(dòng)主錐齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),繼而帶動(dòng)與主錐齒輪嚙合的從動(dòng)錐齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),從而螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng),螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)使與其螺紋連接的第二搬運(yùn)架移動(dòng),通過(guò)第二搬運(yùn)架向下移動(dòng)并用其上的墊片接觸晶圓,這時(shí)第一搬運(yùn)架和第二搬運(yùn)架一起夾住晶圓,有利于防止晶圓在運(yùn)輸時(shí)受到速度影響在機(jī)器人的末端執(zhí)行器上滑動(dòng)影響運(yùn)輸精度。

    11、2.本專利技術(shù)通過(guò)設(shè)有墊片,通過(guò)第一搬運(yùn)架和第二搬運(yùn)架上的墊片一起夾住晶圓,使得上下的墊片均勻受到晶圓的附著力影響,降低了墊片的損耗,有利于提升墊片的使用壽命,降低墊片的使用磨損,防止晶圓在運(yùn)輸時(shí)精度受到墊片磨損的影響。

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    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),包括機(jī)體(1),其特征在于:還包括夾持機(jī)構(gòu)(4),所述機(jī)體(1)的內(nèi)部底部固定連接有行走裝置(2),所述行走裝置(2)的頂部中部固定連接有運(yùn)輸裝置(3),所述運(yùn)輸裝置(3)的頂部正面固定連接有夾持機(jī)構(gòu)(4),所述機(jī)體(1)的正面一側(cè)固定連接有晶圓盒裝載臺(tái)(5),所述夾持機(jī)構(gòu)(4)包括連接臂(401),所述連接臂(401)的正面底部固定連接有第一搬運(yùn)架(402),所述第一搬運(yùn)架(402)的頂部正面的兩側(cè)和頂部靠近中部位置均固定連接有墊片(403),所述連接臂(401)的內(nèi)部中部活動(dòng)連接有螺紋桿(404),所述螺紋桿(404)的外側(cè)活動(dòng)連接有第二搬運(yùn)架(405),所述第二搬運(yùn)架(405)的頂部中部靠近背面位置活動(dòng)套接有滑動(dòng)桿(406),所述螺紋桿(404)的外側(cè)靠近底部位置固定套接有從動(dòng)錐齒輪(407),所述從動(dòng)錐齒輪(407)的背面活動(dòng)連接有主錐齒輪(408),所述主錐齒輪(408)的背面活動(dòng)連接有微型電機(jī)(409)。

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述運(yùn)輸裝置(3)包括立柱(301),所述立柱(301)的頂部中部活動(dòng)套接有支撐柱(302),所述支撐柱(302)的頂部活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)臺(tái)(303),所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(303)的頂部另一側(cè)活動(dòng)連接有第二機(jī)械手(304)。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(303)的頂部一側(cè)活動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂(305),所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂(305)的一側(cè)頂部活動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂(306),所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂(306)的另一側(cè)頂部活動(dòng)連接有第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂(307),所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂(307)的一側(cè)正面固定連接夾持機(jī)構(gòu)(4)。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述行走裝置(2)包括滑座(201),所述滑座(201)的一側(cè)固定連接有馬達(dá)架(202),所述滑座(201)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有U型槽(203),所述滑座(201)的內(nèi)部中部的兩側(cè)活動(dòng)連接有滾珠螺桿(204),所述滾珠螺桿(204)的外側(cè)中部活動(dòng)連接有滑臺(tái)(205),所述滑臺(tái)(205)的頂部正背面均固定連接有滑塊(206),所述滑塊(206)與U型槽(203)的頂部互相適配。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述晶圓盒裝載臺(tái)(5)包括裝載臺(tái)本體(501),所述裝載臺(tái)本體(501)的頂部中部固定連接有連接板(502),所述連接板(502)的頂部正面的兩側(cè)固定連接有定位塊(503),所述連接板(502)的頂部背面的兩側(cè)固定連接有夾緊塊(504)。

    6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述裝載臺(tái)本體(501)的頂部背面固定連接有固定框(505),所述固定框(505)的正面活動(dòng)連接有防護(hù)罩(506),所述防護(hù)罩(506)的正面底部固定連接有把手(507)。

    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述固定框(505)的兩側(cè)中部固定連接有第一安裝件(508),所述第一安裝件(508)的外側(cè)中部活動(dòng)套接有第一旋轉(zhuǎn)件(509),所述第一旋轉(zhuǎn)件(509)的正面固定連接有連接套桿(510),所述連接套桿(510)的內(nèi)部活動(dòng)套接有滑動(dòng)內(nèi)桿(511),所述滑動(dòng)內(nèi)桿(511)的正面固定連接有第二旋轉(zhuǎn)件(512),所述第二旋轉(zhuǎn)件(512)的內(nèi)部活動(dòng)套接有第二安裝件(513),所述第二安裝件(513)與防護(hù)罩(506)固定連接。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),包括機(jī)體(1),其特征在于:還包括夾持機(jī)構(gòu)(4),所述機(jī)體(1)的內(nèi)部底部固定連接有行走裝置(2),所述行走裝置(2)的頂部中部固定連接有運(yùn)輸裝置(3),所述運(yùn)輸裝置(3)的頂部正面固定連接有夾持機(jī)構(gòu)(4),所述機(jī)體(1)的正面一側(cè)固定連接有晶圓盒裝載臺(tái)(5),所述夾持機(jī)構(gòu)(4)包括連接臂(401),所述連接臂(401)的正面底部固定連接有第一搬運(yùn)架(402),所述第一搬運(yùn)架(402)的頂部正面的兩側(cè)和頂部靠近中部位置均固定連接有墊片(403),所述連接臂(401)的內(nèi)部中部活動(dòng)連接有螺紋桿(404),所述螺紋桿(404)的外側(cè)活動(dòng)連接有第二搬運(yùn)架(405),所述第二搬運(yùn)架(405)的頂部中部靠近背面位置活動(dòng)套接有滑動(dòng)桿(406),所述螺紋桿(404)的外側(cè)靠近底部位置固定套接有從動(dòng)錐齒輪(407),所述從動(dòng)錐齒輪(407)的背面活動(dòng)連接有主錐齒輪(408),所述主錐齒輪(408)的背面活動(dòng)連接有微型電機(jī)(409)。

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述運(yùn)輸裝置(3)包括立柱(301),所述立柱(301)的頂部中部活動(dòng)套接有支撐柱(302),所述支撐柱(302)的頂部活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)臺(tái)(303),所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(303)的頂部另一側(cè)活動(dòng)連接有第二機(jī)械手(304)。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓制造裝置生產(chǎn)用運(yùn)輸機(jī)構(gòu),其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(303)的頂部一側(cè)活動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂(305),所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂(305)的一側(cè)頂部活動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂(306),所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂(306)的另一側(cè)頂部活動(dòng)連接有第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂(307),所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂(307)的一側(cè)正面固定連接夾持機(jī)構(gòu)(4)。

    4.根...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:周益初盧利軍陳奇殷萃雯
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:蓋澤華矽半導(dǎo)體科技蘇州有限公司
    類(lèi)型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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