【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實，特別涉及一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)、方法和設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、在mocvd（金屬有機物化學(xué)氣相沉積）設(shè)備的運行過程中，高溫溫腔是其核心組成部分，其負責(zé)提供穩(wěn)定且精確的工藝環(huán)境。然而，由于溫腔內(nèi)溫度極高，通常超過1000攝氏度，這使得傳統(tǒng)的設(shè)備檢修與維護工作變得極具挑戰(zhàn)性。高溫環(huán)境不僅給檢修人員帶來了極高的安全風(fēng)險，而且限制了他們對設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)的直觀觀察和深入理解。
2、現(xiàn)有技術(shù)中，盡管數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實技術(shù)在各自領(lǐng)域取得了顯著進展，但在mocvd設(shè)備的檢修與維護領(lǐng)域，這些技術(shù)尚未得到有效整合和應(yīng)用。特別是在高溫環(huán)境下，傳統(tǒng)的檢修方式存在諸多困難，如操作危險、效率低下等。本專利技術(shù)旨在解決這一問題，通過整合技術(shù)，構(gòu)建一個高度互動且智能化的模擬系統(tǒng)，以提升高溫mocvd設(shè)備檢修與維護的效率和安全。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的無法對mocvd設(shè)備的高溫溫腔進行直觀觀察的問題，本申請主要提供一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)、方法和設(shè)備。
2、為了實現(xiàn)上述目的，本申請采用的第一個技術(shù)方案是：一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，其包括：腔體模型創(chuàng)建模塊，其利用耐高溫傳感器采集mocvd設(shè)備的腔體的實時數(shù)據(jù)，并利用實時數(shù)據(jù)建立mocvd設(shè)備的腔體的數(shù)字孿生模型；虛擬現(xiàn)實環(huán)境搭建模塊，其利用數(shù)字孿生模型搭建虛擬現(xiàn)實環(huán)境，其中，虛擬現(xiàn)實環(huán)境包括三維模型和高溫環(huán)境下的物理現(xiàn)象；智能化決策支持
3、可選的，基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，還包括：交互式智能模擬模塊，其通過觸覺反饋設(shè)備和語音識別系統(tǒng)來實現(xiàn)用戶和mocvd設(shè)備之間的交互性和互動性。
4、可選的，利用3d建模軟件，通過物理模擬和數(shù)值分析方法，將收集到的腔體的實時數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為數(shù)字孿生模型。
5、可選的，根據(jù)數(shù)字孿生模型，利用vr平臺搭建虛擬現(xiàn)實環(huán)境。
6、可選的，利用深度學(xué)習(xí)算法和機器學(xué)習(xí)模型，通過分析用戶在虛擬現(xiàn)實環(huán)境中的行為和mocvd設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)，預(yù)測mocvd設(shè)備的運行趨勢和潛在故障，并確定相應(yīng)的解決方案。
7、可選的，通過強化學(xué)習(xí)技術(shù)，根據(jù)用戶反饋和對解決方案的分析結(jié)果，對深度學(xué)習(xí)算法和機器學(xué)習(xí)模型的參數(shù)和算法進行調(diào)節(jié)，以提高預(yù)測的準(zhǔn)確性和決策的智能化水平。
8、可選的，在交互式智能模擬過程中，根據(jù)用戶的操作和需求進行實時分析和預(yù)測，并將分析和預(yù)測結(jié)果反饋給用戶。
9、本申請采用的第二個技術(shù)方案是：一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬方法，其包括：腔體模型創(chuàng)建步驟，其利用耐高溫傳感器采集mocvd設(shè)備的腔體的實時數(shù)據(jù)，并利用實時數(shù)據(jù)建立mocvd設(shè)備的腔體的數(shù)字孿生模型；虛擬現(xiàn)實環(huán)境搭建步驟，其利用數(shù)字孿生模型搭建虛擬現(xiàn)實環(huán)境，其中，虛擬現(xiàn)實環(huán)境包括三維模型和高溫環(huán)境下的物理現(xiàn)象；智能化決策支持步驟，其通過分析用戶在虛擬現(xiàn)實環(huán)境中的行為和mocvd設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)，預(yù)測mocvd設(shè)備的運行趨勢和潛在故障，并確定相應(yīng)的解決方案。
10、可選的，基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬方法，還包括：交互式智能模擬步驟，其通過觸覺反饋設(shè)備和語音識別系統(tǒng)來實現(xiàn)用戶和mocvd設(shè)備之間的交互性和互動性。
11、可選的，利用3d建模軟件，通過物理模擬和數(shù)值分析方法，將收集到的腔體的實時數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為數(shù)字孿生模型。
12、可選的，根據(jù)數(shù)字孿生模型，利用vr平臺搭建虛擬現(xiàn)實環(huán)境。
13、可選的，利用深度學(xué)習(xí)算法和機器學(xué)習(xí)模型，通過分析用戶在虛擬現(xiàn)實環(huán)境中的行為和mocvd設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)，預(yù)測mocvd設(shè)備的運行趨勢和潛在故障，并確定相應(yīng)的解決方案。
