【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于靶材加工，具體為一種靶材加工裝置及其加工方法。
技術介紹
1、靶材是在各種科學實驗和工業應用中，用作目標或基底材料的物質。它通常被用于高能物理實驗、材料分析、半導體制造和其他工藝中，主要用于捕獲、反射或轉化射線、粒子流或電磁波,針對管狀鉬鈮合金濺射靶材的加工制備，且為了提高靶材性能時，通常需要噴涂附著加強用涂層。
2、現有技術中的靶材加工裝置，在使用過程中，尤其針對管狀鉬鈮合金濺射靶材的加工處理，在進行表面涂層噴涂加工時，由于管狀特質，其外表面環繞圓弧面，在噴涂時難以快速有效的進行表面涂覆，且噴涂加工時，飛揚的涂料容易分散到環境中，對環境造成污染，且在實際夾持噴涂時，夾具對管狀鉬鈮合金濺射靶材表面局部進行遮擋，難以實現全面噴涂，往往需要二次噴涂，實際加工難度大，效率低，使用效果不佳。
3、此外，現有技術中的靶材加工裝置，針對批量的管狀鉬鈮合金濺射靶材的噴涂處理，實際多組管狀靶材上料、定位和脫料較為繁雜，批量加工生產效率較低，針對管狀靶材的定位固定以及噴涂加工后的脫料處理，需要頻繁操作，缺少可以快速實現連續加工的方式，實際加工效率低，使用效果差。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種靶材加工裝置及其加工方法，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為了實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：一種靶材加工裝置及其加工方法，包括兩個安裝架以及固定在安裝架頂部的連接曲板，所述安裝架的上方設有隔檔組件，所述隔檔組件的頂部和底部分別固
3、所述復合處理組件包括轉動套，固定套接在轉動套外表面上的齒輪二和限位板，開設在轉動套中的內部腔，固定安裝在內部腔中的加熱管以及固定安裝在轉動套側面上的壓力閥。
4、優選的，所述隔檔組件包括中間板、一號推桿、適配孔和擋板，所述中間板固定在上料筒和一號弧筒之間，所述適配孔的上下兩端分別與上料筒和一號弧筒相連通，所述適配孔的直徑與上料筒的直徑和一號弧筒的直徑均相同，所述一號推桿通過連接座固定在一號弧筒的外側面上，所述擋板活動套接在中間板中且通過連接橫桿與一號推桿的活動端固定連接，所述適配孔位于擋板的移動路徑上。
5、優選的，所述噴涂組件包括泵出部、噴出部和中間管，所述噴出部固定連接在一號弧筒的外側面上，所述噴出部通過一號弧筒外側面上的通孔與一號弧筒內部連通，所述中間管固定連通在噴出部和泵出部之間。
6、優選的，所述裝配組件包括裝配套、轉動軸和齒輪一，所述裝配套位于兩個安裝架之間，所述轉動軸固定套接在裝配套底部的支撐板上，所述齒輪一固定套接在轉動軸的外表面上，所述安裝架的側面設有推動組件，所述推動組件推動裝配組件擺動。
7、優選的，所述推動組件包括有二號推桿、連接曲桿和齒板，所述二號推桿通過固定套固定在安裝架的側面上，所述齒板與齒輪一嚙合連接，所述連接曲桿的一端固定連接在齒板的底面且另一端與二號推桿的活動端固定連接。
8、優選的，所述轉動套的下端穿過裝配套并延伸至下方，所述齒輪一位于裝配套的內部，所述驅動電機固定在裝配套的底部，所述驅動電機的輸出端位于裝配套中，所述驅動電機通過輸出端上的主動齒輪帶動嚙合齒輪二轉動，所述限位板位于二號弧筒中，所述二號弧筒和一號弧筒相適配。
9、優選的，所述供氣部包括氣泵、氣管和供氣套，所述供氣套與轉動套的下端相連通，所述氣泵通過氣管和供氣套將氣體輸入至轉動套的內部腔中。
10、優選的，所述夾持部包括側面框、定位框、夾緊板和彈簧，所述側面框固定連接在轉動套的側面上且與內部腔相連通，所述定位框固定在轉動套的內壁中，所述夾緊板活動套接在側面框中，所述彈簧位于側面框中，所述彈簧的兩端分別與夾緊板和定位框固定連接。
11、優選的，所述壓力閥陣列分布在轉動套的外側面上，所述壓力閥在內部腔內部氣壓達到設定值時向外打開。
12、一種靶材加工裝置的加工方法，包括以下加工步驟：
13、第一步：將待加工的管狀靶材投入至上料筒中并暫存在上料筒中，保持二號弧筒與一號弧筒貼合，啟動隔檔組件中的一號推桿，打開適配孔，上料筒中的管狀靶材落入到一號弧筒和二號弧筒中并套接在復合處理組件和夾持部的外側，完成定位套接；
14、第二步：啟動供氣部，使得氣體通入到轉動套中并推動夾持部張開，從管狀靶材內部支撐夾持，啟動驅動電機帶動多組復合處理組件轉動，使得復合處理組件通過夾持部夾持管狀靶材在一號弧筒和二號弧筒中旋轉，啟動噴涂組件，噴涂組件將涂層物料噴入一號弧筒和二號弧筒中，完成有限封閉空間的旋轉噴涂；
