【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)屬于晶圓運輸，尤其涉及一種用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置及晶圓運輸設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、自動存儲倉庫stocker是一種智能化的貨物儲存和管理系統(tǒng)，通常由計算機控制和管理。這種倉庫系統(tǒng)采用自動化技術(shù)和設(shè)備來存儲、管理和分揀貨物，如傳送帶、機器人和自動掃描設(shè)備等。stocker可以高效地完成貨物的儲存、揀選和配送等工作，同時可以降低人力成本、提高物流效率，減少錯誤率。stocker廣泛應(yīng)用于電子商務(wù)、物流配送、零售、醫(yī)藥等行業(yè)，成為現(xiàn)代物流管理的重要組成部分。
2、晶圓是指在集成電路制造中使用的一種基礎(chǔ)材料，通常是由單晶硅片制成的圓形薄片。晶圓上可以制造出微小的電子元件，如晶體管、電容器和電阻器等，是現(xiàn)代電子產(chǎn)品中不可或缺的元件。晶圓盒是一種用于存儲和保護晶圓的容器。
3、晶圓盒一般的也是通過自動存儲倉庫stocker進行存儲，但是用于存儲晶圓盒的自動存儲倉庫stocker一般會比較狹小，存儲空間有限。一般情況下為：左右兩側(cè)設(shè)置兩排用于放置晶圓盒的庫柜，庫柜上排列設(shè)置有很多隔間以分別放置晶圓盒，其中一個隔間設(shè)置成用于投放和取出的窗口；兩排庫柜之間設(shè)置直線驅(qū)動裝置、堆垛機和運輸設(shè)備，直線驅(qū)動裝置帶動堆垛機在兩排庫柜之間的路徑上移動，堆垛機通過伸縮帶動運輸設(shè)備上下移動以達到不同層的隔間，運輸設(shè)備包括安裝板、機械臂和驅(qū)動裝置，安裝板固連在堆垛機的輸出端，機械臂安裝于安裝板的上方，驅(qū)動裝置中的動力源(如電機等)設(shè)于安裝板的下方，驅(qū)動裝置中的傳動部分(例如同步帶傳動等)設(shè)于安裝板的上方，動力源通過傳動部分驅(qū)動機械臂活
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本技術(shù)主要針對現(xiàn)有技術(shù)中的驅(qū)動裝置部分進行改進，提供一種新的用于晶圓機械臂的的驅(qū)動裝置，使得庫柜上可以設(shè)置更多的隔間以存儲更多的晶圓盒。本技術(shù)還基于新的用于晶圓機械臂的的驅(qū)動裝置，提供一種新的晶圓運輸設(shè)備。
2、本技術(shù)的技術(shù)方案為：
3、一種用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，包括安裝板、第一驅(qū)動機構(gòu)、第二驅(qū)動機構(gòu)和主傳動機構(gòu)，所述主傳動機構(gòu)包括第一主傳動部和第二主傳動部；所述安裝板具有相對的第一側(cè)和第二側(cè)；
4、所述第一驅(qū)動機構(gòu)安裝于所述安裝板的第一側(cè)；所述第一主傳動部穿設(shè)所述安裝板，所述第一主傳動部的輸入端位于所述安裝板的第一側(cè)并與所述第一驅(qū)動機構(gòu)的輸出端連接，所述第一主傳動部的輸出端位于所述安裝板的第二側(cè)并在所述第一驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動下可相對所述安裝板自轉(zhuǎn)；所述第一主傳動部的輸出端用于連接外部晶圓機械臂，所述第一主傳動部的輸出端的自轉(zhuǎn)用于帶動外部晶圓機械臂相對所述安裝板轉(zhuǎn)動；
5、所述第一主傳動部具有沿其輸出端的自轉(zhuǎn)軸線設(shè)置的貫穿孔，且所述貫穿孔穿設(shè)所述安裝板，所述貫穿孔用于外部晶圓機械臂上的傳動輸入軸的穿設(shè)，以使該傳動輸入軸達到所述安裝板的第一側(cè)；
6、所述第二驅(qū)動機構(gòu)安裝于所述安裝板的第一側(cè)，所述第二主傳動部設(shè)于所述安裝板的第一側(cè)；所述第二驅(qū)動機構(gòu)的輸出端與所述第二主傳動部連接，用于驅(qū)動所述第二主傳動部運動；所述第二主傳動部與該傳動輸入軸連接，所述第二主傳動部用于在所述第二驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動下帶動該傳動輸入軸轉(zhuǎn)動。
7、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述第一驅(qū)動機構(gòu)設(shè)于所述貫穿孔的周向的一側(cè)；所述第二主傳動部設(shè)于所述貫穿孔的軸向上。
