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    一種非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法技術(shù)

    技術(shù)編號:43314638 閱讀:9 留言:0更新日期:2024-11-15 20:16
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體提供一種非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,通過對非球面鏡本身的特征參數(shù)、歷史檢測方案類別和歷史檢測設(shè)計數(shù)據(jù)進行標準歸一化處理和主成分分析,得到影響檢測方案類別和檢測設(shè)計數(shù)據(jù)的非球面鏡有效特征參數(shù),并將其作為多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的輸入,將檢測方案類別和檢測設(shè)計數(shù)據(jù)作為輸出,并自定義損失函數(shù),利用貝葉斯搜索更新多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的超參數(shù),完成多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練與測試,再通過訓(xùn)練好的網(wǎng)絡(luò)模型實現(xiàn)對待測非球面鏡的檢測方案類別和檢測設(shè)計數(shù)據(jù)的自主決策及設(shè)計。本發(fā)明專利技術(shù)在保證非球面鏡檢測高精度、準確性的同時,大幅提升了非球面鏡的檢測效率。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及光學(xué)檢測,具體提供一種非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法


    技術(shù)介紹

    1、在光學(xué)系統(tǒng)中,非球面光學(xué)元件擁有更多的設(shè)計自由度,可以滿足更復(fù)雜的設(shè)計要求。引入非球面元件能夠擴大視場角度和提高分辨率,從而改善成像質(zhì)量,并且在相同的性能指標條件下,非球面的使用能夠減少元件的數(shù)量從而降低系統(tǒng)的復(fù)雜程度。因此,非球面反射鏡被越來越多的應(yīng)用于空間光學(xué)、天文光學(xué)以及高科技民用等領(lǐng)域。例如,w.m.凱克望遠鏡(keck)主鏡是由36塊口徑1.8米的小鏡片組成的,其口徑大小達到了10m;正在規(guī)劃中的巡天望遠鏡(large?synoptic?survey?telescope,lsst)的次鏡的口徑達到了3.4米。隨著空間光學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,大口徑非球面反射鏡的應(yīng)用日益廣泛。這種趨勢對高精度光學(xué)檢測技術(shù)的效率和精度提出了更高的要求,成為當前光學(xué)工程領(lǐng)域的重要挑戰(zhàn)。

    2、目前非球面反射鏡高精度面形檢測中最為常用的方法是干涉檢測法,干涉檢測法具有納米級的檢測精度和較高的檢測效率。干涉檢測法又可詳細分為無像差點法、補償鏡法、計算全息法、子孔徑拼接法和混合補償法,但對于無像差點檢測法來說,所需的hindle球的口徑通常需要是被檢鏡口徑的兩倍甚至更大,且只能檢測二次曲面;對于補償鏡法來說,需要設(shè)計一組有球差的補償器組,所需的補償器組的口徑略大于凸高次非球面,然而如此大口徑的透鏡補償器也難以保證加工精度;對于設(shè)置cgh補償器的方法而言,受到現(xiàn)有的微納加工平臺的尺寸限制,口徑300mm以上的cgh很難保證其加工精度;子孔徑拼接法在檢測大口徑非球面反射鏡時,由于子孔徑增多,會增加誤差的傳遞,影響檢測精度。

    3、由于現(xiàn)有的大口徑非球面反射鏡的檢測方法均存在一定的缺點和局限性,非球面反射鏡高精度檢測方案的選擇和設(shè)計極其依賴專業(yè)人員的經(jīng)驗和專業(yè)知識,通常需要耗費大量時間仿真設(shè)計檢測方案,分析各個檢測方案的公差和檢測精度,經(jīng)過對比才能確定最終的檢測方案,效率極低;同時,由于有經(jīng)驗的專業(yè)人員稀少,面對日益增多的檢測任務(wù),往往不能準確及時的提供檢測方案,導(dǎo)致非球面反射鏡檢測效率極低。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)為解決上述問題,提供了一種非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,依據(jù)非球面鏡的歷史檢測方案和設(shè)計數(shù)據(jù)篩選非球面鏡的有效特征參數(shù),并利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)構(gòu)建非球面鏡有效特征參數(shù)與檢測方案及設(shè)計數(shù)據(jù)的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)映射模型,利用該模型可自主決策和輸出待測非球面鏡的檢測方案和設(shè)計數(shù)據(jù),保證檢測方案和設(shè)計數(shù)據(jù)有效性的同時,大幅提高了非球面鏡的檢測效率。

    2、本專利技術(shù)提供的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,包括:

