【技術實現步驟摘要】
本技術涉及外延爐，尤其是一種應用在外延爐的傳輸裝置上的外延爐晶圓材料的取放隔離結構。
技術介紹
1、目前，在半導體工藝過程中，污染是生產制造工藝中需要首要解決的問題。如碳化硅外延爐的放片和取片的過程中，即將單片盒上的襯底取出放到進樣腔上或將進樣腔上的外延片取出放回單片盒的過程當中并沒有與外界隔離，容易存在粉塵等漂浮物和掉落物掉落在襯底或外延片上而導致污染，影響成品質量差。
2、因此，基于上述問題，需要設計一種能解決了碳化硅外延爐在放片和取片時容易被外界污染物影響的隔離結構，對于提升碳化硅外延片的成品質量有著非常重要的實際意義。
技術實現思路
1、針對上述不足，本技術的目的在于，提供一種結構設計合理，能解決外延爐在放片和取片時容易被外界污染物影響的外延爐晶圓材料的取放隔離結構。
2、為實現上述目的，本技術所提供的技術方案是：
3、一種外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其包括進樣腔底座、進樣腔上蓋和隔離箱，所述隔離箱至少有一面是透明結構，這樣可以方便觀察和操作晶圓材料的取放過程，所述進樣腔底座設置在所述隔離箱內，所述進樣腔上蓋蓋設在所述進樣腔底座上，所述隔離箱的箱壁上設有能伸入其內的操作手套，所述隔離箱上設有進氣口和排氣口。
4、作為本技術的一種優選方案，所述隔離箱包括透明耐酸堿箱體和門板，所述透明耐酸堿箱體的正面設有進樣開口，所述門板設置在所述進樣開口上，并能打開或封閉所述進樣開口。透明耐酸堿箱體由透明、物化穩定性高、力學性能好的耐酸堿材料
5、作為本技術的一種優選方案，所述透明耐酸堿箱體或門板上設有手套管，所述操作手套套設在所述手套管上，可以在保持封閉環境的同時進行操作。
6、作為本技術的一種優選方案，所述進氣口和排氣口位于所述透明耐酸堿箱體的背面，布置合理，排氣孔用于抽真空，確保箱內潔凈，避免箱內環境受到污染而影響外延片質量。
7、作為本技術的一種優選方案，所述進樣開口的邊緣設有能將所述門板鎖住的門鎖，通過門鎖鎖緊，能確保箱體內部的密封性。
8、作為本技術的一種優選方案，所述進樣腔底座上設有用來取放晶圓材料的取放位，能方便準確地進行對晶圓材料進行取放，所述晶圓材料可以為襯底或外延片等。
9、作為本技術的一種優選方案，所述進樣腔上蓋上設有提手,能方便將進樣腔上蓋打開，便于操作。
10、本技術的有益效果為：本技術的結構設計合理，通過隔離箱將進樣腔底座和進樣腔上蓋與外界隔離，操作人員將手伸入操作手套便能完成襯底或外延片的取放流程，整體取放流程均是在隔離箱內完成的，有效解決碳化硅外延爐在放片和取片時容易被外界污染物影響的問題，進而保證成品質量。而且在操作前，還可以通過排氣孔進行對隔離箱進行抽真空，確保箱內潔凈，然后再通過進氣口送入清潔惰性氣體使得箱內和腔內的氣壓平衡，以方便操作。另外整體結構簡單，可靠性高，成本較低，操作簡易，利于廣泛推廣應用。
11、下面結合附圖與實施例，對本技術進一步說明。
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1.一種外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其包括進樣腔底座和進樣腔上蓋，其特征在于，其還包括隔離箱，所述隔離箱至少有一面是透明結構，所述進樣腔底座設置在所述隔離箱內，所述進樣腔上蓋蓋設在所述進樣腔底座上，所述隔離箱的箱壁上設有能伸入其內的操作手套，所述隔離箱上設有進氣口和排氣口。
2.根據權利要求1所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述隔離箱包括透明耐酸堿箱體和門板，所述透明耐酸堿箱體的正面設有進樣開口，所述門板設置在所述進樣開口上，并能打開或封閉所述進樣開口。
3.根據權利要求2所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述透明耐酸堿箱體或門板上設有手套管，所述操作手套套設在所述手套管上。
4.根據權利要求2所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述進氣口和排氣口位于所述透明耐酸堿箱體的背面。
5.根據權利要求2所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述進樣開口的邊緣設有能將所述門板鎖住的門鎖。
6.根據權利要求1所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述進樣腔底座上設有用
7.根據權利要求6所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述晶圓材料為襯底或外延片。
8.根據權利要求1-7任意一項所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述進樣腔上蓋上設有能方便將其打開的提手。
...【技術特征摘要】
1.一種外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其包括進樣腔底座和進樣腔上蓋，其特征在于，其還包括隔離箱，所述隔離箱至少有一面是透明結構，所述進樣腔底座設置在所述隔離箱內，所述進樣腔上蓋蓋設在所述進樣腔底座上，所述隔離箱的箱壁上設有能伸入其內的操作手套，所述隔離箱上設有進氣口和排氣口。
2.根據權利要求1所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述隔離箱包括透明耐酸堿箱體和門板，所述透明耐酸堿箱體的正面設有進樣開口，所述門板設置在所述進樣開口上，并能打開或封閉所述進樣開口。
3.根據權利要求2所述的外延爐晶圓材料的取放隔離結構，其特征在于，所述透明耐酸堿箱體或門板上設有手套管，所述操作手套套設在所述手...
【專利技術屬性】
技術研發人員：嚴澤昌，曾慶森，陳佳枚，林逸，陳蛟，
申請(專利權)人：廣州粵升半導體設備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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