【技術實現步驟摘要】
本申請涉及晶棒的切割,具體而言,涉及一種定位工裝及晶棒粘合系統。
技術介紹
1、晶棒原料送到切片車間進行加工成硅片,一般通過切片機進行線割形成硅片。具體方式為:將晶棒粘合在晶托上,然后一起裝載在切片機內部進行固定,然后進行切片。由于切片機切割時需要將晶棒切透,若晶棒直接粘貼在晶托上,容易損傷晶托,不利于晶托的循環使用,故在晶托和晶棒之間多粘合了一層樹脂板,方便切片機在切割時,切透晶棒后不傷及晶托,只破壞相對廉價的樹脂板。
2、目前,都是人工在晶托上粘接樹脂板,再在樹脂板上粘接晶棒,使晶棒的粘合較為麻煩,并且還容易使晶托、樹脂板和晶棒之間產生偏移。
技術實現思路
1、本申請的目的在于提供一種定位工裝及晶棒粘合系統,可以方便固定晶棒。
2、第一方面,本申請實施例提供一種定位工裝,包括:基板、第一夾緊板和第二夾緊板。基板上凸出設置有定位塊,定位塊用于對晶托的第一寬度方向進行定位;基板的一端部還凸出設置有定位件,定位件用于對晶托的第一長度方向的一端進行限位。第一夾緊板固定于基板的第二寬度方向的一側,第二夾緊板設置于基板的第二寬度方向的另一側,且第二夾緊板能夠沿第二寬度方向移動,以使第一夾緊板和第二夾緊板共同夾緊晶棒的第三寬度方向的兩側。
3、在上述技術方案中,在需要將晶托、樹脂板和晶棒粘接在一起的時候,可以先將晶托放置在基板上,并且通過基板上的定位件對晶托的第一長度方向進行定位,然后通過定位塊對晶托的第一寬度方向進行定位,以使晶托承載在基板上的指定位置。
4、結合第一方面,在一些可能的實施方式中,晶托包括托板和位于托板下方的兩個托座,兩個托座沿第一寬度方向間隔設置。定位塊包括定位條和凸出設置于定位條上的凸出件,定位條沿第二寬度方向延伸,定位條用于承載兩個托座,且凸出件用于設置于兩個托座之間。
5、在上述技術方案中,將定位條上的凸出件設置兩個托座之間,在需要對晶托的第一寬度方向進行定位的時候,使凸出件與其中一個托座的側面抵靠即可,以實現晶托的定位安裝。
6、結合第一方面,在一些可能的實施方式中,凸出件的第二寬度方向的一側可拆卸螺紋連接有抵靠件,抵靠件的端面為用于與托座接觸的抵靠面。
7、凸出件如果長期與托座的側面抵靠,則會造成凸出件的磨損。在上述技術方案中,采用螺紋連接的抵靠件的抵靠面與托座的側面抵靠,如果抵靠面受到磨損,則直接將抵靠件拆卸下來,安裝新的抵靠件即可,不需要將凸出塊全部拆卸更換。
8、結合第一方面,在一些可能的實施方式中,定位件的高度方向上間隔設置有第一凸起、第二凸起和第三凸起,第一凸起用于對晶托的第一長度方向的一端進行限位;第二凸起用于對樹脂板的第四長度方向的一端進行限位,第三凸起用于對晶棒的第三長度方向的一側進行定位。
9、在上述技術方案中,通過定位件上的三個凸起,分別對晶托、樹脂板和晶棒的長度方向進行共同限位,以便三者的粘合效果更好,可以在一定程度上避免三者之間發生偏移。
10、結合第一方面,在一些可能的實施方式中,第一夾緊板可移動固定于基板的第二寬度方向的一側,第二夾緊板沿第二寬度方向滑動設置于基板。
11、在上述技術方案中,可以調整第一夾緊板的位置,以便可以滿足不同規格的晶棒的粘合,同時,第二夾緊板可以滑動,以便調節第一夾緊板和第二夾緊板之間的距離,從而對硅棒的寬度方向的兩側進行夾緊。
12、結合第一方面,在一些可能的實施方式中,基板上設置有四個定位孔,用于與頂升機構配合,以將定位工裝頂起。
13、在上述技術方案中,在需要上晶托、上樹脂板或上硅棒的時候,將定位工裝頂起,避免定位工裝在生產線上輸送,以便可以精準上料。
14、結合第一方面,在一些可能的實施方式中,基板的前端設置有限位槽,用于將定位工裝限制在預設工位。
15、在上述技術方案中,通過限位槽的設置,可以將定位工裝設置在限制在預設工位,以便進行上料。
16、第二方面,本申請提供一種晶棒粘合系統,包括粘棒生產線、定位工裝和樹脂板限位組件。粘棒生產線具有依次設置的上晶托工位、第一施膠工位、上樹脂板工位、第二施膠工位和上晶棒工位。定位工裝依次經過上晶托工位、第一施膠工位、上樹脂板工位、第二施膠工位和上晶棒工位。樹脂板限位組件設置于上樹脂板工位,用于對設置于晶托上的樹脂板的第四寬度方向的一側進行限位。
17、在上述技術方案中,先在上晶托工位將晶托固定在定位工裝上,然后在晶托的托板上施膠;再在上樹脂板工位將樹脂板固定在晶托上,并通過樹脂板限位組件對樹脂板的寬度方向進行定位;然后在樹脂板上施膠,然后將晶棒粘接在樹脂板上,從而可以使晶托、樹脂板和晶棒較好的固定在一起,并在一定程度上避免三者在固定的時候發生偏移,固定效果更好。
