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    一種芯片封裝用密封性檢測裝置制造方法及圖紙

    技術編號:43126689 閱讀:10 留言:0更新日期:2024-10-29 17:35
    本技術提供一種芯片封裝用密封性檢測裝置,包括:工作臺,所述工作臺上設置有底板和支架,所述底板上開設有滑槽,所述滑槽內滑動連接有安裝座,所述安裝座包括檢測基座,所述檢測基座上開設有第一安裝槽和第二安裝槽,所述第二安裝槽內設置有芯片檢測臺,所述第一安裝槽內設置有封閉板,所述支架上設置有氣缸,所述氣缸的輸出端固定連接有安裝板,所述安裝板上設置有抽氣檢測裝置。本技術提供的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,用于放置待檢測芯片的芯片檢測臺并非與安裝座固定連接,因此可以較方便的更換芯片放置槽尺寸不同的芯片檢測臺,從而對不同規格的芯片進行氣密性檢測,提高了裝置的適用性。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及芯片檢測裝置,尤其涉及一種芯片封裝用密封性檢測裝置


    技術介紹

    1、電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜集成電路。另有一種厚膜集成電路是由獨立半導體設備和被動組件,集成到襯底或線路板所構成的小型化電路,封裝是進行芯片加工的一個工藝,而在對芯片進行封裝后,需對其進行密封性的檢測。

    2、現有的芯片封裝檢測裝置,不便于對不同規格的芯片進行檢測,提高了檢測設備的使用成本。

    3、因此,有必要提供一種芯片封裝用密封性檢測裝置解決上述技術問題。


    技術實現思路

    1、本技術提供一種芯片封裝用密封性檢測裝置,解決了現有的芯片封裝檢測裝置不便于對不同規格的芯片進行檢測,提高了檢測設備的使用成本的問題。

    2、為解決上述技術問題,本技術提供的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,包括:工作臺,所述工作臺上設置有底板和支架,所述底板上開設有滑槽,所述滑槽內滑動連接有安裝座,所述安裝座包括檢測基座,所述檢測基座上開設有第一安裝槽和第二安裝槽,所述第二安裝槽的深度大于第一安裝槽,所述第二安裝槽內設置有芯片檢測臺,所述芯片檢測臺的上表面與第一安裝槽的底部位于同一水平面,所述第一安裝槽內設置有封閉板,所述芯片檢測臺包括檢測臺主體,所述檢測臺主體上開設有芯片放置槽,所述芯片放置槽內設置有通氣孔,所述通氣孔貫穿芯片檢測臺和安裝座,所述通氣孔內設置有進氣管道,所述進氣管道延伸到安裝座外部的一端設置有封閉閥,所述支架上設置有氣缸,所述氣缸的輸出端固定連接有安裝板,所述安裝板上設置有抽氣檢測裝置。

    3、優選的,所述檢測基座的下方設置有滑塊,所述滑塊與滑槽滑動連接,所述工作臺的底部設置有防滑墊塊。

    4、優選的,所述檢測基座的兩側分別設置有卡塊和延伸塊,所述延伸塊內設置有緊固螺釘,所述工作臺的兩側分別設置有卡槽和固定孔,所述卡槽與卡塊的位置對應,所述固定孔與延伸塊的位置對應。

    5、優選的,所述第二安裝槽的底部開設有定位孔,所述檢測臺主體的底部設置有定位凸柱,所述定位凸柱與定位孔的位置對應。

    6、優選的,所述抽氣檢測裝置包括檢測裝置主體,所述檢測裝置主體與安裝板的上表面固定連接,所述檢測裝置主體的下部貫穿安裝板設置有抽氣口。

    7、優選的,所述封閉板包括蓋板,所述蓋板位于第一安裝槽的內部,所述蓋板的中心開設有通孔,所述通孔與抽氣口的大小對應,所述通孔處固定連接有第一密封環,所述蓋板上開設有第二密封槽,所述第二密封槽位于第一密封環的外周,所述抽氣口的外周設置有第一密封槽,所述第一密封槽的外周設置有第二密封環,所述第二密封環與安裝板的下表面固定連接,所述第一密封環和第一密封槽的大小對應,所述第二密封環和第二密封槽的大小對應。

