本申請涉及一種版圖圖形的插孔方法、裝置、計算機設(shè)備以及存儲介質(zhì)。包括：獲取版圖，確定版圖中待插孔處理的一個外輪廓和多個內(nèi)孔；外輪廓是多邊形，內(nèi)孔是在外輪廓內(nèi)部的多邊形；在內(nèi)孔中選取進行后續(xù)插孔處理的目標內(nèi)孔，對目標內(nèi)孔進行插孔處理，直至完成所有內(nèi)孔的插孔處理；第二內(nèi)孔是內(nèi)孔中除目標內(nèi)孔外的其余內(nèi)孔中的一個；從與外輪廓的交點和/或與第二內(nèi)孔的交點中確定一個目標內(nèi)孔的最優(yōu)插入點；基于最優(yōu)插入點，對目標內(nèi)孔進行插孔處理，并將目標內(nèi)孔更新至外輪廓或者合并至第二內(nèi)孔。合理的規(guī)劃了多邊形內(nèi)孔的插入順序，從而提高了對曼哈頓多邊形進行凸分解的準確性，提高凸分解效率。
1、cmp（chemical?mechanical?polishing，化學機械拋光）是現(xiàn)在集成電路制造工藝中實現(xiàn)硅片表面平坦化的關(guān)鍵步驟。在65nm及以下工藝節(jié)點，芯片設(shè)計階段的一些對工藝不友好的設(shè)計，即使不違反設(shè)計規(guī)則，仍有可能在cmp階段形成碟型凹陷、介質(zhì)腐蝕和金屬厚度波動等缺陷，從而造成互連線電阻、電容波動，甚至金屬互連短路和開路，并造成后續(xù)工藝步驟工藝窗口不足等問題。
2、業(yè)界引入了cmp模型軟件來提高芯片設(shè)計的可制造性，在cmp模型軟件仿真時，為了提升效率，會對集成電路的版圖圖形進行網(wǎng)格劃分并計算各網(wǎng)格的幾何參數(shù)，幾何參數(shù)主要包含圖形密度、等效線寬、等效間距和周長等。由于版圖圖形主要由數(shù)量龐大的曼哈頓多邊形組成，在計算版圖的等效線寬和等效間距時，首先需要將復雜的曼哈頓多邊形切割成多個簡單的矩形，再根據(jù)切割完矩形的幾何特征計算等效線寬和等效間距。
3、在對多邊形進行凸分解（即進行曼哈頓多邊形切割）前，要將多邊形的內(nèi)孔插入到外輪廓。這一類凸分解前的插孔要求插孔生成的劃線距離最短，而不合理的插孔方式，會存在計算出的等效線寬和等效間距等與原多邊形的幾何特征失真，無法準確表達原多邊形的線寬特征等問題，從而影響后續(xù)cmp模型軟件仿真的準確性。
4、因此，如何針對凸分解等應(yīng)用場景，合理的將多邊形的內(nèi)孔插入到多邊形外輪廓，提高對曼哈頓多邊形進行凸分解的準確性，提高凸分解效率，是需要解決的問題。
/>技術(shù)實現(xiàn)思路
1、基于此，有必要針對上述技術(shù)問題，提供一種能夠合理的將多邊形的內(nèi)孔插入到多邊形外輪廓，提高對曼哈頓多邊形進行凸分解的準確性，并提高凸分解效率的版圖圖形的插孔方法、裝置、計算機設(shè)備和存儲介質(zhì)。
2、第一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N版圖圖形的插孔方法，所述方法包括：
3、獲取版圖，確定所述版圖中待插孔處理的一個外輪廓和多個內(nèi)孔；所述外輪廓是多邊形，所述內(nèi)孔是在所述外輪廓內(nèi)部的多邊形；
4、在內(nèi)孔中選取進行后續(xù)插孔處理的目標內(nèi)孔，對所述目標內(nèi)孔進行插孔處理，直至完成所有內(nèi)孔的插孔處理；
5、所述插孔處理，包括：確定所述目標內(nèi)孔的所有可插入有向線段；所述可插入有向線段的起點是所述目標內(nèi)孔的頂點，終點是與外輪廓的交點或與第二內(nèi)孔的交點；所述第二內(nèi)孔是內(nèi)孔中除所述目標內(nèi)孔外的其余內(nèi)孔中的一個；
6、從所述與外輪廓的交點和/或與所述第二內(nèi)孔的交點中確定一個所述目標內(nèi)孔的最優(yōu)插入點；
7、基于所述最優(yōu)插入點，對所述目標內(nèi)孔進行插孔處理，并將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓或者合并至所述第二內(nèi)孔。
8、在其中一個實施例中，從所述與外輪廓的交點和/或與所述第二內(nèi)孔的交點中確定一個所述目標內(nèi)孔的最優(yōu)插入點，包括：
9、在與外輪廓相交的所有可插入有向線段中，確定其中長度最短的可插入有向線段的終點為第一候選交點；
10、在與所述第二內(nèi)孔相交的所有可插入有向線段中，確定其中長度最短的可插入有向線段的終點為第二候選交點；
11、從所述第一候選交點對應(yīng)的可插入有向線段，以及所述第二候選交點對應(yīng)的可插入有向線段中確定長度最短的可插入有線段，并將所述長度最短的可插入有線段的終點作為最優(yōu)插入點。