8、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述第一驅(qū)動機構(gòu)包括第一電機和第一主動齒輪，所述第一電機的輸出端與所述第一主動齒輪連接，用于驅(qū)動所述第一主動齒輪轉(zhuǎn)動；所述第一主傳動部的輸入端為第一被動齒輪，所述第一主動齒輪和所述第一被動齒輪嚙合傳動。
9、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述安裝板水平設(shè)置，所述安裝板的第一側(cè)為所述安裝板下方的一側(cè)，所述安裝板的第二側(cè)為所述安裝板上方的一側(cè)；
10、所述第一驅(qū)動機構(gòu)還包括第一吊板和第一連接板，所述第一連接板上端固定連接所述安裝板，所述第一連接板的下端固定連接所述第一吊板，所述第一吊板水平設(shè)置；
11、所述第一電機安裝于所述第一吊板且位于所述第一吊板下方，所述第一電機的輸出軸穿設(shè)所述第一吊板；所述第一主動齒輪位于所述第一吊板和所述安裝板之間，所述第一主動齒輪與所述第一電機的輸出軸固定連接并與其繞同一轉(zhuǎn)動軸線同步轉(zhuǎn)動。
12、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述第一主傳動部包括第一被動齒輪和第一減速機，所述第一減速機安裝于所述安裝板并位于所述安裝板的第一側(cè)，所述第一減速機的輸入軸與所述第一被動齒輪連接；
13、所述第一驅(qū)動機構(gòu)的輸出端與所述第一被動齒輪連接，用于驅(qū)動所述第一被動齒輪轉(zhuǎn)動以驅(qū)動所述第一減速機的輸入軸轉(zhuǎn)動；
14、所述第一減速機的輸出軸穿設(shè)所述安裝板伸出至所述安裝板的第二側(cè)并用于與外部晶圓機械臂連接；
15、所述貫穿孔經(jīng)過所述第一減速機的輸出軸、所述第一減速機的輸入軸、所述第一被動齒輪。
16、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述第一減速機的輸出軸上連接有安裝法蘭，所述安裝法蘭用于與外部晶圓機械臂連接。
17、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述第二主傳動部包括第二被動齒輪，所述第二被動齒輪設(shè)于所述貫穿孔的軸向上，所述第二被動齒輪用于與外部晶圓機械臂上的傳動輸入軸固定連接，且所述第二被動齒輪和該傳動輸入軸繞同一轉(zhuǎn)動軸線同步轉(zhuǎn)動；
18、所述第二驅(qū)動機構(gòu)設(shè)于所述貫穿孔的周向的一側(cè)，所述第二驅(qū)動機構(gòu)的輸出端與所述第二被動齒輪連接，用于驅(qū)動所述第二被動齒輪轉(zhuǎn)動。
19、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述第二驅(qū)動機構(gòu)包括第二電機、第二減速機和第二主動齒輪；所述第二電機的輸出軸與所述第二減速機的輸入端連接，所述第二減速機的輸出端與所述第二主動齒輪連接，所述第二主動齒輪與所述第二被動齒輪嚙合連接。
20、某一實施例提供的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置中，所述安裝板水平設(shè)置，所述安裝板的第一側(cè)為所述安裝板下方的一側(cè)，所述安裝板的第二側(cè)為所述安裝板上方的一側(cè)；
21、所述第二驅(qū)動機構(gòu)還包括第二吊板和第二連接板，所述第二連接板上端固定連接所述安裝板，所述第二連接板的下端固定連接所述第二吊板，所述第二吊板水平設(shè)置；
22、所述第二電機安裝于所述第二吊板且位于所述第二吊板下方，所述第二電機的輸出軸穿設(shè)所述第二吊板；所述第二減速機安裝于所述第二吊板且位于所述第二吊板和所述安裝板之間，所述第二減速機的輸入端與所述第二電機的輸出軸連接；所述第二主動齒輪位于所述第二減速機和所述安裝板之間。
23、一種晶圓運輸設(shè)備，包括晶圓機械臂和如上述任意一項所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，所述晶圓機械臂位于所述安裝本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
