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    電聲換能器、聲表面波諧振器及聲表面波裝置制造方法及圖紙

    技術編號:43395453 閱讀:11 留言:0更新日期:2024-11-19 18:11
    本申請關于一種電聲換能器、聲表面波諧振器及聲表面波裝置,涉及射頻領域。本申請提供的電聲換能器包括:換能部,其具有相對交錯設置的多根第一電極指和多根第二電極指,以及在第一電極指、第二電極指指條延伸方向上相互對置的第一匯流條和第二匯流條;柵部,其具有周期性排列的多根第三電極指和在第三電極指指條延伸方向上相互對置的第三匯流條和第四匯流條;以及電阻部,其具有第四電極指,第四電極指的一端與第一匯流條相連,另一端與第二匯流條相連;其中,在將第一電極指和第二電極指的長度設為α、將第四電極指的長度設為β的前提下,β滿足β≥3α。在此情況下,能夠解決射頻前端器件帶外抑制較差的問題,大幅改善器件的性能。

    【技術實現步驟摘要】

    本申請涉及射頻,特別涉及一種電聲換能器、聲表面波諧振器及聲表面波裝置


    技術介紹

    1、射頻前端器件具有成本低、體積小和功能多等特點,在雷達、通信、導航等領域獲得了廣泛的應用。

    2、本領域已知的,聲表面波裝置利用聲波將射頻信號轉化為機械振動并且反過來將機械振動轉換成射頻信號。為此,機械振動需要通過壓電基底上的電聲換能器來激勵。電聲換能器通常包括相對交錯設置的多根第一電極指和多根第二電極指、在第一電極指、第二電極指指條延伸方向上相互對置的第一匯流條和第二匯流條;另外,電聲換能器還具有反射柵。

    3、隨著第五代(5g)通信技術在世界上的快速商業化,市場對5g頻段的聲表面波裝置需求急劇增長。在5g通訊應用中,市場對于聲表面波裝置的帶外抑制提出了更高的要求,好的帶外抑制代表著裝置在阻帶中對信號好的抑制效果,這對裝置的應用是有利的。

    4、相關技術中,專利cn114301422b提供了一種聲表面波裝置,通過在壓電基底上設置凹槽,并且凹槽上設置至少一個焊盤和至少一個走線,可以減少寄生電容的產生,提高濾波器的帶外抑制水平。

    5、然而,上述相關技術中的聲表面波裝置在壓電基底上設置凹槽無疑增加了器件制備的難度,這對器件的良率和最終的量產是不利的。并且,這種方法對于聲表面波裝置帶外抑制的提升十分有限。


    技術實現思路

    1、本申請的目的是提供一種電聲換能器、聲表面波諧振器及聲表面波裝置,以解決上述現有技術存在的問題。

    2、為實現上述目的,本申請采用的技術方案為:

    3、第一方面,本申請提供了一種電聲換能器,包括:

    4、換能部,其具有相對交錯設置的多根第一電極指和多根第二電極指,以及在所述第一電極指、所述第二電極指指條延伸方向上相互對置的第一匯流條和第二匯流條;

    5、柵部,其具有周期性排列的多根第三電極指和在所述第三電極指指條延伸方向上相互對置的第三匯流條和第四匯流條;以及

    6、電阻部,其具有第四電極指,所述第四電極指的一端與所述第一匯流條相連,另一端與所述第二匯流條相連;

    7、其中,在將所述第一電極指和所述第二電極指的長度設為α、將所述第四電極指的長度設為β的前提下,β滿足β≥3α。

    8、在一種可能的實現方式中,所述電阻部設置于所述換能部聲波傳播方向的兩側。

    9、在一種可能的實現方式中,所述第一電極指、所述第二電極指、所述第三電極指、以及所述第四電極指的材料由鋁、銅、鉑、鎢、金、銀、鉬、鉭中的一種或多種組成。

    10、第二方面,本申請提供了一種聲表面波諧振器,包括:

    11、壓電基底;以及

    12、導電材料薄膜圖形,其設置于所述壓電基底的工作面上;

    13、其中,所述導電材料薄膜圖形形成有至少一個電聲換能器,所述電聲換能器為如上所述的電聲換能器。

    14、在一種可能的實現方式中,所述壓電基底為具有壓電性的塊體材料;或者

    15、所述壓電基底為壓電多層材料。

    16、第三方面,本申請提供了一種聲表面波裝置,其為聲表面波濾波器或多工器,其包括串聯臂諧振器以及并聯臂諧振器;其中,所述串聯臂諧振器以及所述并聯臂諧振器之中的至少一個諧振器是如上所述的聲表面波諧振器。

    17、本申請提供的技術方案帶來的有益效果至少包括:

    18、本申請提供的電聲換能器包括:換能部,其具有相對交錯設置的多根第一電極指和多根第二電極指,以及在第一電極指、第二電極指指條延伸方向上相互對置的第一匯流條和第二匯流條;柵部,其具有周期性排列的多根第三電極指和在第三電極指指條延伸方向上相互對置的第三匯流條和第四匯流條;以及電阻部,其具有第四電極指,第四電極指的一端與第一匯流條相連,另一端與第二匯流條相連;其中,在將第一電極指和第二電極指的長度設為α、將第四電極指的長度設為β的前提下,β滿足β≥3α。在此情況下,能夠解決射頻前端器件帶外抑制較差的問題,大幅改善器件的性能。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種電聲換能器,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的電聲換能器,其特征在于:

    3.根據權利要求1所述的電聲換能器,其特征在于:

    4.一種聲表面波諧振器,其特征在于,包括:

    5.根據權利要求4所述的聲表面波諧振器,其特征在于:

    6.一種聲表面波裝置,其特征在于,其為聲表面波濾波器或多工器,其包括串聯臂諧振器以及并聯臂諧振器;其中,所述串聯臂諧振器以及所述并聯臂諧振器之中的至少一個諧振器是權利要求5所述的聲表面波諧振器。

    【技術特征摘要】

    1.一種電聲換能器,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的電聲換能器,其特征在于:

    3.根據權利要求1所述的電聲換能器,其特征在于:

    4.一種聲表面波諧振器,其特征在于,包括:

    5.根據權利要...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:俞振一許志斌王為標陸增天劉平
    申請(專利權)人:無錫市好達電子股份有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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