    8、與相關技術相比較,本技術提供的一種芯片封裝用密封性檢測裝置具有如下有益效果:

    9、本技術提供一種芯片封裝用密封性檢測裝置,用于放置待檢測芯片的芯片檢測臺并非與安裝座固定連接,因此可以較方便的更換芯片放置槽尺寸不同的芯片檢測臺,從而對不同規格的芯片進行氣密性檢測,提高了裝置的適用性。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,包括:工作臺,所述工作臺上設置有底板和支架,所述底板上開設有滑槽,所述滑槽內滑動連接有安裝座,所述安裝座包括檢測基座,所述檢測基座上開設有第一安裝槽和第二安裝槽,所述第二安裝槽的深度大于第一安裝槽,所述第二安裝槽內設置有芯片檢測臺,所述芯片檢測臺的上表面與第一安裝槽的底部位于同一水平面,所述第一安裝槽內設置有封閉板,所述芯片檢測臺包括檢測臺主體,所述檢測臺主體上開設有芯片放置槽,所述芯片放置槽內設置有通氣孔,所述通氣孔貫穿芯片檢測臺和安裝座,所述通氣孔內設置有進氣管道,所述進氣管道延伸到安裝座外部的一端設置有封閉閥,所述支架上設置有氣缸,所述氣缸的輸出端固定連接有安裝板,所述安裝板上設置有抽氣檢測裝置。

    2.根據權利要求1所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述檢測基座的下方設置有滑塊,所述滑塊與滑槽滑動連接,所述工作臺的底部設置有防滑墊塊。

    3.根據權利要求1所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述檢測基座的兩側分別設置有卡塊和延伸塊,所述延伸塊內設置有緊固螺釘,所述工作臺的兩側分別設置有卡槽和固定孔,所述卡槽與卡塊的位置對應,所述固定孔與延伸塊的位置對應。

    4.根據權利要求1所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述第二安裝槽的底部開設有定位孔,所述檢測臺主體的底部設置有定位凸柱,所述定位凸柱與定位孔的位置對應。

    5.根據權利要求1所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述抽氣檢測裝置包括檢測裝置主體,所述檢測裝置主體與安裝板的上表面固定連接,所述檢測裝置主體的下部貫穿安裝板設置有抽氣口。

    6.根據權利要求5所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述封閉板包括蓋板,所述蓋板位于第一安裝槽的內部,所述蓋板的中心開設有通孔,所述通孔與抽氣口的大小對應,所述通孔處固定連接有第一密封環,所述蓋板上開設有第二密封槽,所述第二密封槽位于第一密封環的外周,所述抽氣口的外周設置有第一密封槽,所述第一密封槽的外周設置有第二密封環,所述第二密封環與安裝板的下表面固定連接,所述第一密封環和第一密封槽的大小對應,所述第二密封環和第二密封槽的大小對應。

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    【技術特征摘要】

    1.一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,包括:工作臺,所述工作臺上設置有底板和支架,所述底板上開設有滑槽,所述滑槽內滑動連接有安裝座,所述安裝座包括檢測基座,所述檢測基座上開設有第一安裝槽和第二安裝槽,所述第二安裝槽的深度大于第一安裝槽,所述第二安裝槽內設置有芯片檢測臺,所述芯片檢測臺的上表面與第一安裝槽的底部位于同一水平面,所述第一安裝槽內設置有封閉板,所述芯片檢測臺包括檢測臺主體,所述檢測臺主體上開設有芯片放置槽,所述芯片放置槽內設置有通氣孔,所述通氣孔貫穿芯片檢測臺和安裝座,所述通氣孔內設置有進氣管道,所述進氣管道延伸到安裝座外部的一端設置有封閉閥,所述支架上設置有氣缸,所述氣缸的輸出端固定連接有安裝板,所述安裝板上設置有抽氣檢測裝置。

    2.根據權利要求1所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述檢測基座的下方設置有滑塊,所述滑塊與滑槽滑動連接,所述工作臺的底部設置有防滑墊塊。

    3.根據權利要求1所述的一種芯片封裝用密封性檢測裝置,其特征在于,所述檢測基座的兩側分別設置有卡塊和延伸塊,所述延伸塊內設置...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:郭虎王照新李建偉宋銀浩
    申請(專利權)人:炎黃國芯鹽城科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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