1.一種用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，包括安裝板、第一驅(qū)動機構(gòu)、第二驅(qū)動機構(gòu)和主傳動機構(gòu)，所述主傳動機構(gòu)包括第一主傳動部和第二主傳動部；所述安裝板具有相對的第一側(cè)和第二側(cè)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構(gòu)設(shè)于所述貫穿孔的周向的一側(cè)；所述第二主傳動部設(shè)于所述貫穿孔的軸向上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構(gòu)包括第一電機和第一主動齒輪，所述第一電機的輸出端與所述第一主動齒輪連接，用于驅(qū)動所述第一主動齒輪轉(zhuǎn)動；所述第一主傳動部的輸入端為第一被動齒輪，所述第一主動齒輪和所述第一被動齒輪嚙合傳動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述安裝板水平設(shè)置，所述安裝板的第一側(cè)為所述安裝板下方的一側(cè)，所述安裝板的第二側(cè)為所述安裝板上方的一側(cè)；
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一主傳動部包括第一被動齒輪和第一減速機，所述第一減速機安裝于所述安裝板并位于所述安裝板的第一側(cè)，所述第一減速機的輸
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一減速機的輸出軸上連接有安裝法蘭，所述安裝法蘭用于與外部晶圓機械臂連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第二主傳動部包括第二被動齒輪，所述第二被動齒輪設(shè)于所述貫穿孔的軸向上，所述第二被動齒輪用于與外部晶圓機械臂上的傳動輸入軸固定連接，且所述第二被動齒輪和該傳動輸入軸繞同一轉(zhuǎn)動軸線同步轉(zhuǎn)動；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動機構(gòu)包括第二電機、第二減速機和第二主動齒輪；所述第二電機的輸出軸與所述第二減速機的輸入端連接，所述第二減速機的輸出端與所述第二主動齒輪連接，所述第二主動齒輪與所述第二被動齒輪嚙合連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述安裝板水平設(shè)置，所述安裝板的第一側(cè)為所述安裝板下方的一側(cè)，所述安裝板的第二側(cè)為所述安裝板上方的一側(cè)；
10.一種晶圓運輸設(shè)備，其特征在于，包括晶圓機械臂和如權(quán)利要求1至9任意一項所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，所述晶圓機械臂位于所述安裝板的第一側(cè)；
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，包括安裝板、第一驅(qū)動機構(gòu)、第二驅(qū)動機構(gòu)和主傳動機構(gòu)，所述主傳動機構(gòu)包括第一主傳動部和第二主傳動部；所述安裝板具有相對的第一側(cè)和第二側(cè)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構(gòu)設(shè)于所述貫穿孔的周向的一側(cè)；所述第二主傳動部設(shè)于所述貫穿孔的軸向上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構(gòu)包括第一電機和第一主動齒輪，所述第一電機的輸出端與所述第一主動齒輪連接，用于驅(qū)動所述第一主動齒輪轉(zhuǎn)動；所述第一主傳動部的輸入端為第一被動齒輪，所述第一主動齒輪和所述第一被動齒輪嚙合傳動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述安裝板水平設(shè)置，所述安裝板的第一側(cè)為所述安裝板下方的一側(cè)，所述安裝板的第二側(cè)為所述安裝板上方的一側(cè)；
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓機械臂的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一主傳動部包括第一被動齒輪和第一減速機，所述第一減速機安裝于所述安裝板并位于所述安裝板的第一側(cè)，所述第一減速機的輸入軸與所述第一被動齒輪連接；
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：蒲宗杰，趙萌，
申請(專利權(quán))人：尊芯智能科技蘇州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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