【技術實現步驟摘要】
本技術涉及過濾裝置，具體為一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構。
技術介紹
1、晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，國內晶圓生產線以?8英寸和12英寸為主，晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工1片或多片晶圓，隨著半導體特征尺寸越來越小，加工及測量設備越來越先進，使得晶圓加工出現了新的數據特點，同時，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時，空氣中的顆粒數對晶圓加工后質量及可靠性的影響增大，而隨著潔凈的提高，顆粒數也出現了新的數據特點；
2、目前的晶圓吹掃裝置在對加工后的晶圓進行清理時，由于晶圓加工后導致表面附著較多粉塵及雜物，晶圓容易受潮濕環境影響導致上方攜帶靜電，對粉塵吸附力較大，不便于進行吹掃，同時在將細小粉塵由過濾網清理后容易附著于裝置內部，清理難度較大。
3、鑒于此，我們提出一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構。
技術實現思路
1、為了彌補以上不足，本技術提供了一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構。
2、本技術的技術方案是：
3、一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，包括晶圓吹掃系統主體，所述晶圓吹掃系統主體的下方固定安裝有過濾組件，所述過濾組件的內部固定安裝有第一過濾層所述第一過濾層的下方固定安裝有第二過濾層，所述第二過濾層的右側安裝有出風連接口，所述第二過濾層的下方固定安裝有高溫燃燒室，所述高溫
4、作為優選的技術方案，所述出風連接口的側面固定安裝有吹掃組件，所述吹掃組件的側面安裝有控制風機。
5、作為優選的技術方案，所述控制風機的右側固定安裝有安裝架，所述安裝架的上方固定安裝有間歇控制器，所述間歇控制器的下方開設有熱風器，所述熱風器的側面安裝有安裝管道，所述安裝管道的上方固定安裝有入風口。
6、作為優選的技術方案，所述入風口的下方安裝有吹掃管道，所述吹掃管道的下方安裝有防護外殼，所述防護外殼的下方固定安裝有吹掃清理區，所述吹掃清理區的下方開設有出料口。
7、作為優選的技術方案所述出料口的上方安裝有連接管道，所述連接管道的下方安裝有連接桿。
8、作為優選的技術方案，所述連接桿的下方固定安裝有第一支撐架。
9、作為優選的技術方案，所述第一支撐架的側面固定安裝有第二支撐架。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
11、1、本技術通過在過濾組件的內部固定安裝有第一過濾層，第一過濾層的下方固定安裝有第二過濾層，第二過濾層的右側安裝有出風連接口，第二過濾層的下方固定安裝有高溫燃燒室，高溫燃燒室的下方固定安裝有溫度控制器，溫度控制器的輸出端開設有出料管道，通過吹掃組件將雜物清理入下方，第一過濾層及第二過濾層對粉塵進行處理，經過多層過濾后雜物再進入高溫燃燒室，溫度控制器控制高溫燃燒室進行溫度升高，將細小的粉塵等通過高溫燒除，同時出料管道吹出的風也被加熱，與連接管道進行連接安裝，對吹掃清理區進行熱風處理，使其更快完成吹掃作業。
12、2、本技術通過在吹掃組件的側面安裝有控制風機，控制風機的右側固定安裝有安裝架，安裝架的上方固定安裝有間歇控制器，間歇控制器的下方開設有熱風器，熱風器的側面安裝有安裝管道，安裝管道的上方固定安裝有入風口，入風口的下方安裝有吹掃管道，通過控制風機帶動風力由安裝管道通向入風口，同時熱風器可帶動吹入的風力進行加熱，且間歇控制器可控制吹掃裝置進行清理時的頻率進行調節，避免晶圓受潮濕環境影響導致上方攜帶靜電，對粉塵吸附力較大，不便于進行吹掃。
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1.一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，包括晶圓吹掃系統主體（1），其特征在于：所述晶圓吹掃系統主體（1）的下方固定安裝有過濾組件（2），所述過濾組件（2）的內部固定安裝有第一過濾層（21），所述第一過濾層（21）的下方固定安裝有第二過濾層（22），所述第二過濾層（22）的右側安裝有出風連接口（23），所述第二過濾層（22）的下方固定安裝有高溫燃燒室（24），所述高溫燃燒室（24）的下方固定安裝有溫度控制器（26），所述溫度控制器（26）的輸出端開設有出料管道（25）。
2.如權利要求1所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述出風連接口（23）的側面固定安裝有吹掃組件（3），所述吹掃組件（3）的側面安裝有控制風機（31）。
3.如權利要求2所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述控制風機（31）的右側固定安裝有安裝架（32），所述安裝架（32）的上方固定安裝有間歇控制器（35），所述間歇控制器（35）的下方開設有熱風器（36），所述熱風器（36）的側面安裝有安裝管道（34），所述安裝管道（34）的上方固定安裝有入風口（33）。
4.如權利要求3所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述入風口（33）的下方安裝有吹掃管道（12），所述吹掃管道（12）的下方安裝有防護外殼（11），所述防護外殼（11）的下方固定安裝有吹掃清理區（13），所述吹掃清理區（13）的下方開設有出料口（14）。
5.如權利要求4所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述出料口（14）的上方安裝有連接管道（15），所述連接管道（15）的下方安裝有連接桿（16）。
6.如權利要求5所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述連接桿（16）的下方固定安裝有第一支撐架（17）。
7.如權利要求6所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述第一支撐架（17）的側面固定安裝有第二支撐架（18）。
...【技術特征摘要】
1.一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，包括晶圓吹掃系統主體（1），其特征在于：所述晶圓吹掃系統主體（1）的下方固定安裝有過濾組件（2），所述過濾組件（2）的內部固定安裝有第一過濾層（21），所述第一過濾層（21）的下方固定安裝有第二過濾層（22），所述第二過濾層（22）的右側安裝有出風連接口（23），所述第二過濾層（22）的下方固定安裝有高溫燃燒室（24），所述高溫燃燒室（24）的下方固定安裝有溫度控制器（26），所述溫度控制器（26）的輸出端開設有出料管道（25）。
2.如權利要求1所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述出風連接口（23）的側面固定安裝有吹掃組件（3），所述吹掃組件（3）的側面安裝有控制風機（31）。
3.如權利要求2所述的一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，其特征在于：所述控制風機（31）的右側固定安裝有安裝架（32），所述安裝架（32）的上方固定安裝有間歇控制器（35），所述間歇控制器（35）的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陸先鋒，
申請(專利權)人：無錫頌林達科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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