12、在其中一個實施例中，確定所述目標內(nèi)孔的所有可插入有向線段，包括：
13、基于所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點及其相鄰頂點，分別生成所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點的可插入方向；
14、基于所述預(yù)設(shè)頂點沿著可插入方向做射線，獲得所述射線與所述外輪廓或者與所述第二內(nèi)孔的第一個交點，即得到以所述預(yù)設(shè)頂點為起點，且以所述第一個交點為終點的可插入有向線段；
15、其中，所述預(yù)設(shè)頂點包括非凹頂點。
16、在其中一個實施例中，基于所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點及其相鄰頂點，分別生成所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點的可插入方向，包括：
17、所述內(nèi)孔是包括按第一旋轉(zhuǎn)方向排列的多個頂點的多邊形；基于所述頂點的排列順序，對所述內(nèi)孔中的頂點進行編號；所述第一旋轉(zhuǎn)方向是逆時針或者順時針；
18、連接編號在所述預(yù)設(shè)頂點之前的一個相鄰頂點與所述預(yù)設(shè)頂點，生成所述預(yù)設(shè)頂點的第一可插入方向；
19、將所述第一可插入方向以第二旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度，生成所述預(yù)設(shè)頂點的第二可插入方向；所述第二旋轉(zhuǎn)方向與所述第一旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)方向相反；
20、所述第一可插入方向和所述第二可插入方向即為所述預(yù)設(shè)頂點的可插入方向。
21、在其中一個實施例中，版圖圖形的插孔方法，還包括：
22、若所述可插入有向線段的終點是與外輪廓的第一邊的交點，判斷所述可插入有向線段與所述第一邊的沿第一旋轉(zhuǎn)方向的夾角是否小于第一夾角閾值；
23、若否，則所述可插入有向線段的終點不能作為最優(yōu)插入點。
24、在其中一個實施例中，版圖圖形的插孔方法，還包括：
25、若所述可插入有向線段的終點是與所述第二內(nèi)孔的第二邊的交點，判斷所述可插入有向線段與所述第二邊的沿第一旋轉(zhuǎn)方向的夾角是否大于第二夾角閾值；
26、若否，則所述可插入有向線段的終點不能作為最優(yōu)插入點。
27、在其中一個實施例中，所述基于所述最優(yōu)插入點，對所述目標內(nèi)孔進行插孔處理，并將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓或者合并至所述第二內(nèi)孔，包括：
28、若所述最優(yōu)插入點是可插入線段與外輪廓的交點，則基于所述最優(yōu)插入點，以及所述最優(yōu)插入點所屬可插入有向線段的起點，將所述目標內(nèi)孔的頂點合并至所述外輪廓的頂點并調(diào)整所述外輪廓的頂點排列順序，實現(xiàn)將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓，完成對所述目標內(nèi)孔的插孔處理；
29、若所述最優(yōu)插入點是可插入線段與所述第二內(nèi)孔的交點，則基于所述最優(yōu)插入點，以及所述最優(yōu)插入點所屬可插入有向線段的起點，將所述目標內(nèi)孔的頂點合并至所述第二內(nèi)孔的頂點并調(diào)整所述第二內(nèi)孔的頂點排列順序，實現(xiàn)將所述目標內(nèi)孔合并至所述第二內(nèi)孔，完成對所述目標內(nèi)孔的插孔處理，且更新后的所述第二內(nèi)孔作為待插孔處理的內(nèi)孔；
30、其中，所述外輪廓是包括按第一旋轉(zhuǎn)方向排列的多個頂點的多邊形；基于所述頂點的排列順序，對所述外輪廓中的頂點進行編號。
31、在其中一個實施例中，基于所述最優(yōu)插入點，以及所述最優(yōu)插入點所屬可插入有向線段的起點，將所述目標內(nèi)孔的頂點合并至所述外輪廓的頂點并調(diào)整所述外輪廓的頂點排列順序，實現(xiàn)將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓，完成對所述目標內(nèi)孔的插孔處理，包括：
32、創(chuàng)建空的結(jié)果多邊形；
