【技術實現步驟摘要】
本公開涉及半導體或光伏，具體涉及一種片材載具上下料裝置和方法，以及反應爐系統。
技術介紹
1、在對半導體或光伏材料進行加工時，通常需要將待加工的片狀材料送入特定的反應爐，在一定的溫度和壓力條件下進行加工。目前行業內通常采用舟結構來承載待加工的、加工中的或者加工后的片狀材料，舟結構由舟托承載，舟托被放置于懸臂槳結構的槳葉支撐端，懸臂槳結構設置于推舟組件，在推舟組件的驅動下，懸臂槳結構將舟結構以及舟結構承載的片狀材料送入反應爐或從反應爐取出。
2、隨著舟結構的重量和長度的不斷增加，懸臂槳結構的槳通常需要做得很長，槳葉支撐端受自身重力和舟托、舟結構以及片狀材料等重力的影響，不可避免地產生變形下垂，因此，需要設置多組調節結構來調節舟托和舟結構進出反應爐時相對于反應爐的位置，調節難度大。
技術實現思路
1、有鑒于此，本公開實施例提供了一種片材載具上下料裝置和方法，以及反應爐系統，解決了由于懸臂槳結構的槳變形，導致片材載具進出反應爐時相對于反應爐的位置的調節難度大的問題。
2、第一方面，本公開的實施例提供了一種片材載具上下料裝置，應用于反應爐，所述反應爐具有反應腔和爐口，所述爐口位于所述反應腔的側面，所述反應爐還包括至少一個爐內軌道，所述爐內軌道設置于所述反應腔的底部；其中，所述片材載具上下料裝置包括：承載板，水平放置于地面或者機架；至少一個爐外軌道，設置于所述承載板上，能夠與所述爐內軌道對接，被配置為承載片材載具，所述片材載具包括滾輪，所述滾輪能夠在所述爐外軌道和所述
3、在一些實施例中，所述片材載具上下料裝置還包括：限位件，設置于所述承載板上，并設置于所述爐外軌道的下方，所述限位件具有限位部，所述限位部延伸至所述爐外軌道的側面，被配置為對所述滾輪進行限位；彈性件，設置于所述限位件的下方；其中，在所述推舟組件對所述爐外軌道上的所述片材載具施加沿所述爐外軌道的延伸方向的推力或拉力的過程中，所述滾輪對所述限位件施加壓力，以壓縮所述彈性件，使所述滾輪越過所述限位件繼續在所述爐外軌道上滾動。
4、在一些實施例中，所述滾輪包括：第一限位輪；第二限位輪；連接軸，所述連接軸連接所述第一限位輪和所述第二限位輪；其中，所述連接軸與所述爐外軌道的頂部接觸，所述第一限位輪與所述爐外軌道的一側接觸，所述第二限位輪與所述爐外軌道的另一側接觸；其中，所述限位件具有第一承載槽，所述第一承載槽被配置為容納所述爐外軌道的底部和與所述爐外軌道的底部連接的所述爐外軌道的部分側面；其中，所述限位部的上表面具有弧形凹槽，所述弧形凹槽的延伸方向與所述第一承載槽的延伸方向垂直，所述弧形凹槽能夠容納至少部分所述第一限位輪和/或至少部分所述第二限位輪。
5、在一些實施例中，所述推舟組件包括：夾持組件，被配置為對所述片材載具進行夾持；驅動組件，設置于所述承載板上，與所述夾持組件連接，被配置為驅動所述夾持組件沿所述爐外軌道的延伸方向運動，以對所述片材載具施加沿所述爐外軌道的延伸方向的推力或拉力。
6、在一些實施例中，所述片材載具上下料裝置還包括：第一推舟滑軌，設置于所述承載板上，所述第一推舟滑軌的延伸方向與所述爐外軌道的延伸方向相同；第一推舟滑塊，與所述第一推舟滑軌可滑動連接，并與所述夾持組件連接，以使所述夾持組件能夠在所述驅動組件的驅動下，沿所述第一推舟滑軌運動。
7、在一些實施例中，所述片材載具上下料裝置還包括：驅動源，設置于所述承載板上，被配置為提供驅動力；第二推舟滑軌，設置于所述承載板上，所述第二推舟滑軌的延伸方向與所述爐外軌道的延伸方向相同；至少一個第二推舟滑塊，與所述第二推舟滑軌可滑動連接，且位于所述爐外軌道下方并與所述爐外軌道連接，所述驅動源與所述爐外軌道連接，其中，在所述驅動源的驅動下，所述爐外軌道帶動所述第二推舟滑塊沿所述第二推舟滑軌運動，以使所述爐外軌道與所述爐內軌道對接。
8、在一些實施例中，所述第二推舟滑塊的數量為多個；其中，所述片材載具上下料裝置還包括：連接板，設置于多個所述第二推舟滑塊上，并與多個所述第二推舟滑塊連接；支撐塊，設置于所述連接板上，并與所述連接板連接，所述支撐塊具有第二承載槽，所述第二承載槽被配置為容納所述爐外軌道的底部和與所述爐外軌道的底部連接的所述爐外軌道的部分側面。
9、在一些實施例中，所述片材載具上下料裝置還包括：至少一個傳感器，設置于所述承載板上，被配置為檢測所述爐外軌道上是否存在所述片材載具，或者檢測所述片材載具的位置。
10、在一些實施例中，所述爐外軌道的數量為多個，多個所述爐外軌道相對于所述推舟組件對稱設置。
11、第二方面，本公開的實施例提供了一種反應爐系統，包括：反應爐，具有反應腔和爐口，所述爐口位于所述反應腔的側面，所述反應爐還包括至少一個爐內軌道，所述爐內軌道設置于所述反應腔的底部；如第一方面所述的片材載具上下料裝置，被配置為通過與所述爐內軌道對接將片材載具由所述爐口送入所述反應腔。
