【技術實現步驟摘要】
本公開涉及一種x射線分析裝置。
技術介紹
1、被照射了激發線的試樣所發出的特征x射線(熒光x射線)具有根據該試樣所含有的元素決定的波長。因此，能夠通過檢測特征x射線的每個波長的強度來決定試樣的組成。像這樣測定每個波長的強度來檢測特征x射線的方式被稱為“波長色散型”。
2、作為波長色散型的x射線分析裝置的一例，在日本特開2017-223638號公報中公開了一種能夠通過分光法來高靈敏度地測定該試樣的組成的x射線分析裝置。該x射線分析裝置的激發源對試樣照射激發線，被照射了激發線的試樣產生特征x射線。所產生的特征x射線通過狹縫到達分光晶體。由于特征x射線通過該狹縫，因此特征x射線向分光晶體入射的入射角根據特征x射線在試樣中的產生位置而不同。被分光晶體衍射的特征x射線到達檢測器。檢測器由沿規定的方向排列的多個檢測元件構成，多個檢測元件各自根據特征x射線向分光晶體入射的入射角來檢測不同的波長(能量)的特征x射線的強度(下面也稱為“特征x射線強度”)。x射線分析裝置基于由多個檢測元件各自檢測到的與能量對應的x射線強度來生成x射線譜。然后，x射線分析裝置基于該x射線譜來對試樣進行分析。
技術實現思路
1、在上述的x射線分析裝置中，期望增加測定點數來獲取更準確的特征x射線譜。為此，需要縮小檢測元件間距，例如考慮通過以縮短各檢測元件的寬度的方式使各檢測元件小型化，來縮小相鄰的檢測元件間的間距。然而，為了縮短檢測元件的寬度，在檢測元件的制造階段需要實現更高的尺寸精度，因此基于制造上的極限及制
2、本專利技術是為了解決這樣的課題而完成的，其目的在于提供一種即使不使檢測元件小型化也能夠提高試樣的分析精度的x射線分析裝置。
3、本公開的x射線分析裝置具備：激發源，其對試樣照射激發線；分光晶體，其對從被照射了激發線的試樣放出的特征x射線按每個波長進行分光；線檢測器，其具有以分別測定由分光晶體進行分光所得到的多個波長的強度的方式排列的多個檢測元件；狹縫，其配置在試樣與分光晶體之間；驅動裝置，其構成為能夠使狹縫在與特征x射線的通過方向交叉的方向上移動；以及控制裝置。控制裝置使用第一測定的結果和第二測定的結果來對試樣進行分析，第一測定是在狹縫處于第一位置時線檢測器進行的測定，第二測定是在通過驅動裝置使狹縫移動到與第一位置不同的第二位置時線檢測器進行的測定。
4、根據與附圖相關聯地理解的以下關于本專利技術的詳細說明，本專利技術的上述目的、特征、方面及優點以及其它目的、特征、方面及優點變得明確。
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1.一種X射線分析裝置，具備：
2.根據權利要求1所述的X射線分析裝置，其中，
3.根據權利要求1所述的X射線分析裝置，其中，
4.根據權利要求3所述的X射線分析裝置，其中，
5.根據權利要求1所述的X射線分析裝置，其中，
6.根據權利要求5所述的X射線分析裝置，其中，
【技術特征摘要】
1.一種x射線分析裝置，具備：
2.根據權利要求1所述的x射線分析裝置，其中，
3.根據權利要求1所述的x射線分析裝置，其中，
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