【技術實現步驟摘要】
本申請涉及測試，尤其涉及檢測裝置及檢測系統。
技術介紹
1、在半導體和smt(surface?mounted?technology，表面貼裝技術)的測試中，為了保證led(light?emitting?diode，發光二極管)晶圓、ic(integrated?circuit，集成電路)、pd(photo-diode，光電二極管)芯片等產品的良率，提高可靠性，需要對被測物進行測試檢驗，其中包括靜電放電防護測試、電流/電壓參數測試等。
2、而在常規的檢測設備中，一個設備只能進行一項測試檢驗，并不能進行并行、多通道測試存在檢測靈活性低和檢測效率低的情況。且在初始檢驗過程中，無法實現對輸入電源端上的電源電壓的實時監控，存在設備損壞的風險。
技術實現思路
1、本申請的主要目的在于提供一種檢測裝置及檢測系統，旨在解決常規的針對led晶圓、ic、pd芯片等產品的檢測方案存在檢測靈活性低和檢測效率低，以及檢測設備存在損壞風險的技術問題。
2、為實現上述目的，本申請提出一種檢測裝置，所述檢測裝置用于對被測單元進行檢測，所述檢測裝置包括處理模塊、電源模塊、數據采集模塊、第一測試模塊和第二測試模塊；
3、所述處理模塊通過數據線與所述數據采集模塊相接，所述數據采集模塊接入到所述電源模塊上，所述電源模塊通過高壓連接線與所述第一測試模塊相接，所述數據采集模塊通過信號線與所述第一測試模塊相接，所述第二測試模塊通過測試信號線與所述第一測試模塊相接，所述第一測試模塊通過連接線纜與
4、所述電源模塊，用于向所述第一測試模塊提供高壓電源；
5、所述數據采集模塊，用于采集所述高壓電源，并將采集的所述高壓電源傳入所述處理模塊上，通過所述處理模塊對所述高壓電源進行監控；
6、所述第一測試模塊，根據接入的控制信號閉合對應檢測模式下的檢測回路，將接入的高壓電源通過所述閉合的檢測回路傳入到所述被測單元中，對所述被測單元進行抗靜電檢測；
7、所述第二測試模塊，用于所述被測單元進行電流/電壓參數測試。
8、在一實施例中，所述第一測試模塊包括并聯的第一模擬測試單元和第二模擬測試單元；
9、所述第一模擬測試單元的電源輸入端與所述電源模塊相接，用于在接入的所述控制信號為第一檢測控制信號時進入閉合狀態，同時接入所述電源模塊根據所述第一檢測控制信號所輸出的第一高壓電源，對所述第一高壓電源進行處理，并將處理后的第一高壓電源輸出到所述被測單元的兩端；
10、所述第二模擬測試單元的電源輸入端與所述電源模塊相接，用于在接入的所述控制信號為第二檢測控制信號時進入閉合狀態，同時接入所述電源模塊根據所述第二檢測控制信號所輸出的第二高壓電源，對所述第二高壓電源進行處理，并將處理后的第二高壓電源輸出到所述被測單元的兩端。
11、在一實施例中，所述第一模擬測試單元包括串聯的第一充電回路和第一放電回路；
12、所述第一充電回路包括第一充電開關、第一電阻和第一儲能電容；
13、所述第一充電開關的第一端與所述電源模塊的電源輸出端相接，所述第一充電開關的第二端與所述第一電阻的第一端相接，所述第一儲能電容的一端接在所述第一充電開關和所述第一電阻的連接點上；
14、所述第一放電回路包括第一放電開關、放電電路、第二放電開關、第三放電開關、第四放電開關和第五放電開關；
15、所述第一放電開關的第一端與所述第一電阻的第二端相接，所述第一放電開關的第二端與所述放電電路的一端相接，所述放電電路的另一端分別與所述第二放電開關的第一端和所述第三放電開關的第一端相接；
16、所述第二放電開關的第二端與所述被測單元的第一端相接，所述第四放電開關的第一端與所述被測單元的第二端相接，所述第四放電開關的第二端經由接地電阻接地端；
17、所述第三放電開關的第二端與所述被測單元的第二端相接，所述第五放電開關的第一端與所述被測單元的第一端相接，所述第五放電開關的第二端經由接地電阻接地端。
18、在一實施例中，所述第二模擬測試單元包括串聯的第二充電回路和第二放電回路；
19、所述第二充電回路包括第二充電開關和第二儲能電容；
20、所述第二充電開關的第一端與所述電源模塊的電源輸出端相接，所述第二充電開關的第二端與所述第二放電回路相接，所述第二儲能電容接在所述第二充電開關和所述第二放電回路的連接點上；
21、所述第二放電回路包括第六放電開關、第七放電開關、第八放電開關和第九放電開關；
22、所述第六放電開關的第一端和所述第七放電開關的第一端共接到所述第二充電開關的第二端上，所述第六放電開關的第二端與所述被測單元的第一端相接，所述第八放電開關的第一端與所述被測單元的第二端相接，所述第八放電開關的第二端接地端；
23、所述第七放電開關的第二端與所述被測單元的第二端相接，所述第九放電開關的第一端與所述被測單元的第一端相接，所述第九放電開關的第二端接地端。
24、在一實施例中，所述數據采集模塊包括第一高壓電源采集單元和第二高壓電源采集單元；
