【技術實現步驟摘要】
本技術涉及太陽能電池生產，尤其涉及一種管式淀積爐用伸縮電極。
技術介紹
1、管式pecvd(plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition，等離子體增強化學氣相沉積法)設備通過電極桿一端連接射頻電源，電極桿另一端插入石墨舟上預留的電極孔實現石墨舟導電，進而完成射頻放電激發爐體內氣體成為等離子體沉積在石墨舟的內硅片上。
2、現有技術中，管式淀積臺的爐管內射頻電源使用的是硬性固定的電極桿，只能通過調整螺絲對電極桿的軸向位置進行微調，且石墨舟進入爐管內后會從上限位走到下限位，產生位置變化，而電極桿固定不動無法適應石墨舟位置，從而電極桿在與石墨舟對接的過程中彎曲，進而導致石墨舟高頻，嚴重的會導致電極桿損壞。
3、因此，有必要設計一種管式淀積爐用伸縮電極，以解決上述問題。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種與石墨舟靈活對接、接觸緊密、防止產生高頻的管式淀積爐用伸縮電極。
2、為實現上述目的，本技術采用如下技術方案：一種管式淀積爐用伸縮電極，其包括依次同軸設置的伸縮機構、安裝機構、活塞機構，以及穿設于所述伸縮機構、安裝機構及活塞機構中的兩端突出的電極桿，所述安裝機構用于將所述電極桿安裝于管式淀積爐上，定義所述電極桿位于管式淀積爐外側的一端為后端，位于管式淀積爐內側的一端為前端，所述活塞機構包括固定于電極桿上活塞及設于安裝機構前端的容置部所述容置部具有容置所述活塞的活塞腔，所述伸縮機構包括彈簧，所述彈簧與所述電極桿彈
3、作為本技術進一步改進的技術方案，所述電極桿包括主體及分別設于主體前端的電極頭及主體后端的電極尾。
4、作為本技術進一步改進的技術方案，所述主體分為前段及后段，所述前段及后段通過所述彈簧連接，所述伸縮機構還包括設于電極桿外側的位于所述電極尾與所述安裝機構之間的支撐管。
5、作為本技術進一步改進的技術方案，所述伸縮機構還包括設于電極尾上第一套管及設于安裝機構后端的第二套管，所述第一套管的一端套設于所述第二套管的一端并可沿軸向滑動，所述彈簧設于所述第二套管外側并抵接于所述第一套管與所述安裝機構之間。
6、作為本技術進一步改進的技術方案，所述第一套管及所述第二套管滑動連接的一端設有相互扣合的擋環。
7、作為本技術進一步改進的技術方案，所述活塞與所述容置部之間設有密封圈。
8、作為本技術進一步改進的技術方案，所述安裝機構包括同軸設置的第一安裝件及第二安裝件，所述第一安裝件包括第一筒部及其一端徑向設置的第一安裝環，所述第二安裝件包括第二筒部及其一端徑向設置的第二安裝環，所述第一安裝環與所述第二安裝環之間通過螺栓連接。
9、作為本技術進一步改進的技術方案，還包括防呆機構，所述安裝機構內部形成容置所述防呆機構的腔體，所述防呆機構包括防呆件、第一密封圈及第二密封圈，所述防呆件固定于所述電極桿上，所述防呆件包括圓筒部及設于其一端的圓臺部，所述圓臺部的邊緣位于所述第一安裝件與所述第二安裝件之間，所述第一密封圈位于所述第一安裝件與所述圓臺部之間，所述第二密封圈位于所述圓臺部與所述第二安裝件之間。
10、作為本技術進一步改進的技術方案，所述第一筒部與所述電極桿之間設有絕緣管，所述絕緣管為陶瓷材質，所述活塞及所述防呆件為陶瓷材質。
11、作為本技術進一步改進的技術方案，所述第一安裝件上開設有容置所述第一密封圈的環槽，所述第二安裝件上開設有容置所述第二密封圈的環槽。
12、由以上技術方案可知，本技術的管式淀積爐用伸縮電極通過設置伸縮機構為電極桿提供軸向向后的彈力，通過設置活塞機構，在工作過程中利用管式淀積爐內的真空環境提供吸力，以抵抗伸縮機構的彈力，電極桿可以向前移動進而主動與石墨舟對接，使得電極桿與石墨舟的接觸緊密，避免因接觸不良而導致的石墨舟高頻。另外通過設置防呆機構使得電極桿在對接過程中遇到阻力時可以自動在軸向及徑向進行擺動，避免石墨舟發生位移和電極桿發生彎曲。
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1.一種管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：包括依次同軸設置的伸縮機構、安裝機構、活塞機構，以及穿設于所述伸縮機構、安裝機構及活塞機構中的兩端突出的電極桿，所述安裝機構用于將所述電極桿安裝于管式淀積爐上，定義所述電極桿位于管式淀積爐外側的一端為后端，位于管式淀積爐內側的一端為前端，所述活塞機構包括固定于電極桿上活塞及設于安裝機構前端的容置部所述容置部具有容置所述活塞的活塞腔，所述伸縮機構包括彈簧，所述彈簧與所述電極桿彈性連接并為所述電極桿提供軸向向后的彈力。
