【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及例如渦輪分子泵等的真空泵、真空泵用旋轉(zhuǎn)體以及真空泵用平衡修正部件。
技術(shù)介紹
1、一般，作為真空泵的一種而知曉渦輪分子泵。該渦輪分子泵中，借助向泵主體內(nèi)的馬達(dá)的通電而使旋轉(zhuǎn)葉片旋轉(zhuǎn)，將吸入到泵主體的氣體(工藝氣體)的氣體分子(氣體的分子)彈開從而排出氣體。此外，在這樣的渦輪分子泵中，存在為了適當(dāng)?shù)毓芾肀脙?nèi)的溫度而具備加熱器或冷卻管的類型的產(chǎn)品。
2、在像渦輪分子泵這樣地使旋轉(zhuǎn)葉片旋轉(zhuǎn)的真空泵中，有必要實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)葉片的重量的平衡。在未實現(xiàn)平衡的情況下，進(jìn)行為了實現(xiàn)平衡的修正作業(yè)。作為重量平衡的修正方法，公知有后面揭示的專利文獻(xiàn)1～3中記載的那樣的方法。
3、在專利文獻(xiàn)1中記載有為了對平衡進(jìn)行修正而削去旋轉(zhuǎn)葉片的一部分的方法(段落0010等)。在專利文獻(xiàn)2中記載有在旋轉(zhuǎn)葉片的內(nèi)側(cè)(用粘結(jié)劑等)粘上樹脂制的配重的方法(段落0029等)、在旋轉(zhuǎn)葉片等的一部分設(shè)置螺紋孔并安裝螺紋件的方法(段落0046等)。進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)3中記載有在旋轉(zhuǎn)葉片的內(nèi)側(cè)設(shè)置槽而嵌合安裝配重的方法(段落0029等)。
4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)
6、專利文獻(xiàn)1：日本特開2018-127950號公報
7、專利文獻(xiàn)2：日本特開2003-148389號公報
8、專利文獻(xiàn)3：日本特開2002-327697號公報。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、專利技術(shù)要解決的課題
2、在專利文獻(xiàn)1的方法中，需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)葉片的切削作業(yè)的工序。
3、在專利文獻(xiàn)2的使用粘結(jié)劑的方法中，樹脂制的配重由于工藝氣體而腐蝕或在真空中揮發(fā)而隨時間變化。此外，在旋轉(zhuǎn)葉片變?yōu)楦邷氐那闆r下，存在會超過樹脂的耐熱溫度的情況。進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)2的旋轉(zhuǎn)葉片設(shè)置螺紋孔的方法中，由于在旋轉(zhuǎn)中發(fā)生應(yīng)力集中，需要考慮到該應(yīng)力集中的設(shè)計。此外，在電樞盤等設(shè)置螺紋孔的情況下，電樞盤等的直徑相對地較小，因此在電樞盤上等能夠安裝螺栓的區(qū)域較少。進(jìn)而，在直徑較小的部件上設(shè)置螺栓的情況下，距旋轉(zhuǎn)中心(軸心)的距離短，因此難得到平衡修正的效果。
4、在專利文獻(xiàn)3的方法中，使用箱狀的配重，但箱狀的配重難以小型化，為了安裝需要較多的空間。
5、本專利技術(shù)的目的在于提供平衡修正部件能夠小型化且平衡修正部件容易安裝的真空泵以及真空泵用旋轉(zhuǎn)體。此外，本專利技術(shù)的其他的目的在于提供能夠小型化且安裝容易的真空泵用平衡修正部件。
6、用于解決課題的技術(shù)手段
7、(1)為了達(dá)成上述目的，本專利技術(shù)所涉及的真空泵具備：
8、外裝體；
9、包含在所述外裝體內(nèi)且被支承為旋轉(zhuǎn)自如的旋轉(zhuǎn)體；
10、所述旋轉(zhuǎn)體的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，
11、所述真空泵的特征在于，
12、在所述旋轉(zhuǎn)體的內(nèi)周面配設(shè)有凹部，在所述凹部設(shè)置板狀的平衡修正部件。
13、(2)為了達(dá)成上述目的，本專利技術(shù)所涉及的真空泵用旋轉(zhuǎn)體包含在外裝體內(nèi)而被支承為旋轉(zhuǎn)自如且被驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，其特征在于，
14、設(shè)置板狀的平衡修正部件的凹部被配設(shè)于內(nèi)周面。
15、(3)為了達(dá)成上述目的，本專利技術(shù)所涉及的真空泵用平衡修正部件安裝于真空泵用旋轉(zhuǎn)體，所述真空泵用旋轉(zhuǎn)體包含在外裝體內(nèi)而被支承為旋轉(zhuǎn)自如且被驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，
16、真空泵用平衡修正部件的特征在于，
17、形成為板狀，被配置于配設(shè)在所述真空泵用旋轉(zhuǎn)體的內(nèi)周面的凹部。
18、專利技術(shù)效果
19、根據(jù)上述專利技術(shù)，能夠提供平衡修正部件能夠小型化且平衡修正部件容易安裝的真空泵以及真空泵用旋轉(zhuǎn)體。此外，根據(jù)本專利技術(shù)，能夠提供能夠小型化且安裝容易的真空泵用平衡修正部件。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種真空泵，具備：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的真空泵，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的真空泵，其特征在于，
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其特征在于，
8.一種真空泵用旋轉(zhuǎn)體，被包含在外裝體內(nèi)，被支承為旋轉(zhuǎn)自如，被驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，
9.一種真空泵用平衡修正部件，安裝于真空泵用旋轉(zhuǎn)體，所述真空泵用旋轉(zhuǎn)體被包含在外裝體內(nèi)而支承為旋轉(zhuǎn)自如且被驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，
【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
1.一種真空泵，具備：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的真空泵，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：樺澤剛志，
申請(專利權(quán))人：埃地沃茲日本有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。