【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及化學氣相沉積設備領域，具體而言，涉及一種放電腔結構、化學氣相沉積設備及放電腔結構冷卻方法。
技術介紹
1、微波等離子體設備將微波發生器產生的微波用波導管經隔離器進入放電腔，并通入甲烷與氫氣的混合氣體，在微波的激勵下，在放電腔結構內放電。放電腔內設置有樣品臺，基片放置在樣品臺上；放電使得反應氣體的分子離化，產生等離子體，在襯底上沉積得到金剛石膜。由于放電產生大量的熱，其使得樣品臺的溫度較高。因此，需要提供一種能夠降低樣品臺溫度的放電腔結構。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種放電腔結構，其設置有冷卻組件，能夠對樣品臺進行有效降溫。
2、本專利技術的另一目的在于提供一種化學氣相沉積設備，其包括上述放電腔結構。
3、本專利技術的另一目的在于提供一種放電腔結構冷卻方法，利用該冷卻方法能夠對樣品臺進行有效降溫，并節約水資源。
4、本專利技術是這樣實現的：
5、一種放電腔結構，包括：
6、腔體，所述腔體包括圓形的底板；
7、樣品臺，所述樣品臺為圓形，并設置在所述腔體中，用于放置待鍍膜的基片；
8、冷卻容器，所述冷卻容器設置在所述樣品臺的下方，并與所述底板或所述樣品臺的底部密封連接；所述冷卻容器用于盛放冷卻介質，所述冷卻容器內的冷卻介質能夠直接對所述樣品臺的底部進行冷卻；
9、所述冷卻容器內還設置有噴水組件，所述噴水組件包括噴水頭，所述噴水頭位于所述樣品臺的下方，能夠對樣品臺
10、所述冷卻容器設置有進水管、排水管、進氣管和排氣管。
11、進一步地，所述樣品臺的底部為凹陷的球面形，所述噴水頭上設置有多組噴水孔，每組所述噴水孔均沿圓形圈道分布，不同組的噴水孔的圓形圈道半徑不同。
12、進一步地，所述噴水組件包括多個進水通道，所述多個進水通道分別與所述多組噴水孔連通。
13、進一步地，還包括控制器，所述多個進水通道、進水管、排水管、進氣管和排氣管上分別設置有控制閥；所述樣品臺的臺面包括多個圓形的圈道，所述多個圈道的圓心均與所述樣品臺的圓心重合；每個所述圈道上設置有多個溫度傳感器，所述多個溫度傳感器用于檢測所述樣品臺的溫度；
14、所述控制器能夠根據所述多個溫度傳感器的數據控制對應的控制閥的開度大小。
15、一種化學氣相沉積設備，包括功率源、微波傳輸組件及所述的放電腔結構，所述功率源通過所述微波傳輸組件與所述放電腔結構連接。
16、一種放電腔結構樣品臺冷卻方法，基于所述的放電腔結構，當任意一條圈道上的所述多個溫度傳感器檢測數據的平均值都小于或等于預設溫度時，開啟進氣管和排氣管上的控制閥，關閉進水管上的控制閥，開啟排水管上的控制閥，并開啟噴水組件對樣品臺的底部進行噴淋；
17、當任意一條圈道上的所述多個溫度傳感器檢測數據的平均值a大于預設溫度時，將該條圈道對應的進水通道的控制閥開度調到最大；預設時間之后，如所述平均值a仍然大于預設溫度，則，關閉進氣管和排氣管上的控制閥，開啟進水管的控制閥，并使得樣品臺底部浸泡在冷卻水中。
18、進一步地，噴水組件對樣品臺的底部進行噴淋時，當最小半徑圈道上溫度傳感器檢測數據的平均值與最大半徑圈道上溫度傳感器檢測數據的平均值之差大于第一預設差值時，將最小半徑圈道的進水通道的水量調大。
19、進一步地，噴水組件對樣品臺的底部進行噴淋時，當相鄰圈道的溫度傳感器的檢測數據的平均值之差大于第二預設差值時，將較高平均值對應圈道的進水通道的水量調大。
20、本專利技術的有益效果是：
21、本專利技術通過上述設計得到的放電腔結構、化學氣相沉積設備及放電腔結構冷卻方法，使用時，根據樣品臺各個圈道的溫度值情況來調整不同的冷卻方式。當樣品臺任意一條圈道上的平均溫度高于預設溫度時，采用流動水浸泡式冷卻，此時能夠快速降低樣品臺的溫度；當樣品臺的任意一條圈道的平均溫度低于預設溫度時，采用噴淋式冷卻或氣流冷卻，或者二者混合冷卻，此時，在控制樣品臺溫度的同時，還節約了水資源。
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1.一種放電腔結構，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的放電腔結構，其特征在于：
3.根據權利要求2所述的放電腔結構，其特征在于：
4.根據權利要求3所述的放電腔結構，其特征在于：
5.一種化學氣相沉積設備，其特征在于，包括功率源、微波傳輸組件及權利要求1-4任一項所述的放電腔結構，所述功率源通過所述微波傳輸組件與所述放電腔結構連接。
6.一種放電腔結構樣品臺冷卻方法，基于權利要求4所述的放電腔結構，其特征在于：
7.根據權利要求6所述的放電腔結構樣品臺冷卻方法，其特征在于：
8.根據權利要求6或7所述的放電腔結構樣品臺冷卻方法，其特征在于：
【技術特征摘要】
1.一種放電腔結構，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的放電腔結構，其特征在于：
3.根據權利要求2所述的放電腔結構，其特征在于：
4.根據權利要求3所述的放電腔結構，其特征在于：
5.一種化學氣相沉積設備，其特征在于，包括功率源、微波傳輸組件及權利要求1-4任一...
【專利技術屬性】
技術研發人員：季宇，李俊宏，陳森林，
申請(專利權)人：成都沃特塞恩電子技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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