【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及人工晶體爐，尤其涉及一種用于晶體爐的副爐室定位裝置。
技術(shù)介紹
1、以單晶爐為例，單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過(guò)程中的必備設(shè)備，單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電的主要功能材料。隨著半導(dǎo)體、光電子、太陽(yáng)能等行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)于單晶爐的需求也越來(lái)越大。
2、現(xiàn)有單晶爐在使用時(shí)，當(dāng)爐料拉制完成后，需要將單晶爐的副爐室向上升起使副爐室與主爐室分離，當(dāng)副爐室上升到預(yù)定高度后旋轉(zhuǎn)副爐室，副爐室旋轉(zhuǎn)到預(yù)定位置后操作者將位于副爐室內(nèi)的晶棒取出，并對(duì)副爐室的內(nèi)壁進(jìn)行清理（主要清理粘附在副爐室內(nèi)壁上的揮發(fā)物），然后在主爐室內(nèi)重新放入原料，將副爐室旋轉(zhuǎn)至主爐室的上方，隨后下降副爐室，當(dāng)副爐室與主爐室接觸后需要通過(guò)人工將副爐室與主爐室上的連接螺栓孔對(duì)齊，由于副爐室的重量較大，在人工調(diào)整時(shí)費(fèi)時(shí)費(fèi)力，有時(shí)還會(huì)發(fā)生夾傷操作者手指的事故等。
3、那么，如何提供一種用于晶體爐的副爐室定位裝置就成了本領(lǐng)域技術(shù)人員的長(zhǎng)期技術(shù)訴求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了克服
技術(shù)介紹
中的不足，本技術(shù)公開(kāi)了一種用于晶體爐的副爐室定位裝置，本技術(shù)通過(guò)在副爐室下法蘭的上面設(shè)置可以旋轉(zhuǎn)的鎖緊環(huán)，通過(guò)鎖緊環(huán)及副爐室下法蘭上的定位銷穿孔與定位銷配合，實(shí)現(xiàn)了在副爐室下降時(shí)快速將副爐室與主爐室或旋板閥進(jìn)行定位的目的，避免了人工定位的操作等。
2、為了實(shí)現(xiàn)所述的專利技術(shù)目的，本技術(shù)采用如下技術(shù)方案：
3、一種用于晶體爐的副爐室定位裝置
4、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述右半鎖緊環(huán)和左半鎖緊環(huán)通過(guò)兩個(gè)旋轉(zhuǎn)手柄固定連接。
5、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述定位銷的下端頭固定設(shè)置在主爐室的上法蘭或旋板閥的上面，在定位銷的上端頭設(shè)有上端小下端大的錐形面，在定位銷的中部設(shè)有環(huán)形槽。
6、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述定位銷穿孔為左端直徑大右端直徑小的球拍型長(zhǎng)孔。
7、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述鎖緊環(huán)的外緣面上間隔設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)限位槽。
8、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述副爐室下法蘭的外緣面上間隔設(shè)有多個(gè)限位器固定座，在每個(gè)限位器固定座上分別設(shè)有限位器，所述限位器上的定位球?qū)?yīng)位于鎖緊環(huán)上設(shè)置的限位槽。
9、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述限位器包括定位球、彈簧安裝孔、彈簧和限位器主體，在所述限位器主體的中部設(shè)有彈簧安裝孔，在所述彈簧安裝孔內(nèi)設(shè)有彈簧，在所述彈簧的上端頭設(shè)有定位球。
10、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述限位器主體的下端面設(shè)有旋擰孔。
11、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述旋轉(zhuǎn)手柄通過(guò)旋轉(zhuǎn)銷軸連接連接接頭，所述連接接頭連接氣缸的活塞桿，所述氣缸的氣缸座通過(guò)氣缸旋轉(zhuǎn)銷軸連接設(shè)置在副爐室下法蘭外緣面上的氣缸安裝座。
12、所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，所述氣缸的替換結(jié)構(gòu)為液壓缸。
13、采用上述技術(shù)方案，本技術(shù)的有益效果是：
14、本技術(shù)通過(guò)在副爐室下法蘭的上面設(shè)置可以旋轉(zhuǎn)的鎖緊環(huán)，通過(guò)鎖緊環(huán)及副爐室下法蘭上的定位銷穿孔與定位銷配合，實(shí)現(xiàn)了在副爐室下降時(shí)快速將副爐室與主爐室或旋板閥進(jìn)行定位的目的，避免了人工定位的操作等，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)鎖緊環(huán)，使位于鎖緊環(huán)上的定位銷穿孔的右端孔滑入定位銷中部的環(huán)形槽內(nèi)，此時(shí)環(huán)形槽的上端面與鎖緊環(huán)的上面接觸起到鎖緊副爐室與主爐室或旋板閥的目的，本技術(shù)具有定位效率高、使用安全的特點(diǎn)，適合大范圍的推廣和應(yīng)用。