15、第三步：噴涂過程中，適配孔重新密封，且將下一組待處理的管狀靶材投入到上料筒中，完成噴涂后保持旋轉并啟動復合處理組件中的加熱管，表面涂層干燥固化；
16、第四步：噴涂和固化完畢后，啟動推動組件并推動裝配組件旋轉擺動，二號弧筒與一號弧筒分離并向下擺動，當復合處理組件擺動至傾斜向下時，取消供氣部的供氣，夾持部取消夾持，加工完成的管狀靶材滑動自動掉落，
17、第五步：復位裝配組件保持一號弧筒和二號弧筒之間存在間隙，再次啟動驅動電機和供氣部，并提高供氣壓力，使得壓力閥打開，并在旋轉時吹掃一號弧筒和二號弧筒，完成自動清潔；
18、第六步：自清潔完畢后完整閉合一號弧筒和二號弧筒，再次打開擋板，上料筒中的管狀靶材自動落下定位，進行下一輪噴涂加工處理。
19、本專利技術的有益效果如下：
20、1、本專利技術通過利用一號弧筒和二號弧筒的合并配合，在配合狀態下使得管狀靶材自動定位在環繞空間中并套接在復合處理組件以及夾持部的外側，并利用供氣部輸入氣體，將氣體輸入到復合處理組件的內部，配合夾持部從內部對管狀靶材進行夾持固定，并將管狀靶材限定在環繞空間中，配合旋轉狀態的管狀靶材，利用限定環繞空間中噴入的霧化涂層，在轉動下快速完成管狀靶材外表面的全面涂覆，實際管狀靶材涂層加工處理效果好，單次處理即可完整外表面的全面涂布處理，并配合環繞空間，避免噴涂的霧化涂料快速分散到環境中，減小泄漏和浪費，大大提高了實際噴涂加工效率。
21、2、本專利技術通過配合隔檔組件的活動動作并間歇密閉適配孔，從而在打開適配孔時自動釋放上料筒中的管狀靶材，并配合合并配合的一號弧筒和二號弧筒，完整自動定位套接，且在套接后通過再次密閉適配孔，可在加工處理時提前將管狀靶材套接在上料筒中，方便開始實現下一次自動上料，提高自動上料速度，且加工處理后，通過擺動旋轉復合本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種靶材加工裝置，包括兩個安裝架（1）以及固定在安裝架（1）頂部的連接曲板（2），其特征在于：所述安裝架（1）的上方設有隔檔組件（4），所述隔檔組件（4）的頂部和底部分別固定設有上料筒（3）和一號弧筒（5），所述隔檔組件（4）控制上料筒（3）和一號弧筒（5）的貫通，所述隔檔組件（4）的側面與連接曲板（2）固定連接，兩個所述安裝架（1）之間擺動設有裝配組件（7），所述裝配組件（7）的頂部固定設有二號弧筒（11），所述裝配組件（7）的頂部轉動安裝有復合處理組件（9），所述復合處理組件（9）的外表面固定連通有夾持部（10），所述復合處理組件（9）和夾持部（10）均位于二號弧筒（11）中，所述裝配組件（7）的底部分別設有驅動電機（12）和供氣部（13），所述供氣部（13）將氣體輸入至復合處理組件（9）中，兩個所述安裝架（1）的背面設有噴涂組件（6），所述噴涂組件（6）的噴出端與一號弧筒（5）固定連通；
2.根據權利要求1所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述隔檔組件（4）包括中間板（41）、一號推桿（42）、適配孔（43）和擋板（44），所述中間板（41）固定在上料筒（
3.根據權利要求2所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述噴涂組件（6）包括泵出部（61）、噴出部（62）和中間管（63），所述噴出部（62）固定連接在一號弧筒（5）的外側面上，所述噴出部（62）通過一號弧筒（5）外側面上的通孔與一號弧筒（5）內部連通，所述中間管（63）固定連通在噴出部（62）和泵出部（61）之間。
4.根據權利要求3所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述裝配組件（7）包括裝配套（71）、轉動軸（72）和齒輪一（73），所述裝配套（71）位于兩個安裝架（1）之間，所述轉動軸（72）固定套接在裝配套（71）底部的支撐板上，所述齒輪一（73）固定套接在轉動軸（72）的外表面上，所述安裝架（1）的側面設有推動組件（8），所述推動組件（8）推動裝配組件（7）擺動。
5.根據權利要求4所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述推動組件（8）包括有二號推桿（81）、連接曲桿（82）和齒板（83），所述二號推桿（81）通過固定套固定在安裝架（1）的側面上，所述齒板（83）與齒輪一（73）嚙合連接，所述連接曲桿（82）的一端固定連接在齒板（83）的底面且另一端與二號推桿（81）的活動端固定連接。
