【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及玻璃基板以及玻璃基板的制造裝置。
技術介紹
1、在半導體器件的制造工序中，作為支承半導體器件的部件，有時使用玻璃基板。例如，如專利文獻1所示，存在通過向這樣的玻璃基板的表面照射激光進行刻印而在玻璃基板的表面形成標記的情況。
2、專利文獻1：日本特開2016－210644號公報
3、玻璃基板的表面的標記通過讀碼器等來讀取。在該情況下，要求標記被可靠地讀取。因此，要求形成容易讀取的標記。
技術實現思路
1、本專利技術是鑒于上述課題完成的，目的在于提供容易讀取標記的玻璃基板。
2、為了解決上述課題，實現目的，本專利技術所涉及的玻璃基板是在表面設置有由多個點構成的標記的玻璃基板，其中，上述點具有：凹陷部，該凹陷部是從上述表面凹陷的部分；和突出部，該突出部在上述玻璃基板的厚度方向上比上述凹陷部突出，上述突出部在與上述點的輪廓重疊的位置或比上述輪廓靠內側的位置延伸。
3、為了解決上述課題，實現目的，本專利技術所涉及的玻璃基板的制造裝置是在玻璃基板的表面設置由多個點構成的標記的制造裝置，其中，上述制造裝置具備：激光振蕩器，發出在玻璃基板形成點的激光；和掩模，設置于從上述激光振蕩器連結至上述玻璃基板的上述激光的光路上，上述掩模具有透過圖案，該透過圖案具有供上述激光透過的透過部和遮擋上述激光的遮擋部，上述遮擋部在從沿著上述激光的光路的方向俯視觀察時在與上述透過圖案的輪廓重疊的位置或比上述輪廓靠內側的位置延伸。
4、根據本專利技
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1.一種玻璃基板，在表面設置有由多個點構成的標記，其中，
2.根據權利要求1所述的玻璃基板，其中，
3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，
4.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，
5.根據權利要求4所述的玻璃基板，其中，
6.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，
7.一種玻璃基板的制造裝置，在玻璃基板的表面設置由多個點構成的標記，
8.根據權利要求7所述的玻璃基板的制造裝置，其中，
【技術特征摘要】
1.一種玻璃基板，在表面設置有由多個點構成的標記，其中，
2.根據權利要求1所述的玻璃基板，其中，
3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，
4.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，
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【專利技術屬性】
技術研發人員：勝野楓，小林悠波，堀內浩平，
申請(專利權)人：AGC株式會社，
類型：發明
國別省市：
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