【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及砂漿切割,更具體地說(shuō)涉及一種砂漿容置器具。
技術(shù)介紹
1、集成電路(ic)是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)和信息社會(huì)的基礎(chǔ),是推動(dòng)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的最新技術(shù),也是改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)。全球90%以上ic所用的材料都是半導(dǎo)體碳化硅。
2、碳化硅襯底加工工序主要有以下幾種:研磨、定向、線切、倒角、減薄、拋光等,線切割階段是襯底加工中及其重要的階段。而線切割在襯底加工中又分為金剛線切割及砂漿切割,其中,由于金剛線加工成本高、加工難度大,所以目前市場(chǎng)上主流還是以砂漿切割為主,砂漿切割中最為重要的輔料就為砂漿。
3、為了能夠?qū)崿F(xiàn)砂漿切割,當(dāng)前市場(chǎng)上主流砂漿中均存在有金剛石顆粒,但是在實(shí)際使用時(shí)發(fā)現(xiàn):當(dāng)砂漿存放時(shí)間過(guò)久,并使用該砂漿進(jìn)行砂漿切割時(shí),會(huì)出現(xiàn)切割效果差的問(wèn)題,即會(huì)對(duì)線切割工序造成極大影響,產(chǎn)出的產(chǎn)品表面外觀及參數(shù)不利于后續(xù)加工甚至容易報(bào)廢。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足之處,提供一種砂漿容置器具,能夠通過(guò)攪拌提高容置在其內(nèi)部的砂漿中金剛石顆粒的分布均勻性,進(jìn)而優(yōu)化使用該砂漿進(jìn)行砂漿切割時(shí)的效果。
2、本技術(shù)的技術(shù)解決措施如下:
3、一種砂漿容置器具,包括:
4、本體,其內(nèi)部具有容置砂漿的容置腔,且所述本體的上端部設(shè)置有供砂漿進(jìn)入所述容置腔的進(jìn)料口,所述本體側(cè)壁設(shè)置有靠近所述容置腔的底面、并供砂漿從所述容置腔中排出的出料口;
5、出料閥,設(shè)置于所述出料口中以控制所述出料口通/閉;
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7、需要進(jìn)行說(shuō)明的是,基于砂漿存放時(shí)間過(guò)久而導(dǎo)致使用該砂漿進(jìn)行砂漿切割時(shí)效果差的問(wèn)題,發(fā)現(xiàn):由于砂漿切割的需求而使砂漿中存在許多金剛石顆粒,當(dāng)砂漿存放時(shí)間過(guò)久時(shí),砂漿中的金剛石顆粒容易沉淀于砂漿桶底部,進(jìn)而導(dǎo)致砂漿中金剛石顆粒分布不均,會(huì)對(duì)線切割工序造成極大影響,使產(chǎn)出的產(chǎn)品表面外觀及參數(shù)不利于后續(xù)加工甚至容易報(bào)廢。
8、基于此,上述方案中增設(shè)有電機(jī),電機(jī)連接有延伸至容置腔中的轉(zhuǎn)軸,且轉(zhuǎn)軸上連接有隨轉(zhuǎn)軸一同轉(zhuǎn)動(dòng)的攪拌件,實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)即可帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸以及攪拌件轉(zhuǎn)動(dòng),以對(duì)容置腔中的砂漿進(jìn)行攪拌,使砂漿呈環(huán)狀流,產(chǎn)生強(qiáng)渦旋以帶動(dòng)沉淀底部的金剛石顆粒均勻分散至漿液中,進(jìn)而提高砂漿中金剛石顆粒的分布均勻性,優(yōu)化使用該砂漿進(jìn)行砂漿切割時(shí)的效果。
9、同時(shí),基于金剛石顆粒易向下沉淀的特點(diǎn),上述方案中特別將出料口設(shè)置在金剛石顆粒不易堆積的本體側(cè)壁處,降低金剛石顆粒沉淀至不易進(jìn)行攪拌的出料口中的可能性。
10、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,所述底面為順應(yīng)于水平方向延伸的平面。
11、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,所述攪拌件包括:
12、凸出于所述轉(zhuǎn)軸一側(cè)的第一攪拌部,所述第一攪拌部設(shè)有向上凸起的第一擾流部;
13、凸出于所述轉(zhuǎn)軸另一側(cè)的第二攪拌部,所述第二攪拌部具有向下凸起的第二擾流部。
14、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,所述第一攪拌部的上端面、以及所述第二攪拌部的上端面均為對(duì)物料進(jìn)行向下導(dǎo)流的斜面。
15、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,圍繞所述本體設(shè)置有:
16、與所述本體相接、并供冷卻液流動(dòng)的流動(dòng)腔,所述流動(dòng)腔的下端部設(shè)置有進(jìn)液口,上端部設(shè)置有出液口。
17、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,圍繞所述本體的外周設(shè)置有螺旋延伸、并供冷卻液流動(dòng)的流動(dòng)管,所述流動(dòng)管與所述本體相接觸。
