【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及載荷傳感器元件。
技術介紹
1、在jph07－167720a中公開了一種壓力傳感器。
2、該壓力傳感器是由樹脂制的上殼體以及組裝在上殼體中而構成壓力傳感器的。壓力傳感元件將其基板的圓形部分的周緣部作為固定部分，將該固定部分內側的圓形部分作為受壓部。在壓力傳感器元件的受壓部設置有應變感測電阻體。另外，壓力傳感器在壓力傳感器元件的非應變部設置有調整用電阻體。
技術實現思路
1、在這樣的壓力傳感器中，具有與下殼體的凹部連通安裝的管，或與元件部分對應地與設置于上殼體的凹部連通安裝的管，要通過這些管中的一個來測定的壓力施加在元件的圓形部分。即，在承受到載荷時，壓力傳感器元件整體變形。因此，即使使用調整用電阻體來進行溫度補償，調整用電阻體的輸出也會受到壓力傳感器元件的變形的影響。
2、由此，導致溫度校正的精度降低。
3、因此，本專利技術的目的在于能夠提高溫度補償精度。
4、本專利技術的一個方式的載荷傳感器元件是用于測量表面壓力載荷的載荷傳感器元件，具備：基板；以及無機層，具有承受載荷的受壓面，并且所述無機層被設置為覆蓋所述基板的一面的一部分。載荷傳感器元件具備薄膜電阻體，所述薄膜電阻體是電阻值根據所述無機層所承受的載荷而變化的電阻體，并且具有主體部以及兩端部，所述主體部夾在所述基板與所述無機層之間，所述兩端部配置在未被所述無機層覆蓋的所述基板的暴露部。載荷傳感器元件具備：第一溫度補償電阻體，獨立于所述薄膜電阻體，并且配置在所述基板的
5、根據本方式，在基板因無機層所承受的載荷而變形時，設置于基板的一面的第一溫度補償電阻體和設置于基板的另一面的第二溫度補償電阻體產生彼此相反極性的電阻值變化。具體而言，示例性地，若第一溫度補償電阻體的電阻值變高，則第二溫度補償電阻體的電阻值變低。
6、因此，通過利用第一溫度補償電阻體所示的電阻值和第二溫度補償電阻體所示的電阻值，能夠消除因基板的變形而產生的電阻值的變化。由此，能夠獲取依賴于環境溫度的電阻值的變化成分。
7、因此，在測量表面壓力載荷的載荷傳感器元件中，通過抑制由基板的變形引起的對電阻值的變化的影響，能夠提高溫度補償精度。
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1.一種載荷傳感器元件，用于測量表面壓力載荷，所述載荷傳感器元件具備：
2.根據權利要求1所述的載荷傳感器元件，其中，
3.根據權利要求1或2所述的載荷傳感器元件，其中，
4.根據權利要求1至3中任一項所述的載荷傳感器元件，其中，
5.根據權利要求1至4中任一項所述的載荷傳感器元件，具備：
6.根據權利要求1至5中任一項所述的載荷傳感器元件，其中，
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種載荷傳感器元件，用于測量表面壓力載荷，所述載荷傳感器元件具備：
2.根據權利要求1所述的載荷傳感器元件，其中，
3.根據權利要求1或2所述的載荷傳感器元件，其中，
【專利技術屬性】
技術研發人員：唐澤淳，青木菜摘，津野將彌，
申請(專利權)人：KOA株式會社，
類型：發明
國別省市：
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