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    半導體裝置制造方法及圖紙

    技術編號:43101770 閱讀:17 留言:0更新日期:2024-10-26 09:45
    本發明專利技術能降低恢復損耗。本發明專利技術包含:陽極電極(20),形成在半導體基材(12)的正面上;陰極電極(22),形成在背面上;P層(16),形成在陽極電極(20)側;N層(14),形成在陰極電極(22)側;N+層(26),配置在P層(16)與N層(14)之間,載子濃度比N層(14)高;及陽極溝槽(30),從半導體基材(12)的正面向背面側延伸,貫通P層(16),延伸到N+層(26),在周邊的N+層(26)之間形成有絕緣膜(32),并且內部配置的導電材(34)連接于陽極電極(20)。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及一種半導體裝置,尤其是其恢復損耗的降低。


    技術介紹

    1、在半導體裝置中,利用使用pn結來控制電流的技術。二極管具有pn結,允許從p側的陽極向n側的陰極流通的電流,阻斷相反方向的電流。而且,導通時,從陽極注入大量被稱為電洞的載子,從陰極注入大量被稱為電子的載子,從而降低導通時的順向電壓降vf。

    2、另一方面,恢復時,將所注入的電洞與電子(載子)分別向陽極與陰極排出,因此若存在大量載子,則恢復損耗err會變大。

    3、專利文獻1中揭示了設置壽命抑制因數(lifetime?killer),使內部的載子消亡,由此加快載子排出的內容。

    4、[
    技術介紹
    文獻]

    5、[專利文獻]

    6、[專利文獻1]國際公開wo2017/146148號公報


    技術實現思路

    1、[專利技術要解決的問題]

    2、在這里,壽命抑制因數是通過使半導體形成晶體缺陷而設置的,實施該處理需要大規模的裝置及作業工序。進而,設置壽命抑制因數還會造成溫度特性變差及漏電流變大的問題。

    3、[解決問題的技術手段]

    4、本專利技術的半導體裝置包含:

    5、半導體基材;

    6、陽極電極,形成在所述半導體基材的一側的表面上;

    7、陰極電極,形成在所述半導體基材的另一側的表面上;

    8、p層,形成在所述半導體基材內的所述陽極電極側;

    9、n層,形成在所述半導體基材內的所述p層的所述陰極電極側;

    10、n+層,配置在所述p層與所述n層之間,載子濃度比所述n層高;及

    11、陽極溝槽,從所述半導體基材的一側的表面向另一側的表面延伸,貫通所述p層,延伸到所述n+層,在周邊的所述n+層之間形成有絕緣膜,并且內部配置的導電材連接于所述陽極電極。

    12、[專利技術的效果]

    13、根據本專利技術的半導體裝置,通過具有n+層,能使斷路時殘留的載子為相對較低的濃度,從而在斷路時能降低損耗。另外,通過陽極溝槽所帶來的電場,能提高耐壓。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種半導體裝置,包含:

    2.根據權利要求1所述的半導體裝置,其中

    3.根據權利要求1或2所述的半導體裝置,其中

    【技術特征摘要】

    1.一種半導體裝置,包含:

    2.根據權利要求1所述的半導體...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:岡田哲也,岡田喜久雄,新井寬己,
    申請(專利權)人:上海韋爾半導體股份有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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