【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶爐,具體為一種用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐。
技術介紹
1、晶體硅太陽能電池是光伏行業的主導產品。隨著世界各國對太陽能光伏產業的進一步重視,特別是發達國家制定了一系列的扶持政策,鼓勵開發利用太陽能,單晶生產為一種半導體材料,一般用于制造集成電路和其他電子元件,單晶生產生長技術有兩種:一種是區熔法,另一種是直拉法,其中直拉法是目前普遍采用的方法,單晶硅棒在生產的時候需要注入氬氣,在單晶生產內通入氬氣是為了避免晶棒在拉晶生長過程中被氧化,單晶硅棒在生產的時候,隨著晶棒的不斷生長,尤其是到后期,只需較少的氬氣,現有單晶硅棒生產制的過程中,氬氣的通氣量是穩定不變的,但是現有單晶硅棒生產的氬氣管上沒有設置可以調節氬氣流量的裝置,因此,我們提出一種用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現上述目的,本技術提供如下技術方案:一種用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,包括爐體,所述爐體右側壁設有控制器,所述爐體右側設有儲氬罐,所述爐體右側壁設有盒體,所述盒體右側壁設有抽氣泵,所述抽氣泵進氣端連接設有輸送管,所述輸送管一端與儲氬罐內部相連接,所述盒體內設有控制盒,所述控制盒右側壁貫穿連通設有第一輸氣管,所述第一輸氣管一端與抽氣泵出氣端相連接,所述控制盒左側壁貫穿連通設有第二輸氣管,所述第二輸氣管一端貫穿盒體內左側壁與爐體右側壁與爐體內部相連通,所述控制盒內設有控制組件。
3、進一步地,所述控制組件包括控制盒內設有的密封板,所述密封板右側壁與第一輸氣管左側壁相接觸,所述密封板頂部活動貫穿控制盒內頂部與盒體內設有的安裝板相連接,所述安裝板頂部設有活動桿,所述活動桿一端貫穿盒體內頂部與外部設有的連接板相連接,所述盒體頂部設有電動伸縮桿,電動伸縮桿一端與連接板底部相連接。
4、進一步地,所述盒體內頂部設有限位桿。
5、進一步地,所述控制盒內上下側壁均設有導流板,兩組導流板與第二輸氣管相匹配。
6、進一步地,所述第二輸氣管與控制盒內左側壁處于同一水平面上。
7、進一步地,所述爐體右側壁設有安裝桿,所述安裝桿一端與儲氬罐底部相連接。
8、與現有技術相比,本技術的有益效果是:本實用在控制組件的配合下能夠氬氣進入到爐體內的流量進行控制,從而能夠對氬氣流量進行調節,使用方便。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,包括爐體(1),所述爐體(1)右側壁設有控制器(2),所述爐體(1)右側設有儲氬罐(4),其特征在于:所述爐體(1)右側壁設有盒體(7),所述盒體(7)右側壁設有抽氣泵(6),所述抽氣泵(6)進氣端連接設有輸送管(5),所述輸送管(5)一端與儲氬罐(4)內部相連接,所述盒體(7)內設有控制盒(11),所述控制盒(11)右側壁貫穿連通設有第一輸氣管(10),所述第一輸氣管(10)一端與抽氣泵(6)出氣端相連接,所述控制盒(11)左側壁貫穿連通設有第二輸氣管(9),所述第二輸氣管(9)一端貫穿盒體(7)內左側壁與爐體(1)右側壁與爐體(1)內部相連通,所述控制盒(11)內設有控制組件(8)。
2.根據權利要求1所述的用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,其特征在于:所述控制組件(8)包括控制盒(11)內設有的密封板(85),所述密封板(85)右側壁與第一輸氣管(10)左側壁相接觸,所述密封板(85)頂部活動貫穿控制盒(11)內頂部與盒體(7)內設有的安裝板(84)相連接,所述安裝板(84)頂部設有活動桿(82),所述活動桿(82)一端貫穿
3.根據權利要求2所述的用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,其特征在于:所述盒體(7)內頂部設有限位桿(83)。
4.根據權利要求2所述的用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,其特征在于:所述控制盒(11)內上下側壁均設有導流板(86),兩組導流板(86)與第二輸氣管(9)相匹配。
5.根據權利要求1所述的用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,其特征在于:所述第二輸氣管(9)與控制盒(11)內左側壁處于同一水平面上。
6.根據權利要求1所述的用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,其特征在于:所述爐體(1)右側壁設有安裝桿(3),所述安裝桿(3)一端與儲氬罐(4)底部相連接。
...【技術特征摘要】
1.一種用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,包括爐體(1),所述爐體(1)右側壁設有控制器(2),所述爐體(1)右側設有儲氬罐(4),其特征在于:所述爐體(1)右側壁設有盒體(7),所述盒體(7)右側壁設有抽氣泵(6),所述抽氣泵(6)進氣端連接設有輸送管(5),所述輸送管(5)一端與儲氬罐(4)內部相連接,所述盒體(7)內設有控制盒(11),所述控制盒(11)右側壁貫穿連通設有第一輸氣管(10),所述第一輸氣管(10)一端與抽氣泵(6)出氣端相連接,所述控制盒(11)左側壁貫穿連通設有第二輸氣管(9),所述第二輸氣管(9)一端貫穿盒體(7)內左側壁與爐體(1)右側壁與爐體(1)內部相連通,所述控制盒(11)內設有控制組件(8)。
2.根據權利要求1所述的用于直拉法生產單晶硅棒的單晶爐,其特征在于:所述控制組件(8)包括控制盒(11)內設有的密封板(85),所述密封板(85)右側壁與第一輸氣管(10)左側壁相接觸,所述密封板(85)頂部活動貫穿控制盒(...
【專利技術屬性】
技術研發人員:陳春成,戚建靜,徐芳,
申請(專利權)人:江蘇晶品新能源股份有限公司,
類型:新型
國別省市:
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。