2.如權利要求1所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述電極桿包括主體及分別設于主體前端的電極頭及主體后端的電極尾。
3.如權利要求2所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述主體分為前段及后段，所述前段及后段通過所述彈簧連接，所述伸縮機構還包括設于電極桿外側的位于所述電極尾與所述安裝機構之間的支撐管。
4.如權利要求2所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述伸縮機構還包括設于電極尾上第一套管及設于安裝機構后端的第二套管，所述第一套管的一端套設于所述第二套管的一端并可沿軸向滑動，所
5.如權利要求4所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述第一套管及所述第二套管滑動連接的一端設有相互扣合的擋環。
6.如權利要求1所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述活塞與所述容置部之間設有密封圈。
7.如權利要求1所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述安裝機構包括同軸設置的第一安裝件及第二安裝件，所述第一安裝件包括第一筒部及其一端徑向設置的第一安裝環，所述第二安裝件包括第二筒部及其一端徑向設置的第二安裝環，所述第一安裝環與所述第二安裝環之間通過螺栓連接。
8.如權利要求7所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：還包括防呆機構，所述安裝機構內部形成容置所述防呆機構的腔體，所述防呆機構包括防呆件、第一密封圈及第二密封圈，所述防呆件固定于所述電極桿上，所述防呆件包括圓筒部及設于其一端的圓臺部，所述圓臺部的邊緣位于所述第一安裝件與所述第二安裝件之間，所述第一密封圈位于所述第一安裝件與所述圓臺部之間，所述第二密封圈位于所述圓臺部與所述第二安裝件之間。
9.如權利要求8所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述第一筒部與所述電極桿之間設有絕緣管，所述絕緣管為陶瓷材質，所述活塞及所述防呆件為陶瓷材質。
10.如權利要求8所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述第一安裝件上開設有容置所述第一密封圈的環槽，所述第二安裝件上開設有容置所述第二密封圈的環槽。
...【技術特征摘要】
1.一種管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：包括依次同軸設置的伸縮機構、安裝機構、活塞機構，以及穿設于所述伸縮機構、安裝機構及活塞機構中的兩端突出的電極桿，所述安裝機構用于將所述電極桿安裝于管式淀積爐上，定義所述電極桿位于管式淀積爐外側的一端為后端，位于管式淀積爐內側的一端為前端，所述活塞機構包括固定于電極桿上活塞及設于安裝機構前端的容置部所述容置部具有容置所述活塞的活塞腔，所述伸縮機構包括彈簧，所述彈簧與所述電極桿彈性連接并為所述電極桿提供軸向向后的彈力。
2.如權利要求1所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述電極桿包括主體及分別設于主體前端的電極頭及主體后端的電極尾。
3.如權利要求2所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述主體分為前段及后段，所述前段及后段通過所述彈簧連接，所述伸縮機構還包括設于電極桿外側的位于所述電極尾與所述安裝機構之間的支撐管。
4.如權利要求2所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述伸縮機構還包括設于電極尾上第一套管及設于安裝機構后端的第二套管，所述第一套管的一端套設于所述第二套管的一端并可沿軸向滑動，所述彈簧設于所述第二套管外側并抵接于所述第一套管與所述安裝機構之間。
5.如權利要求4所述的管式淀積爐用伸縮電極，其特征在于：所述第一套管及所述第二套管滑...
【專利技術屬性】
技術研發人員：熊勝，
申請(專利權)人：云南潤陽世紀光伏科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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