【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體加熱器領域，具體涉及一種半導體加熱器漏氣檢測設備。
技術介紹
1、半導體加熱器是一種新型的加熱設備，它采用半導體材料作為加熱元件，通常采用硅、碳化硅、氮化硅等材料。這些材料具有良好的熱傳導性能和高溫穩定性，可以承受高溫環境下的工作，當電流通過加熱元件時，通過電流的作用使半導體材料發熱，從而實現加熱的目的。相比傳統的加熱設備，半導體加熱器具有更高的效率、更快的響應速度、更精確的溫度控制和更小的體積等優點，因此在工業、醫療、家電等領域得到了廣泛的應用。
2、半導體行業對于設備內部的氣密性要求非常高，因為一旦產生漏氣的情形，輕則導致工藝過程產品報廢，重則由于工藝過程中可能會產生有毒有害氣體，一旦發生泄露，將會造成事故或者人員傷亡。因此，在半導體的生產制備過程中，需要經常對設備的氣密性進行檢修，以保證生產過程中能達到工藝標準要求和生產安全性。
3、半導體加熱器在運行過程中通常使用高純度的氣體，比如氮氣、氬氣、氫氣等，作為加熱介質或者環境氣氛，在一些情況下，這些氣體可能會發生泄漏，尤其是在設備老化或者操作不當的情況下。如果發生泄漏，需要及時處理，避免對生產過程和操作人員造成影響，傳統的漏氣檢測方法通常人工進行抽真空，通過觀察其內部氣壓變化檢測是否漏氣，對可能產生漏氣的部位進行檢查修復，若產生多處漏點此種檢測方法則需要反復進行上述步驟，造成操作不便而且增加時間成本，此外，大多數技術人員會采用漏氣檢測儀放置在其設備內部進行漏氣檢測，此種檢測方法雖然能夠方便進行漏氣檢測，但對于一些跨度較大的半導體加熱器，
4、基于此，本技術提出一種半導體加熱器漏氣檢測設備來解決上述問題。
技術實現思路
1、本技術的目的在于克服現有技術中存在的上述不足，而提供一種結構設計合理，能夠根據不同區域泄露氣體的濃度大小自動停止，減少尋找漏氣位置所需時間的一種半導體加熱器漏氣檢測設備。
2、本技術解決上述問題所采用的技術方案是：一種半導體加熱器漏氣檢測設備，包括漏氣檢測儀、移動座以及固定架，所述的漏氣檢測儀固定在移動座上并設置有報警器，所述的移動座滑動設置在固定架上并通過固定架上設置有的第一驅動組件驅使滑動。
3、進一步的：所述的第一驅動組件包括第一驅動電機、傳動輪以及傳送帶，所述的第一驅動電機固定在固定架一側，所述的傳動輪設置在固定架另一側并通過傳送帶轉動連接，所述的固定架上設置有連接桿，所述的移動座固定在傳送帶上并滑動設置在固定架的連接桿上。
4、進一步的：所述的移動座上還設置有第二驅動組件，所述的第二驅動組件轉動連接漏氣檢測儀。
5、進一步的：所述的漏氣檢測儀還包括固定座、儀表盤、接線頭以及氣體檢測探頭，所述的儀表盤、接線頭、氣體檢測探頭以及報警器均轉動連接在固定座上。
6、進一步的：所述的固定座采用可拆卸結構連接第二驅動組件。
7、進一步的：所述的固定座內還設置有電池盒，所述的電池盒設置有多組且內部裝設有適配電池。
8、進一步的：所述的固定座上還轉動設置有安裝座，所述的安裝座上轉動設置有多組氣體檢測探頭。
9、進一步的：所述的安裝座內還設置有適配的空氣濾芯。
10、本技術與現有技術相比，具有以下優點和效果：
11、本技術是一種半導體加熱器漏氣檢測設備，在半導體加熱器運行過程中存在氣體泄露并達到一定的濃度時，所述的漏氣檢測儀可根據其泄露氣體含量大小通過報警器進行實時報警，第一驅動組件在報警器報警的第一時間停止運行，從而使得漏氣檢測儀在泄露氣體含量最高的位置停止，當檢修人員進行檢修時可根據漏氣檢測儀停止的區域進行具體位置的漏氣檢測，進一步減少檢修人員所需檢測的范圍，減少所需檢測時間，降低檢修難度，此種漏氣檢測設備可針對一定跨度的半導體加熱器進行漏氣檢測，在其第一驅動組件的驅動下進行移動漏氣檢測，只需一組漏氣檢測儀即可完成一定區域內的漏氣檢測，從而降低所需檢測設備成本和安裝時間，此外，所述的固定架可根據不同范圍內的使用需求進行加裝，同時配合驅動裝置實現移動座和漏氣檢測儀的橫向和縱向移動，從而進一步增加檢測范圍，滿足于不同的使用環境。
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1.一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：包括漏氣檢測儀、移動座以及固定架，所述的漏氣檢測儀固定在移動座上并設置有報警器，所述的移動座滑動設置在固定架上并通過固定架上設置有的第一驅動組件驅使滑動。
2.根據權利要求1所述的一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：所述的第一驅動組件包括第一驅動電機、傳動輪以及傳送帶，所述的第一驅動電機固定在固定架一側，所述的傳動輪設置在固定架另一側并通過傳送帶轉動連接，所述的固定架上設置有連接桿，所述的移動座固定在傳送帶上并滑動設置在固定架的連接桿上。
3.根據權利要求1所述的一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：所述的移動座上還設置有第二驅動組件，所述的第二驅動組件轉動連接漏氣檢測儀。
4.根據權利要求1所述的一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：所述的漏氣檢測儀還包括固定座、儀表盤、接線頭以及氣體檢測探頭，所述的儀表盤、接線頭、氣體檢測探頭以及報警器均轉動連接在固定座上。
5.根據權利要求4所述的一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：所述的固定座采用可拆卸結構連接第二驅動組件。<...
【技術特征摘要】
1.一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：包括漏氣檢測儀、移動座以及固定架，所述的漏氣檢測儀固定在移動座上并設置有報警器，所述的移動座滑動設置在固定架上并通過固定架上設置有的第一驅動組件驅使滑動。
2.根據權利要求1所述的一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：所述的第一驅動組件包括第一驅動電機、傳動輪以及傳送帶，所述的第一驅動電機固定在固定架一側，所述的傳動輪設置在固定架另一側并通過傳送帶轉動連接，所述的固定架上設置有連接桿，所述的移動座固定在傳送帶上并滑動設置在固定架的連接桿上。
3.根據權利要求1所述的一種半導體加熱器漏氣檢測設備，其特征在于：所述的移動座上還設置有第二驅動組件，所述的第二驅動組件轉動連接漏氣檢測儀。
4.根據權利要求1所述的一種半導體加...
【專利技術屬性】
技術研發人員：葛興非，
申請(專利權)人：杭州正豐半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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