25、所述第一高壓電源采集單元接在所述第一電阻和所述第一放電開關的連接點上，用于采集第一高壓電源電流，并將采集到的所述第一高壓電源電流輸出至所述處理模塊，通過所述處理模塊對所述第一高壓電源進行電源監控；
26、所述第一高壓電源采集單元包括依次由第一分壓電阻、第二分壓電阻和第三分壓電阻串聯而成的第一分壓電路；
27、所述第二高壓電源采集單元接在第二充電開關和所述第六放電開關與所述第七放電開關的連接點上，用于采集第二高壓電源電流，并將采集到的所述第二高壓電源電流輸出至所述處理模塊，通過所述處理模塊對所述第二高壓電源進行電源監控；
28、所述第二高壓電源采集單元包括依次由第四分壓電阻和第五分壓電阻串聯而成的第二分壓電路。
29、在一實施例中，所述處理模塊包括高壓電源檢測單元和輸出電壓檢測單元；
30、所述高壓電源檢測單元的輸入端分別與所述第一高壓電源采集單元的輸出端和所述第二高壓電源采集單元的輸出端相接，所述高壓電源檢測單元的輸出端與所述處理模塊相接，用于將所述第一高壓電源采集單元輸出的第一高壓電源或所述第二高壓電源采集單元輸出的第二高壓電源轉換為充電信號后，將所述充電信號轉發至所述處理模塊；
31、所述輸出電壓檢測單元的輸入端分別與所述第一放電回路的輸出端和所述第二放電回路的輸出端電性連接，所述輸出電壓檢測單元的輸出端與所述處理模塊相接，用于將所述第一放電回路輸出到所述被測單元上的模擬人體輸出電流或所述第二放電回路輸出到所述被測單元上的模擬機械輸出電流轉換為放電信號后，將所述放電信號轉發至所述處理模塊。
32、在一實施例中，所述高壓電源檢測單元包括第一運放器、第二運放器、第二電阻和第三電阻；
33、所述第一本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置用于對被測單元進行檢測，所述檢測裝置包括處理模塊、電源模塊、數據采集模塊、第一測試模塊和第二測試模塊；
2.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一測試模塊包括并聯的第一模擬測試單元和第二模擬測試單元；
3.如權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一模擬測試單元包括串聯的第一充電回路和第一放電回路；
4.如權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述第二模擬測試單元包括串聯的第二充電回路和第二放電回路；
5.如權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述數據采集模塊包括第一高壓電源采集單元和第二高壓電源采集單元；
6.如權利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述處理模塊包括高壓電源檢測單元和輸出電壓檢測單元；
7.如權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述高壓電源檢測單元包括第一運放器、第二運放器、第二電阻和第三電阻；
8.如權利要求7所述的檢測裝置，其特征在于，所述輸出電壓檢測單元包括電流互感器、整流橋、濾波器和第三運放器；
9.
10.一種檢測系統，其特征在于，所述檢測系統包括如權利要求1至9中任一項所述的檢測裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置用于對被測單元進行檢測，所述檢測裝置包括處理模塊、電源模塊、數據采集模塊、第一測試模塊和第二測試模塊；
2.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一測試模塊包括并聯的第一模擬測試單元和第二模擬測試單元；
3.如權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一模擬測試單元包括串聯的第一充電回路和第一放電回路；
4.如權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述第二模擬測試單元包括串聯的第二充電回路和第二放電回路；
5.如權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述數據采集模塊包括第一高壓電源采集單元和第二高壓電源采集單元；
【專利技術屬性】
技術研發人員：梁雄悅，
申請(專利權)人：矽電半導體設備深圳股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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