12、第三方面，本公開的實施例提供了一種片材載具上下料方法，應用于反應爐和第一方面所述的片材載具上下料裝置，所述反應爐具有反應腔和爐口，所述爐口位于所述反應腔的側面，所述反應爐還包括至少一個爐內軌道，所述爐內軌道設置于所述反應腔的底部；其中，所述片材載具上下料方法包括：將所述片材載具上下料裝置的爐外軌道與所述爐內軌道對接，且所述爐外軌道的延伸方向與所述爐內軌道的延伸方向相同；利用所述片材載具上下料裝置的推舟組件對放置于所述爐外軌道上的所述片材載具施加沿所述爐外軌道的延伸方向的推力，以使所述片材載具的滾輪相對于所述爐外軌道和所述爐內軌道滾動，所述片材載具被推入所述反應腔；或者，利用所述推舟組件對所述爐內軌道上的所述片材載具施加沿所述爐外軌道的延伸方向的拉力，以使所述片材載具的滾輪相對于所述爐外軌道和所述爐內軌道滾動，所述片材載具被拉出所述反應腔。
13、本公開實施例提供的一種片材載具上下料裝置，應用于反應爐，反應爐具有反應腔和爐口，爐口位于反應腔的側面，反應爐還包括至少一個爐內軌道，爐內軌道設置于反應腔的底部。片材載具上下料裝置包括：承載板、至少一個爐外軌道和推舟組件，承載板水平放置于地面或者機架，至少一個爐外軌道設置于承載板上，能夠與爐內軌道對接，被配置為承載片材載具，片材載具包括滾輪，滾輪能夠在爐外軌道和爐內軌道上滾動，推本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種片材載具上下料裝置，其特征在于，應用于反應爐，所述反應爐具有反應腔和爐口，所述爐口位于所述反應腔的側面，所述反應爐還包括至少一個爐內軌道，所述爐內軌道設置于所述反應腔的底部；
2.根據權利要求1所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求2所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，所述滾輪包括：
4.根據權利要求1至3任一項所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，所述推舟組件包括：
5.根據權利要求4所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
6.根據權利要求1至3任一項所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
7.根據權利要求6所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，所述第二推舟滑塊的數量為多個；
8.根據權利要求1至3任一項所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
9.根據權利要求1至3任一項所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，所述爐外軌道的數量為多個，多個所述爐外軌道相對于所述推舟組件對稱設置。
10.一種反應爐系統，其特征在于，
11.一種片材載具上下料方法，其特征在于，應用于反應爐和權利要求1至9任一項所述的片材載具上下料裝置，所述反應爐具有反應腔和爐口，所述爐口位于所述反應腔的側面，所述反應爐還包括至少一個爐內軌道，所述爐內軌道設置于所述反應腔的底部；
...【技術特征摘要】
1.一種片材載具上下料裝置，其特征在于，應用于反應爐，所述反應爐具有反應腔和爐口，所述爐口位于所述反應腔的側面，所述反應爐還包括至少一個爐內軌道，所述爐內軌道設置于所述反應腔的底部；
2.根據權利要求1所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求2所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，所述滾輪包括：
4.根據權利要求1至3任一項所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，所述推舟組件包括：
5.根據權利要求4所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
6.根據權利要求1至3任一項所述的片材載具上下料裝置，其特征在于，還包括：
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【專利技術屬性】
技術研發人員：朱太榮，張武，劉群，
申請(專利權)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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