【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體加工，尤其涉及一種傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法。
技術介紹
1、半導體晶圓加工中的刻蝕、沉積、外延生長等工藝需要在真空反應腔室中進行，因此需要真空機械手把晶圓從前端晶圓搬送模塊搬送到真空反應腔中，真空機械手一般安裝在晶圓搬送前端模塊與真空反應腔之間的真空傳輸腔中。
2、現有技術中真空機械手包括第一臂部、第二臂部、電機以及晶圓拿取手，晶圓拿取手設于第二臂部上，第一臂部內設有第一傳動機構，第二臂部內設有第二傳動機構。電機驅動第一臂部轉動并帶動第一傳動機構運動，在第一傳動機構的傳動下，帶動第二傳動機構運動，進而實現對第二臂部的轉動調節。由于第一傳動機構和第二傳動機構以固定的傳動比傳遞，而且在電機驅動下第一臂部、第二臂部同時轉動，對晶圓拿取手進行位置和角度的同步調節，這種調節方式是無法實現對晶圓拿取手任意角度和任意位置的調節，調節范圍非常有限。
3、有鑒于此，有必要提出一種傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法以解決上述問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法，用以改善現有的真空機械手末端執行器旋轉角度受限的問題。
2、本專利技術提供了一種傳動裝置，應用于真空機械手，所述真空機械手包括第一擺臂、第二擺臂以及晶圓拿取手，所述傳動裝置包括：
3、第一傳動機構，設于所述第一擺臂內，沿所述第一擺臂的長度方向設置，所述第一傳動機構的其中一個端部延伸出所述第一擺
4、第二傳動機構，設于所述第一擺臂內；
5、第三傳動機構，設于所述第二擺臂內，沿所述第二擺臂的長度方向設置，所述第三傳動機構的其中一個端部與所述第二傳動機構連接，所述第三傳動機構的另一個端部延伸出所述第二擺臂的另一個端部并與所述晶圓拿取手連接。
6、該實施例的有益效果在于：通過驅動所述第一傳動機構的其中一個端部，經所述第一傳動機構的傳動，帶動所述第二擺臂轉動；通過驅動所述第二傳動機構，經所述第二傳動機構和所述第三傳動機構的傳動，帶動所述晶圓拿取手轉動，使得所述第二擺臂、所述晶圓拿取手可以相互獨立的轉動并實現無限回轉，例如順時針或逆時針在一個方向上的360°、720°、1440°或者更多，因為沒有轉動限制，無需順時針旋轉一定角度后再逆時針回轉至初始位置，加快了生產節拍，實現了所述晶圓拿取手的無限回轉，從而解決了現有所述真空機械手移動和角度調節受限的問題。
7、在一種可能的實施例中，所述第二傳動機構包括第二主動輪、第二從動輪以及第二傳動帶；
8、所述第二主動輪可轉動地設于所述第一擺臂內且位于所述第一擺臂的其中一個端部；
9、所述第二從動輪可轉動地設于所述第一擺臂內且位于所述第一擺臂的另一個端部，所述第二從動輪與所述第三傳動機構的其中一個端部連接；
10、所述第二傳動帶繞設于所述第二主動輪和所述第二從動輪上，以使所述第二主動輪驅動所述第二從動輪同步轉動，將所述第二主動輪的旋轉力傳遞給所述第二從動輪。
11、該實施例的有益效果在于：所述第三驅動機構驅動所述第二主動輪轉動，經所述第二傳動帶傳動旋轉力，使得所述第二從動輪能夠與所述第二主動輪同步轉動，所述第二從動輪通過所述第三傳動機構將旋轉力傳動給所述晶圓拿取手，從而實現所述晶圓拿取手的無限回轉。
12、在一種可能的實施例中，所述第一傳動機構包括第一主動輪、第一從動輪以及第一傳動帶；
13、所述第一主動輪可轉動地設于所述第二主動輪；
14、所述第一從動輪可轉動地設于所述第二從動輪，所述第一從動輪部分伸出所述第一擺臂的另一個端部外并與所述第二擺臂的其中一個端部連接；
15、所述第一傳動帶繞設于所述第一主動輪和所述第一從動輪上，以使所述第一主動輪驅動所述第一從動輪同步轉動，將所述第一主動輪的旋轉力傳遞給所述第一從動輪。
16、該實施例的有益效果在于：所述第二驅動機構驅動所述第一主動輪轉動，經所述第一傳動帶傳動旋轉力，使得所述第一從動輪能夠與所述第一主動輪同步轉動，同時所述第一從動輪帶動所述第二擺臂相對于所述第一擺動進行獨立轉動，可實現所述第二擺臂的無限回轉。
17、在一種可能的實施例中，所述第三傳動機構包括第三主動輪、第三從動輪以及第三傳動帶；
18、所述第三主動輪位于所述第二擺臂的其中一個端部內并部分伸出所述第二擺臂的其中一個端部外，所述第三主動輪穿過所述第一從動輪并與所述第二從動輪連接；
19、所述第三從動輪可轉動地設于所述第二擺臂內且位于所述第二擺臂的另一個端部內，所述第三從動輪部分伸出所述第二擺臂的另一個端部外并用于與所述晶圓拿取手連接；
20、所述第三傳動帶繞設于所述第三主動輪和所述第三從動輪上，以使所述第三主動輪驅動所述第三從動輪同步轉動，將所述第三主動輪的旋轉力傳遞給所述第三從動輪。