18、結合第二方面,在一些可能的實施方式中,樹脂板限位組件包括基架、轉動件和限位件,基架固定于粘棒生產線的上樹脂板工位,限位件的一端固定于轉動件,轉動件轉動連接于基架,以使限位件的遠離轉動件的一端翻轉設置于基板上,以對樹脂板的第四寬度方向的一側進行限位。
19、在上述技術方案中,在將定位工裝輸送至上樹脂板工位之前,限位件未設置在工位內部,將定位工裝輸送至上樹脂板工位之后,轉動件轉動,使限位件設置在定位工裝上,然后進行上樹脂板,然后使轉動件轉動,使限位件脫離定位工裝,然后將定位工裝輸送至下一工位,可以對樹脂板進行限位,又不影響定位工裝的輸送。
20、結合第二方面,在一些可能的實施方式中,限位件包括依次連接的第一連接桿、第二連接桿和限位桿,第一連接桿的一端固定于轉動件,第一連接桿與第二連接桿滑動連接,以調節第一連接桿與第二連接桿的長度之和,限位桿用于翻轉設置于基板上。
21、在上述技術方案中,可以調節限位桿在定位工裝內的位置,以便對不同寬度的樹脂板均可以進行定位。
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1.一種定位工裝,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的定位工裝,其特征在于,所述晶托包括托板和位于所述托板下方的兩個托座,兩個所述托座沿所述第一寬度方向間隔設置;
3.根據權利要求2所述的定位工裝,其特征在于,所述凸出件的所述第二寬度方向的一側可拆卸螺紋連接有抵靠件,所述抵靠件的端面為用于與所述托座接觸的抵靠面。
4.根據權利要求1~3任一項所述的定位工裝,其特征在于,所述定位件的高度方向上間隔設置有第一凸起、第二凸起和第三凸起,所述第一凸起用于對所述晶托的所述第一長度方向的一端進行限位;所述第二凸起用于對樹脂板的第四長度方向的一端進行限位,所述第三凸起用于對晶棒的第三長度方向的一側進行定位。
5.根據權利要求1~3任一項所述的定位工裝,其特征在于,所述第一夾緊板可移動固定于所述基板的所述第二寬度方向的一側,所述第二夾緊板沿所述第二寬度方向滑動設置于所述基板。
6.根據權利要求1~3任一項所述的定位工裝,其特征在于,所述基板上設置有四個定位孔,用于與頂升機構配合,以將所述定位工裝頂起。
7.根據權利要
8.一種晶棒粘合系統,其特征在于,包括:
9.根據權利要求8所述的晶棒粘合系統,其特征在于,所述樹脂板限位組件包括基架、轉動件和限位件,所述基架固定于所述粘棒生產線的所述上樹脂板工位,所述限位件的一端固定于所述轉動件,所述轉動件轉動連接于所述基架,以使所述限位件的遠離所述轉動件的一端翻轉設置于所述基板上,以對所述樹脂板的第四寬度方向的一側進行限位。
10.根據權利要求9所述的晶棒粘合系統,其特征在于,所述限位件包括依次連接的第一連接桿、第二連接桿和限位桿,所述第一連接桿的一端固定于所述轉動件,第一連接桿與所述第二連接桿滑動連接,以調節所述第一連接桿與所述第二連接桿的長度之和,所述限位桿用于翻轉設置于所述基板上。
...【技術特征摘要】
1.一種定位工裝,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的定位工裝,其特征在于,所述晶托包括托板和位于所述托板下方的兩個托座,兩個所述托座沿所述第一寬度方向間隔設置;
3.根據權利要求2所述的定位工裝,其特征在于,所述凸出件的所述第二寬度方向的一側可拆卸螺紋連接有抵靠件,所述抵靠件的端面為用于與所述托座接觸的抵靠面。
4.根據權利要求1~3任一項所述的定位工裝,其特征在于,所述定位件的高度方向上間隔設置有第一凸起、第二凸起和第三凸起,所述第一凸起用于對所述晶托的所述第一長度方向的一端進行限位;所述第二凸起用于對樹脂板的第四長度方向的一端進行限位,所述第三凸起用于對晶棒的第三長度方向的一側進行定位。
5.根據權利要求1~3任一項所述的定位工裝,其特征在于,所述第一夾緊板可移動固定于所述基板的所述第二寬度方向的一側,所述第二夾緊板沿所述第二寬度方向滑動設置于所述基板。
6.根據權利要求1~3任一項所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員:羅峰,李佳儒,楊潤,
申請(專利權)人:通合新能源金堂有限公司,
類型:新型
國別省市:
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