33、將編號在所述最優(yōu)插入點之前的所述外輪廓中的頂點，按序放入作為所述結(jié)果多邊形的頂點；
34、將所述最優(yōu)插入點放入作為所述結(jié)果多邊形的頂點；
35、將編號在所述起點之前的所述目標內(nèi)孔中的頂點以及所述起點，逆序放入本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
1.一種版圖圖形的插孔方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，從所述與外輪廓的交點和/或與所述第二內(nèi)孔的交點中確定一個所述目標內(nèi)孔的最優(yōu)插入點，包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定所述目標內(nèi)孔的所有可插入有向線段，包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點及其相鄰頂點，分別生成所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點的可插入方向，包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述最優(yōu)插入點，對所述目標內(nèi)孔進行插孔處理，并將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓或者合并至所述第二內(nèi)孔，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，基于所述最優(yōu)插入點，以及所述最優(yōu)插入點所屬可插入有向線段的起點，將所述目標內(nèi)孔的頂點合并至所述外輪廓的頂點并調(diào)整所述外輪廓的頂點排列順序，實現(xiàn)將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓，完成對所述目標內(nèi)孔的插孔處理，包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，基于所述最優(yōu)插入點，以及所述最優(yōu)插入點所屬可插入有向線段的起點，將所述目標內(nèi)孔的頂點合并至所述第二內(nèi)孔的頂點并調(diào)整所述第二內(nèi)孔的頂點排列順序，實現(xiàn)將所述目標內(nèi)孔合并至所述第二內(nèi)孔，完成對所述目標內(nèi)孔的插孔處理，且更新后的所述第二內(nèi)孔作為待插孔處理的內(nèi)孔，包括：
10.一種版圖圖形的插孔裝置，其特征在于，所述版圖圖形的插孔裝置包括：
11.一種計算機可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)權(quán)利要求1至權(quán)利要求9中任一項所述的方法的步驟。
12.一種化學機械拋光仿真方法，其特征在于，包括步驟：
...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種版圖圖形的插孔方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，從所述與外輪廓的交點和/或與所述第二內(nèi)孔的交點中確定一個所述目標內(nèi)孔的最優(yōu)插入點，包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定所述目標內(nèi)孔的所有可插入有向線段，包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點及其相鄰頂點，分別生成所述目標內(nèi)孔中預(yù)設(shè)頂點的可插入方向，包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述最優(yōu)插入點，對所述目標內(nèi)孔進行插孔處理，并將所述目標內(nèi)孔更新至所述外輪廓或者合并至所述第二內(nèi)孔，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，基于所述最優(yōu)插入點，以...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：郭瑞琦，張永博，
申請(專利權(quán))人：杭州廣立微電子股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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