21、該實施例的有益效果在于：所述第三主動輪與所述第二從動輪連接，在第二從動輪轉動時會帶動所述第三主動輪一起轉動，經所述第三傳動帶傳動旋轉力，使得所述第三從動輪能夠與所述第三主動輪同步轉動，進而帶動與所述第三從動輪連接的所述晶圓拿取手轉動，從而實現所述晶圓拿取手的無限回轉。
22、在一種可能的實施例中，所述第二從動輪上凸伸形成有連接臺；
23、所述第一從動輪呈筒狀且可轉動地套設于所述連接臺上；和/或，所述第三主動輪上凸伸形成有延伸部，所述延伸部伸出所述第二擺臂的其中一個端部外，并伸入所述第一從動輪內且與所述連接臺固定連接。
24、該實施例的有益效果在于：所述第一從動輪可轉動地套設于連接臺上，通過所述連接臺確保所述第一從動輪穩固地安裝于所述第二從動輪上。所述第三主動輪的延伸部伸出所述第二擺臂并與所述第二從動輪上的連接臺連接，實現了所述第三傳動機構的其中一個端部與所述第二傳動機構的另一個端部連接。所述第三驅動機構驅動所述第二傳動機構，所述第二傳動機構可以將旋轉力傳遞給所述第三傳動機構，所述第三傳動機構再傳遞給所述晶圓拿取手，從而實現晶圓拿取手的無限回轉。
25、在一種可能的實施例中，所述第一主動輪的外周面、所述第一從動輪的外周面上分別設有第一凸起，所述第一傳動帶上設有可與所述第一凸起相配合的第一孔，和/或，所述第一主動輪的外周面、所述第一從動輪的外周面上分別設有第二孔，所述第一傳動帶上設有可與所述第二孔相配合的第二凸起；
26、所述第二主動輪的外周面、所述第二從動輪的外周面上分別設有第三凸起，所述第二傳動帶上設有可與所述第三凸起相配合的第三孔，和/或，所述第二主動輪的外周面、所述第二從動輪的外周面上分別設有第四孔，所述第二傳動帶上設有可與所述第四孔相配合的第四凸起；
27、所述第三主動輪的外周面、所述第三從動輪的外周面上分別設有若干個第五凸起，所述第三傳動帶上設有可與所述第五凸起相配合的第五孔，和/本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種傳動裝置，應用于真空機械手，所述真空機械手包括第一擺臂、第二擺臂以及晶圓拿取手，其特征在于，所述傳動裝置包括：
2.根據權利要求1所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二傳動機構包括第二主動輪、第二從動輪以及第二傳動帶；
3.根據權利要求2所述的傳動裝置，其特征在于，所述第一傳動機構包括第一主動輪、第一從動輪以及第一傳動帶；
4.根據權利要求3所述的傳動裝置，其特征在于，所述第三傳動機構包括第三主動輪、第三從動輪以及第三傳動帶；
5.根據權利要求4所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二從動輪上凸伸形成有連接臺；
6.根據權利要求4所述的傳動裝置，其特征在于，所述第一主動輪的外周面、所述第一從動輪的外周面上分別設有第一凸起，所述第一傳動帶上設有可與所述第一凸起相配合的第一孔，和/或，所述第一主動輪的外周面、所述第一從動輪的外周面上分別設有第二孔，所述第一傳動帶上設有可與所述第二孔相配合的第二凸起；
7.根據權利要求6所述的傳動裝置，其特征在于，針對設置所述第一凸起的情形，所述第一主動輪與所述第一傳動帶的接觸區
8.根據權利要求4所述的傳動裝置，其特征在于，所述第一主動輪的中心線和所述第二主動輪的中心線共線設置；和/或，
9.一種真空機械手，其特征在于，包括：
10.根據權利要求9所述的真空機械手，其特征在于，還包括對應所述第一傳動帶設于所述第一擺臂內的第一張緊組件，所述第一張緊組件用于調節所述第一傳動帶的張緊度；或者，
11.一種真空機械手的傳動方法，其特征在于，采用如權利要求9或10所述的真空機械手，所述傳動方法包括：
...【技術特征摘要】
1.一種傳動裝置，應用于真空機械手，所述真空機械手包括第一擺臂、第二擺臂以及晶圓拿取手，其特征在于，所述傳動裝置包括：
2.根據權利要求1所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二傳動機構包括第二主動輪、第二從動輪以及第二傳動帶；
3.根據權利要求2所述的傳動裝置，其特征在于，所述第一傳動機構包括第一主動輪、第一從動輪以及第一傳動帶；
4.根據權利要求3所述的傳動裝置，其特征在于，所述第三傳動機構包括第三主動輪、第三從動輪以及第三傳動帶；
5.根據權利要求4所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二從動輪上凸伸形成有連接臺；
6.根據權利要求4所述的傳動裝置，其特征在于，所述第一主動輪的外周面、所述第一從動輪的外周面上分別設有第一凸起，所述第一傳動帶上設有可與所述第一凸起相配合的第一孔，和/或，所述第一主動輪的外周面...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱玉東，常志勇，董宏達，候雙明，
申請(專利權)人：中科芯微智能裝備沈陽有限公司，
類型：發明
國別省市：
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