一種外延生長設備MO源過濾裝置制造方法及圖紙

本技術公開了一種外延生長設備MO源過濾裝置，包括源瓶、進氣管、過渡管、出氣管和過濾器，源瓶上連接有進氣管和過渡管，過渡管與出氣管之間連接有過濾器，過濾器包括殼體和過濾網，過濾網設于殼體內部，且與殼體之間為可拆卸連接。本技術從源頭著手對源瓶中的大顆粒物進行過濾，有效避免或減少MO管道、MFC等器件出現MO源殘留而影響Alkyl?Flow?MFC性能，減少更換及復機的麻煩。本技術的過濾器、過濾網可自由拆裝，便于拆卸清洗或維護，使用方便，實用性強。

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于led芯片，具體涉及一種外延生長設備mo源過濾裝置。

技術介紹

1、由于mocvd生長過程中，外延生長設備的固態源瓶中顆粒物會隨mo源進入mo管道、mfc等器件，導致其內部出現殘留物，日積月累下會導致mo?source?mfc（alkyl?flow?mfc）達不到設定值而出現性能異常，從而影響到機臺正常量產。由于目前未對alkyl?flow?mfc達不到設定值的情況進行預防，待其發生異常后，必須安排更換，而更換后需要coating、曝氣、pm等手法進行復機，且復機較困難，一般需要1-10天，嚴重影響生產效率。因此，現亟需針對mo源進行過濾和預防處理，避免或減少因出現mo源殘留而導致alkyl?flow?mfc無法達到設定值需要更換及mocvd復機的麻煩。

技術實現思路

1、本技術針對
技術介紹
中的不足，提供了一種外延生長設備mo源過濾裝置，從源頭著手，對大體積顆粒物進行過濾，有效避免mo管道、mfc等器件出現mo源殘留而影響alkyl?flow?mfc性能，減少更換及復機的麻煩。

2、為實現上述目的，本技術技術解決方案如下：

3、一種外延生長設備mo源過濾裝置，其特征在于：包括源瓶、進氣管、過渡管、出氣管和過濾器，所述源瓶上連接有進氣管和過渡管，所述過渡管與出氣管之間連接有過濾器，所述過濾器包括殼體和過濾網，所述過濾網設于殼體內部，且與殼體之間為可拆卸連接。

4、優選的，所述過濾網與設在殼體上的插槽配合連接。

5、優選的，所述過濾網與插槽的連接處設有密封墊a。

6、優選的，所述過濾網的數量至少為兩個，至少兩個過濾網沿過mo源輸送方向間隔分布。

7、優選的，所述過濾網包括框架和設于框架內部的網體。

8、優選的，所述過濾器與過濾管、出氣管之間均連接有可拆卸的連接頭。

9、優選的，所述連接頭為可伸縮結構。

10、優選的，所述連接頭包括第一接頭、第二接頭和伸縮管，所述伸縮管連接于第一接頭和第二接頭之間。

11、優選的，所述第一接頭與過濾器的兩端插接配合，并通過螺釘鎖緊固定，且兩者的接頭處設有密封墊b。

12、優選的，所述第二接頭與過渡管或出氣管插接配合，并通過螺釘鎖緊固定，且兩者的接頭處設有密封墊c。

13、相對于現有技術，本技術有益效果如下：

14、（1）本技術通過增設過濾器，可對大顆粒物進行攔截，避免的mo管道、mfc等器件出現mo源殘留而影響alkyl?flow?mfc性能，有效減少其更換頻次和復機的麻煩，從而提高生產效率；

15、（2）本技術的過濾網與過濾器殼體可拆卸連接，便于拆卸清洗或維護，使用方便；而且過濾器殼體與過渡管、出氣管之間均可自由拆裝，大大提高了其實用性能。

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【技術保護點】

1.一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：包括源瓶、進氣管、過渡管、出氣管和過濾器，所述源瓶上連接有進氣管和過渡管，所述過渡管與出氣管之間連接有過濾器，所述過濾器包括殼體和過濾網，所述過濾網設于殼體內部，且與殼體之間為可拆卸連接。

2.如權利要求1所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網與設在殼體上的插槽配合連接。

3.如權利要求2所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網與插槽的連接處設有密封墊A。

4.如權利要求1所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網的數量至少為兩個，至少兩個過濾網沿過MO源輸送方向間隔分布。

5.如權利要求1至4任意一項所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網包括框架和設于框架內部的網體。

6.如權利要求1所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述過濾器與過濾管、出氣管之間均連接有可拆卸的連接頭。

7.如權利要求6所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述連接頭為可伸縮結構。</p>

8.如權利要求7所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述連接頭包括第一接頭、第二接頭和伸縮管，所述伸縮管連接于第一接頭和第二接頭之間。

9.如權利要求8所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述第一接頭與過濾器的兩端插接配合，并通過螺釘鎖緊固定，且兩者的接頭處設有密封墊B。

10.如權利要求8所述的一種外延生長設備MO源過濾裝置，其特征在于：所述第二接頭與過渡管或出氣管插接配合，并通過螺釘鎖緊固定，且兩者的接頭處設有密封墊C。

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【技術特征摘要】

1.一種外延生長設備mo源過濾裝置，其特征在于：包括源瓶、進氣管、過渡管、出氣管和過濾器，所述源瓶上連接有進氣管和過渡管，所述過渡管與出氣管之間連接有過濾器，所述過濾器包括殼體和過濾網，所述過濾網設于殼體內部，且與殼體之間為可拆卸連接。

2.如權利要求1所述的一種外延生長設備mo源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網與設在殼體上的插槽配合連接。

3.如權利要求2所述的一種外延生長設備mo源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網與插槽的連接處設有密封墊a。

4.如權利要求1所述的一種外延生長設備mo源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網的數量至少為兩個，至少兩個過濾網沿過mo源輸送方向間隔分布。

5.如權利要求1至4任意一項所述的一種外延生長設備mo源過濾裝置，其特征在于：所述過濾網包括框架和設于框架內...

【專利技術屬性】
技術研發人員：徐志軍，饒曉松，張成旺，江漢，劉勇，謝陶，
申請(專利權)人：聚燦光電科技宿遷有限公司，
類型：新型
國別省市：