    3、s1:收集多個非球面鏡樣本的特征參數(shù),以及其對應(yīng)的檢測方案類別和檢測設(shè)計數(shù)據(jù),對每個非球面鏡樣本的檢測方案類別和檢測設(shè)計數(shù)據(jù)進行主成分分析,獲取決定檢測方案類別的非球面鏡有效特征和影響檢測設(shè)計數(shù)據(jù)的有效特征參數(shù);

    4、將有效特征參數(shù)作為輸入,檢測方案類別和檢測設(shè)計數(shù)據(jù)作為輸出構(gòu)成訓(xùn)練集;

    5、s2:建立多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),包括:以有效特征參數(shù)為輸入的輸入層、共享隱藏層、輸出檢測設(shè)計數(shù)據(jù)預(yù)測值的回歸任務(wù)輸出層和輸出檢測方案類別預(yù)測值的分類任務(wù)輸出層;

    6、自定義多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的損失函數(shù),并選定貝葉斯搜索更新多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的超參數(shù);

    7、利用訓(xùn)練集對多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行訓(xùn)練;

    8、s3:獲取待測非球面鏡的特征參數(shù),并輸入已完成訓(xùn)練的多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)自動輸出檢測方案類別預(yù)測值和檢測設(shè)計數(shù)據(jù)預(yù)測值。

    9、優(yōu)選的,s1中,先根據(jù)下式對每個非球面鏡樣本進行標準歸一化處理,再進行主成分分析:

    10、

    11、其中,表示第i個標準歸一化處理后的非球面鏡樣本,表示第i個非球面鏡樣本,表示所有非球面鏡樣本的平均數(shù),表示所有非球面鏡樣本的標準差。

    12、優(yōu)選的,多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的損失函數(shù)為:

    13、;

    14、其中,為回歸任務(wù)輸出層的損失函數(shù),為分類任務(wù)輸出層的損失函數(shù),表示在損失函數(shù)中的權(quán)重比例,表示在損失函數(shù)中的權(quán)重比例;

    15、

    16、其中,表示非球面鏡樣本的數(shù)量,表示第i個非球面鏡樣本中的檢測設(shè)計數(shù)據(jù)實際值,表示第i個非球面鏡樣本對應(yīng)的檢測設(shè)計數(shù)據(jù)預(yù)測值;

    17、

    18、其中,表示第i個非球面鏡樣本的檢測方案類別實際值,表示第i個非球面鏡樣本對應(yīng)的檢測方案類別預(yù)測值,j表示任意一種檢測方案類別,c表示檢測方案類別的總數(shù)。

    19、優(yōu)選的,非球面鏡為非球面反射鏡。

    20、優(yōu)選的,s2中,依據(jù)多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的損失函數(shù)更新超參數(shù),當損失函數(shù)收斂,則完成多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練。

    21、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專利技術(shù)能夠取得如下有益效果:

    22、本專利技術(shù)依靠歷史數(shù)據(jù)建立非球面鏡的數(shù)據(jù)庫,并利用多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)構(gòu)建非球面鏡特征參數(shù)與檢測方案類別和具體檢測設(shè)計數(shù)據(jù)的網(wǎng)絡(luò)映射關(guān)系,通過多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)可以實現(xiàn)待測非球面鏡檢測方案類別和具體檢測設(shè)計數(shù)據(jù)的自主決策和設(shè)計;本專利技術(shù)在保證非球面鏡檢測方案正確、檢測精度滿足設(shè)計要求的基礎(chǔ)上,提升了檢測過程的自動化水平,大大提高了光學(xué)元件的檢測效率。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護點】

    1.一種非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,包括:

    2.如權(quán)利要求1的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,所述S1中,先根據(jù)下式對每個非球面鏡樣本進行標準歸一化處理,再進行主成分分析:

    3.如權(quán)利要求2的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的損失函數(shù)為:

    4.如權(quán)利要求1的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,非球面鏡為非球面反射鏡。

    5.如權(quán)利要求3的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,所述S2中,依據(jù)多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的損失函數(shù)更新超參數(shù),當損失函數(shù)收斂,則完成多任務(wù)學(xué)習(xí)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練。

    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,包括:

    2.如權(quán)利要求1的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,所述s1中,先根據(jù)下式對每個非球面鏡樣本進行標準歸一化處理,再進行主成分分析:

    3.如權(quán)利要求2的非球面鏡高精度檢測方案的自主決策及設(shè)計方法,其特征在于,多任務(wù)...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:程強李洪士李龍響李佳薛棟林張學(xué)軍
    申請(專利權(quán))人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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