【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶硅生產，尤其涉及一種單晶硅生產設備。
技術介紹
1、在單晶硅生產過程中需要持續地向單晶爐內通入高純度氬氣等惰性氣體，同時真空泵不斷地從爐膛向外抽送氬氣，以此來保證單晶生長具有穩定的惰性氣體環境以及壓力，同時氬氣氣流可以及時地帶走單晶硅制備過程中產生的硅氧化物和雜質揮發物，保證單晶硅棒的成晶率和品質。目前，在單晶硅的生產過程中，從爐膛向外抽出的尾氬氣的回收純度不高。
技術實現思路
1、有鑒于此，本技術的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種單晶硅生產設備，能夠提高回收尾氬氣的純度。
2、本技術提供如下技術方案：
3、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，包括：第一爐室，所述第一爐室設有第一進氣口以及第一出氣口，所述第一進氣口與所述第一出氣口連通；第二爐室，所述第二爐室與所述第一爐室連通，所述第二爐室設有第二進氣口以及第二出氣口，所述第二進氣口與所述第二出氣口連通；氬氣回收裝置，所述氬氣回收裝置包括第一回路以及第二回路，所述第一回路的進氣端與所述第一出氣口連通，所述第二回路的進氣端與所述第二出氣口連通，所述第一回路具有第一出氣端以及第二出氣端，所述第二回路具有第三出氣端以及第四出氣端，所述第一出氣端與所述第四出氣端連通，所述第二出氣端與所述第三出氣端連通，且所述第一出氣端與所述第二出氣端的通斷關系相反，所述第三出氣端與所述第四出氣端的通斷關系相反。
4、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述第一回路包括第一主路、第一支路以及第二支路，所述
5、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括第一閥門以及第二閥門，所述第一閥門設置在所述第一支路上，所述第二閥門設置在所述第二支路上，且所述第一閥門與所述第二閥門的啟閉關系相反。
6、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括第一抽氣件，所述第一抽氣件設置在所述第一主路上。
7、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述第二回路包括第二主路、第三支路以及第四支路，所述第二主路的進氣端與所述第二出氣口連通，所述第三支路的進氣端以及所述第四支路的進氣端均與所述第二主路的出氣端連通，所述第三支路的出氣端為所述第三出氣端，所述第四支路的出氣端為所述第四出氣端。
8、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括第三閥門以及第四閥門，所述第三閥門設置在所述第三支路上，所述第四閥門設置在所述第四支路上，且所述第三閥門與所述第四閥門的啟閉關系相反。
9、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括第二抽氣件，所述第二抽氣件設置在所述第二主路上。
10、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括第一過濾件，所述第一過濾件設置在所述第二回路上，且所述第一過濾件設置在所述第二抽氣件靠近所述第二出氣口的一端。
11、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括第二過濾件，所述第二過濾件設置在所述第二主路上，且所述第二過濾件設置在所述第一過濾件與所述第二抽氣件之間。
12、根據本技術實施例的單晶硅生產設備，所述氬氣回收裝置還包括除油除塵件，所述除油除塵件設置在所述第二支路與所述第三支路的連通處。
13、本技術的實施例具有如下優點：
14、在上述的單晶硅生產設備中，第二爐室為主爐室，第一爐室為副爐室，第一爐室用于在單晶硅的生產過程中更換籽晶以及進行二次加料等，第二爐室用于生產單晶硅，第一出氣端以及第四出氣端均與氬氣回收系統連通，第二出氣端以及第三出氣端均與外界空氣連通，在生產開始前，可以使第四出氣端保持關閉狀態，同時使得第三出氣端保持開啟狀態，此時，第二爐室中的氣體能夠從第二回路中通過第三出氣端排出，從而能夠避免大量的空氣進入到氬氣回收系統內；同樣地，在進行更換籽晶以及二次加料等工序時，可以使第一出氣端保持關閉狀態，同時使得第二出氣端保持開啟狀態，此時，第一爐室中的氣體能夠從第一回路中通過第二出氣端排出，從而能夠避免大量的空氣進入到氬氣回收系統內；另外，在單晶硅的生產過程中，可以使第三出氣端保持關閉狀態，同時使第四出氣端保持開啟狀態，此時，第二爐室中的氣體能夠從第二回路中通過第四出氣端排入氬氣回收系統中，在這個階段所排入氬氣回收系統的氣體中的氬氣含量高，從而能夠避免氬氣回收系統中的氬氣濃度受影響，以此來提高尾氬氣的回收純度。
15、為使本技術的上述目的、特征和優點能更明顯和易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，做詳細說明如下。
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1.一種單晶硅生產設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述第一回路包括第一主路、第一支路以及第二支路，所述第一主路的進氣端與所述第一出氣口連通，所述第一支路的進氣端以及所述第二支路的進氣端均與所述第一主路的出氣端連通，所述第一支路的出氣端為所述第一出氣端，所述第二支路的出氣端為所述第二出氣端。
3.根據權利要求2所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第一閥門以及第二閥門，所述第一閥門設置在所述第一支路上，所述第二閥門設置在所述第二支路上，且所述第一閥門與所述第二閥門的啟閉關系相反。
4.根據權利要求2所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第一抽氣件，所述第一抽氣件設置在所述第一主路上。
5.根據權利要求2所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述第二回路包括第二主路、第三支路以及第四支路，所述第二主路的進氣端與所述第二出氣口連通，所述第三支路的進氣端以及所述第四支路的進氣端均與所述第二主路的出氣端連通，所述第三支路的出氣端為所述第三出氣端，所述第四支路的出氣端
6.根據權利要求5所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第三閥門以及第四閥門，所述第三閥門設置在所述第三支路上，所述第四閥門設置在所述第四支路上，且所述第三閥門與所述第四閥門的啟閉關系相反。
7.根據權利要求5所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第二抽氣件，所述第二抽氣件設置在所述第二主路上。
8.根據權利要求7所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第一過濾件，所述第一過濾件設置在所述第二回路上，且所述第一過濾件設置在所述第二抽氣件靠近所述第二出氣口的一端。
9.根據權利要求8所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第二過濾件，所述第二過濾件設置在所述第二主路上，且所述第二過濾件設置在所述第一過濾件與所述第二抽氣件之間。
10.根據權利要求5所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括除油除塵件，所述除油除塵件設置在所述第二支路與所述第三支路的連通處。
...【技術特征摘要】
1.一種單晶硅生產設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述第一回路包括第一主路、第一支路以及第二支路，所述第一主路的進氣端與所述第一出氣口連通，所述第一支路的進氣端以及所述第二支路的進氣端均與所述第一主路的出氣端連通，所述第一支路的出氣端為所述第一出氣端，所述第二支路的出氣端為所述第二出氣端。
3.根據權利要求2所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第一閥門以及第二閥門，所述第一閥門設置在所述第一支路上，所述第二閥門設置在所述第二支路上，且所述第一閥門與所述第二閥門的啟閉關系相反。
4.根據權利要求2所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述氬氣回收裝置還包括第一抽氣件，所述第一抽氣件設置在所述第一主路上。
5.根據權利要求2所述的單晶硅生產設備，其特征在于，所述第二回路包括第二主路、第三支路以及第四支路，所述第二主路的進氣端與所述第二出氣口連通，所述第三支路的進氣端以及所述第四支路的進氣端均與所述第二主路的出氣端連通，所述第三支路的出氣端為所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄒凱，田棟東，李長營，莫磊，張國宏，劉浩浩，張德林，陳亮亮，
申請(專利權)人：甘肅瓜州寶豐硅材料開發有限公司，
類型：新型
國別省市：
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