6.根據權利要求5所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述轉動套（91）的下端穿過裝配套（71）并延伸至下方，所述齒輪一（73）位于裝配套（71）的內部，所述驅動電機（12）固定在裝配套（71）的底部，所述驅動電機（12）的輸出端位于裝配套（71）中，所述驅動電機（12）通過輸出端上的主動齒輪帶動嚙合齒輪二（92）轉動，所述限位板（94）位于二號弧筒（11）中，所述二號弧筒（11）和一號弧筒（5）相適配。
7.根據權利要求6所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述供氣部（13）包括氣泵、氣管和供氣套，所述供氣套與轉動套（91）的下端相連通，所述氣泵通過氣管和供氣套將氣體輸入至轉動套（91）的內部腔（93）中。
8.根據權利要求7所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述夾持部（10）包括側面框（101）、定位框（102）、夾緊板（103）和彈簧（104），所述側面框（101）固定連接在轉動套（91）的側面上且與內部腔（93）相連通，所述定位框（102）固定在轉動套（91）的內壁中，所述夾緊板（103）活動套接在側面框（101）中，所述彈簧（104）位于側面框（101）中，所述彈簧（104）的兩端分別與夾緊板（103）和定位框（102）固定連接。
9.根據權利要求8所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述壓力閥（96）陣列分布在轉動套（91）的外側面上，所述壓力閥（96）在內部腔（93）內部氣壓達到設定值時向外打開。
10.根據權利要求9所述的一種靶材加工裝置的加工方法，其特征在于：包括以下加工步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種靶材加工裝置，包括兩個安裝架（1）以及固定在安裝架（1）頂部的連接曲板（2），其特征在于：所述安裝架（1）的上方設有隔檔組件（4），所述隔檔組件（4）的頂部和底部分別固定設有上料筒（3）和一號弧筒（5），所述隔檔組件（4）控制上料筒（3）和一號弧筒（5）的貫通，所述隔檔組件（4）的側面與連接曲板（2）固定連接，兩個所述安裝架（1）之間擺動設有裝配組件（7），所述裝配組件（7）的頂部固定設有二號弧筒（11），所述裝配組件（7）的頂部轉動安裝有復合處理組件（9），所述復合處理組件（9）的外表面固定連通有夾持部（10），所述復合處理組件（9）和夾持部（10）均位于二號弧筒（11）中，所述裝配組件（7）的底部分別設有驅動電機（12）和供氣部（13），所述供氣部（13）將氣體輸入至復合處理組件（9）中，兩個所述安裝架（1）的背面設有噴涂組件（6），所述噴涂組件（6）的噴出端與一號弧筒（5）固定連通；
2.根據權利要求1所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述隔檔組件（4）包括中間板（41）、一號推桿（42）、適配孔（43）和擋板（44），所述中間板（41）固定在上料筒（3）和一號弧筒（5）之間，所述適配孔（43）的上下兩端分別與上料筒（3）和一號弧筒（5）相連通，所述適配孔（43）的直徑與上料筒（3）的直徑和一號弧筒（5）的直徑均相同，所述一號推桿（42）通過連接座固定在一號弧筒（5）的外側面上，所述擋板（44）活動套接在中間板（41）中且通過連接橫桿與一號推桿（42）的活動端固定連接，所述適配孔（43）位于擋板（44）的移動路徑上。
3.根據權利要求2所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述噴涂組件（6）包括泵出部（61）、噴出部（62）和中間管（63），所述噴出部（62）固定連接在一號弧筒（5）的外側面上，所述噴出部（62）通過一號弧筒（5）外側面上的通孔與一號弧筒（5）內部連通，所述中間管（63）固定連通在噴出部（62）和泵出部（61）之間。
4.根據權利要求3所述的一種靶材加工裝置，其特征在于：所述裝配組件（7）包括裝配套（71）、轉動軸（72）和齒輪一（73），所述裝配套（71）位于兩個安裝架（1）之間，所述轉動軸（72）...
【專利技術屬性】
技術研發人員：郝國建，王雷，杜亞飛，張東，
申請(專利權)人：江蘇海泰光電材料科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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