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種用于晶體爐的副爐室定位裝置，包括右半鎖緊環(huán)（2）、右半鎖緊環(huán)限位銷（3）、旋轉(zhuǎn)手柄（5）、左半鎖緊環(huán)（10）和定位銷（11），其特征是：所述右半鎖緊環(huán)（2）和左半鎖緊環(huán)（10）組合后形成鎖緊環(huán)，在鎖緊環(huán)上設(shè)有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)手柄（5），在鎖緊環(huán)上間隔設(shè)有至少兩個(gè)限位孔（13），所述鎖緊環(huán)設(shè)置在副爐室（1）的副爐室下法蘭（9）的上面，且鎖緊環(huán)在副爐室下法蘭（9）上面做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，設(shè)置在鎖緊環(huán)上的限位孔（13）分別套接在位于副爐室下法蘭（9）上面的鎖緊環(huán)限位銷（3）上，通過(guò)限位孔（13）與鎖緊環(huán)限位銷（3）的配合限制鎖緊環(huán)的旋轉(zhuǎn)范圍值，在鎖緊環(huán)的上面設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)貫通至副爐室下法蘭（9）下面的定位銷穿孔（12），在主爐室的上法蘭或旋板閥（6）的上面設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)定位銷（11），每個(gè)定位銷（11）分別插接在定位銷穿孔（12）內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述右半鎖緊環(huán)（2）和左半鎖緊環(huán)（10）通過(guò)兩個(gè)旋轉(zhuǎn)手柄（5）固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述定位銷（11）的下端頭固定設(shè)置在主爐室的
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述定位銷穿孔（12）為左端直徑大右端直徑小的球拍型長(zhǎng)孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述鎖緊環(huán)的外緣面上間隔設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)限位槽（4）。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述副爐室下法蘭（9）的外緣面上間隔設(shè)有多個(gè)限位器固定座（7），在每個(gè)限位器固定座（7）上分別設(shè)有限位器（8），所述限位器（8）上的定位球（801）對(duì)應(yīng)位于鎖緊環(huán)上設(shè)置的限位槽（4）。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述限位器（8）包括定位球（801）、彈簧安裝孔（802）、彈簧（803）和限位器主體（804），在所述限位器主體（804）的中部設(shè)有彈簧安裝孔（802），在所述彈簧安裝孔（802）內(nèi)設(shè)有彈簧（803），在所述彈簧（803）的上端頭設(shè)有定位球（801）。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述限位器主體（804）的下端面設(shè)有旋擰孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述旋轉(zhuǎn)手柄（5）通過(guò)旋轉(zhuǎn)銷軸（18）連接連接接頭（17），所述連接接頭（17）連接氣缸（16）的活塞桿，所述氣缸（16）的氣缸座通過(guò)氣缸旋轉(zhuǎn)銷軸（14）連接設(shè)置在副爐室下法蘭（9）外緣面上的氣缸安裝座（15）。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述氣缸（16）的替換結(jié)構(gòu)為液壓缸。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于晶體爐的副爐室定位裝置，包括右半鎖緊環(huán)（2）、右半鎖緊環(huán)限位銷（3）、旋轉(zhuǎn)手柄（5）、左半鎖緊環(huán)（10）和定位銷（11），其特征是：所述右半鎖緊環(huán)（2）和左半鎖緊環(huán)（10）組合后形成鎖緊環(huán)，在鎖緊環(huán)上設(shè)有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)手柄（5），在鎖緊環(huán)上間隔設(shè)有至少兩個(gè)限位孔（13），所述鎖緊環(huán)設(shè)置在副爐室（1）的副爐室下法蘭（9）的上面，且鎖緊環(huán)在副爐室下法蘭（9）上面做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，設(shè)置在鎖緊環(huán)上的限位孔（13）分別套接在位于副爐室下法蘭（9）上面的鎖緊環(huán)限位銷（3）上，通過(guò)限位孔（13）與鎖緊環(huán)限位銷（3）的配合限制鎖緊環(huán)的旋轉(zhuǎn)范圍值，在鎖緊環(huán)的上面設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)貫通至副爐室下法蘭（9）下面的定位銷穿孔（12），在主爐室的上法蘭或旋板閥（6）的上面設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)定位銷（11），每個(gè)定位銷（11）分別插接在定位銷穿孔（12）內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述右半鎖緊環(huán)（2）和左半鎖緊環(huán)（10）通過(guò)兩個(gè)旋轉(zhuǎn)手柄（5）固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述定位銷（11）的下端頭固定設(shè)置在主爐室的上法蘭或旋板閥（6）的上面，在定位銷（11）的上端頭設(shè)有上端小下端大的錐形面，在定位銷（11）的中部設(shè)有環(huán)形槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體爐的副爐室定位裝置，其特征是：所述定位銷穿孔（12）為左端直徑大右端直徑小的球拍型長(zhǎng)孔...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉朝軒，邵瑋，王興龍，王獻(xiàn)偉，藺紅輝，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：洛陽(yáng)長(zhǎng)纓新能源科技有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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