18、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,所述進(jìn)料口上可拆卸地連接有對(duì)所述進(jìn)料口進(jìn)行封堵的封蓋。
19、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,在所述進(jìn)料口至所述容置腔的流通路徑中裝設(shè)有過(guò)濾件,所述過(guò)濾件設(shè)有對(duì)從該流通路徑進(jìn)入所述容置腔中的砂漿篩分過(guò)濾的濾孔。
20、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,所述本體包括具有向上開(kāi)口的罐身,以及通過(guò)連接件來(lái)可拆卸連接于所述罐身、并對(duì)所述罐身的開(kāi)口形成遮蓋的罐頂;
21、所述罐身和所述罐頂共同形成有所述容置腔。
22、進(jìn)一步作為優(yōu)選方案,所述本體設(shè)有對(duì)所述本體形成底部支撐的若干個(gè)連接柱,所述連接柱底部連接有萬(wàn)向輪。
23、上述技術(shù)方案的主要有益效果在于:
24、通過(guò)在容置腔中設(shè)置攪拌件,并使攪拌件與電機(jī)上的轉(zhuǎn)軸相連,即可實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸以及攪拌件轉(zhuǎn)動(dòng),以對(duì)容置腔中的砂漿進(jìn)行攪拌,使砂漿呈環(huán)狀流,產(chǎn)生強(qiáng)渦旋以帶動(dòng)沉淀底部的金剛石顆粒均勻分散至漿液中,進(jìn)而提高砂漿中金剛石顆粒的分布均勻性,優(yōu)化使用該砂漿進(jìn)行砂漿切割時(shí)的效果。同時(shí),將出料口設(shè)置在金剛石顆粒不易堆積的本體側(cè)壁處,降低金剛石顆粒沉淀至不易進(jìn)行攪拌的出料口中的可能性。
25、進(jìn)一步地或者更細(xì)節(jié)的有益效果將在具體實(shí)施方式中結(jié)合具體實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
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1.一種砂漿容置器具,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:所述底面(1011)為順應(yīng)于水平方向延伸的平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:所述第一攪拌部(401)的上端面、以及所述第二攪拌部(402)的上端面均為對(duì)物料進(jìn)行向下導(dǎo)流的斜面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:圍繞所述本體(1)設(shè)置有:
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:圍繞所述本體(1)的外周設(shè)置有螺旋延伸、并供冷卻液流動(dòng)的流動(dòng)管(6),所述流動(dòng)管(6)與所述本體(1)相接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:所述進(jìn)料口(102)上可拆卸地連接有對(duì)所述進(jìn)料口(102)進(jìn)行封堵的封蓋(7)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:在所述進(jìn)料口(102)至所述容置腔(101)的流通路徑中裝設(shè)有過(guò)濾件(8),所述過(guò)濾件(8)設(shè)有對(duì)從該流通路徑進(jìn)入所述容置腔(101)中的砂漿篩分過(guò)濾的濾孔。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種砂漿容置器具,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:所述底面(1011)為順應(yīng)于水平方向延伸的平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:所述第一攪拌部(401)的上端面、以及所述第二攪拌部(402)的上端面均為對(duì)物料進(jìn)行向下導(dǎo)流的斜面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:圍繞所述本體(1)設(shè)置有:
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:圍繞所述本體(1)的外周設(shè)置有螺旋延伸、并供冷卻液流動(dòng)的流動(dòng)管(6),所述流動(dòng)管(6)與所述本體(1)相接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種砂漿容置器具,其特征在于:所述進(jìn)料...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:沈曉宇,李嘉煒,談繼崗,張旭東,盧岑,
申請(qǐng)(專利權(quán))人:湖州東尼半導(dǎo)體科技有限公司,
類型:新型
國(guó)別省市:
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