14、可選的，通過強化學(xué)習(xí)技術(shù)，根據(jù)用戶反饋和對解決方案的分析結(jié)果，對深度學(xué)習(xí)算法和機器學(xué)習(xí)模型的參數(shù)和算法進行調(diào)節(jié)，以提高預(yù)測的準(zhǔn)確性和決策的智能化水平。
15、可選的，在交互式智能模擬過程中，根據(jù)用戶的操作和需求進行實時分析和預(yù)測，并將分析和預(yù)測結(jié)果反饋給用戶。
16、本申請采用的第三個技術(shù)方案是：一種計算機設(shè)備，包括存儲器、處理器以及存儲在存儲器上的計算機程序，該處理器執(zhí)行計算機程序以實現(xiàn)方案二中的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬方法。
17、本申請的技術(shù)方案可以達到的有益效果是：通過將數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實技術(shù)整合，實現(xiàn)了對高溫環(huán)境下設(shè)備運行狀態(tài)和性能表現(xiàn)的高度逼真模擬，為工程師和檢修人員提供一個高效、安全且直觀的模擬平臺，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫環(huán)境模擬，其通過耐高溫傳感器和數(shù)字孿生技術(shù)，實現(xiàn)對高溫溫腔內(nèi)部運行狀態(tài)的精確模擬，為用戶提供一個直觀、安全的操作環(huán)境；能夠?qū)崿F(xiàn)智能化決策支持，其結(jié)合人工智能技術(shù)，系統(tǒng)能夠自動分析設(shè)備運行數(shù)據(jù)，預(yù)測潛在故障，并為用戶提供優(yōu)化的檢修方案；能夠?qū)崿F(xiàn)實時交互體驗，其通過虛擬現(xiàn)實技術(shù)，使用戶可以身臨其境地觀察高溫設(shè)備的運行狀態(tài)，與設(shè)備進行實時交互，提高檢修效率和安全性。
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1.一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，還包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，利用3D建模軟件，通過物理模擬和數(shù)值分析方法，將收集到的腔體的所述實時數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為所述數(shù)字孿生模型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，根據(jù)所述數(shù)字孿生模型，利用VR平臺搭建所述虛擬現(xiàn)實環(huán)境。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，利用深度學(xué)習(xí)算法和機器學(xué)習(xí)模型，通過分析用戶在所述虛擬現(xiàn)實環(huán)境中的行為和所述MOCVD設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)，預(yù)測所述MOCVD設(shè)備的運行趨勢和潛在故障，并確定相應(yīng)的解決方案。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，通過強化學(xué)習(xí)技術(shù)，根據(jù)用戶反饋和對所述解決方案的分析結(jié)果，對所述深度學(xué)習(xí)算法和所述機器學(xué)習(xí)模型的參數(shù)和算法進行調(diào)節(jié)，以提高預(yù)
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬系統(tǒng)，其特征在于，
8.一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬方法，其特征在于，包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬方法，其特征在于，還包括：
10.一種計算機設(shè)備，包括存儲器、處理器以及存儲在存儲器上的計算機程序，其特征在于，所述處理器執(zhí)行所述計算機程序以實現(xiàn)如權(quán)利要求8-9中任一項所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的MOCVD模擬方法。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，其特征在于，還包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，其特征在于，利用3d建模軟件，通過物理模擬和數(shù)值分析方法，將收集到的腔體的所述實時數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為所述數(shù)字孿生模型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，其特征在于，根據(jù)所述數(shù)字孿生模型，利用vr平臺搭建所述虛擬現(xiàn)實環(huán)境。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于數(shù)字孿生和虛擬現(xiàn)實的mocvd模擬系統(tǒng)，其特征在于，利用深度學(xué)習(xí)算法和機器學(xué)習(xí)模型，通過分析用戶在所述虛擬現(xiàn)實環(huán)境中的行為和所述mocvd設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)，預(yù)測所述mocvd設(shè)備的運行趨勢和潛在故障，并...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：羅敏杰，陳浩，朱虹，
申請(專利權(quán))人：北京中科重儀半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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