【技術實現步驟摘要】
本技術涉及轉移輸送裝置，尤其涉及一種載板移動平臺機構。
技術介紹
1、在晶圓加工制造設備中，對晶圓的運輸轉移載具潔凈度要求非常高，因此需要定期對載具或載箱等進行清洗，以保障產品質量。對于載箱的清洗，需要在完全無人的環境中進行，因此需要一種特定的移動平臺機構來執行載箱進出清洗空間。
技術實現思路
1、本技術的目的在于克服現有技術的不足，提供一種載板移動平臺機構，以解決現有載箱清洗進出清洗空間的技術問題。
2、為實現上述目的，本技術采用以下技術方案：
3、本技術的實施例提供了一種載板移動平臺機構，其包括:移動平臺組件以及驅動所述移動平臺組件往復移動的平臺驅動組件；所述移動平臺組件包括：載臺，連接于所述載臺上的充氣接頭、抽氣接頭、定位件以及鎖緊件，所述充氣接頭用于與載箱的充氣口連接，所述抽氣接頭用于與載箱的抽氣口連接，所述定位件用于對載箱放置于移動平臺組件的位置進行定位，所述鎖緊件用于在載箱移動過程中將載箱鎖緊固定。
4、其中，所述定位件為凸伸出所述載臺的頂面的若干定位柱。
5、其中，所述抽氣接頭和所述充氣接頭結構相同，均包括：連接塊，連接于所述連接塊上的通氣管，連接于所述通氣管的端部的吸盤以及連接于所述通氣管中的單向閥，所述連接塊還連接于所述載臺。
6、其中，所述通氣管上還套接有一彈性件，所述彈性件的一端抵頂于所述吸盤，另一端抵頂于所述連接塊。
7、其中，所述鎖緊件包括：兩個互為反向設置的鎖緊單元，所述鎖緊單元包括
8、其中，所述載臺上還設有至少一個檢測傳感器，所述檢測傳感器用于檢測所述移動平臺組件上是否存在需要移載的載箱。
9、其中，所述充氣接頭和抽氣接頭對稱分布于所述載臺的頂面，所述鎖緊件設置于所述載臺的中部，所述定位件和所述檢測傳感器分布于所述鎖緊件的周圍。
10、其中，所述驅動平臺組件包括：具有安裝腔的安裝座，連接于所述安裝腔內的驅動電機，連接于所述驅動電機的驅動端的絲桿，螺接于所述絲桿的滑板，以及與所述滑板滑動連接的導軌，所述絲桿與所述導軌平行設置，且所述導軌固定連接于所述安裝座；其中，所述安裝座上還設有與絲桿平行延伸的開槽，所述滑板上還設有連接板，所述連接板穿設于所述開槽并連接于所述載臺。
11、其中，所述絲桿與所述驅動電機的驅動端之間還設有聯軸器。
12、其中，所述導軌設有兩個，兩個所述導軌分別對稱設置于所述絲桿的兩側。
13、本技術的載板移動平臺機構，其通過移動平臺組件以及驅動該移動平臺組件移動的平臺驅動組件實現了載箱的安全穩定進出清洗空間的功能。在載箱放置于移動平臺組件時同步對載箱進行充氮氣和抽氮氣處理，以致在轉移過程中避免產品被氧化影響，在轉移過程中，利用鎖緊件鎖緊固定載箱，從容保證其移動過程平穩。
14、上述說明僅是本技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本技術技術手段，可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本技術的上述和其它目的、特征及優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，詳細說明如下。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種載板移動平臺機構，其特征在于，包括:移動平臺組件以及驅動所述移動平臺組件往復移動的平臺驅動組件；所述移動平臺組件包括：載臺，連接于所述載臺上的充氣接頭、抽氣接頭、定位件以及鎖緊件，所述充氣接頭用于與載箱的充氣口連接，所述抽氣接頭用于與載箱的抽氣口連接，所述定位件用于對載箱放置于移動平臺組件的位置進行定位，所述鎖緊件用于在載箱移動過程中將載箱鎖緊固定。
2.根據權利要求1所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述定位件為凸伸出所述載臺的頂面的若干定位柱。
3.根據權利要求2所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述抽氣接頭和所述充氣接頭結構相同，均包括：連接塊，連接于所述連接塊上的通氣管，連接于所述通氣管的端部的吸盤以及連接于所述通氣管中的單向閥，所述連接塊還連接于所述載臺。
4.根據權利要求3所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述通氣管上還套接有一彈性件，所述彈性件的一端抵頂于所述吸盤，另一端抵頂于所述連接塊。
5.根據權利要求1所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述鎖緊件包括：兩個互為反向設置的鎖緊單元，所述鎖緊單元包括：
6.根據權利要求1至5任意一項所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述載臺上還設有至少一個檢測傳感器，所述檢測傳感器用于檢測所述移動平臺組件上是否存在需要移載的載箱。
7.根據權利要求6所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述充氣接頭和抽氣接頭對稱分布于所述載臺的頂面，所述鎖緊件設置于所述載臺的中部，所述定位件和所述檢測傳感器分布于所述鎖緊件的周圍。
8.根據權利要求6所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述平臺驅動組件包括：具有安裝腔的安裝座，連接于所述安裝腔內的驅動電機，連接于所述驅動電機的驅動端的絲桿，螺接于所述絲桿的滑板，以及與所述滑板滑動連接的導軌，所述絲桿與所述導軌平行設置，且所述導軌固定連接于所述安裝座；其中，所述安裝座上還設有與絲桿平行延伸的開槽，所述滑板上還設有連接板，所述連接板穿設于所述開槽并連接于所述載臺。
9.根據權利要求8所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述絲桿與所述驅動電機的驅動端之間還設有聯軸器。
10.根據權利要求8所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述導軌設有兩個，兩個所述導軌分別對稱設置于所述絲桿的兩側。
...【技術特征摘要】
1.一種載板移動平臺機構，其特征在于，包括:移動平臺組件以及驅動所述移動平臺組件往復移動的平臺驅動組件；所述移動平臺組件包括：載臺，連接于所述載臺上的充氣接頭、抽氣接頭、定位件以及鎖緊件，所述充氣接頭用于與載箱的充氣口連接，所述抽氣接頭用于與載箱的抽氣口連接，所述定位件用于對載箱放置于移動平臺組件的位置進行定位，所述鎖緊件用于在載箱移動過程中將載箱鎖緊固定。
2.根據權利要求1所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述定位件為凸伸出所述載臺的頂面的若干定位柱。
3.根據權利要求2所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述抽氣接頭和所述充氣接頭結構相同，均包括：連接塊，連接于所述連接塊上的通氣管，連接于所述通氣管的端部的吸盤以及連接于所述通氣管中的單向閥，所述連接塊還連接于所述載臺。
4.根據權利要求3所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述通氣管上還套接有一彈性件，所述彈性件的一端抵頂于所述吸盤，另一端抵頂于所述連接塊。
5.根據權利要求1所述的載板移動平臺機構，其特征在于，所述鎖緊件包括：兩個互為反向設置的鎖緊單元，所述鎖緊單元包括：連接于所述載臺內的驅動件，活動連接于所述驅動件的驅動端的鎖扣，所述載臺上設有用于所述鎖扣穿設的開孔，所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄭國紹，曾志家，張彥平，
申請(專利權)人：深圳市凱爾迪光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。