【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及晶圓缺陷檢測(cè)，特別涉及一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形，故被稱為晶圓。晶圓是生產(chǎn)集成電路（ic）的重要載體，通過(guò)在其上加工制作各種電路元件結(jié)構(gòu)，最終形成具有特定電性功能的ic產(chǎn)品。
2、晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中，受工藝條件，制造出的少量晶圓其表面會(huì)出現(xiàn)污點(diǎn)、氣泡、凹洞
3、等缺陷，故需要對(duì)其進(jìn)行表面缺陷檢測(cè)，以剔除不良產(chǎn)品，現(xiàn)有的一般采用視覺(jué)成像（采用視覺(jué)成像檢測(cè)頭對(duì)晶圓表面進(jìn)行視覺(jué)成像并將成像后圖片與合格晶圓圖像進(jìn)行比對(duì)，以剔除不良產(chǎn)品）技術(shù)對(duì)輸送線上的晶圓進(jìn)行檢測(cè)，為保證成像效果，當(dāng)晶圓運(yùn)輸至檢測(cè)點(diǎn)位時(shí)，輸送線會(huì)停止運(yùn)動(dòng)，此時(shí)間內(nèi)視覺(jué)成像設(shè)備對(duì)晶圓表面進(jìn)行拍照（視覺(jué)成像設(shè)備要想成像清晰，需要保持其與晶圓相對(duì)靜止一段時(shí)間，即需要一定的反應(yīng)時(shí)間），待視覺(jué)檢測(cè)完畢后，輸送線又開(kāi)始運(yùn)動(dòng)會(huì)，導(dǎo)致整個(gè)晶圓檢測(cè)效率低下，故此，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備來(lái)滿足需求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)的目的在于提供一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中晶圓缺陷檢測(cè)效果低下的技術(shù)問(wèn)題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案：一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，包括第一鏈板式輸送機(jī)、第二鏈板式輸送機(jī)和兩組視覺(jué)成像檢測(cè)單元；
3、所述第一鏈板式輸送機(jī)位于所述第二鏈板式輸送機(jī)的上方，所述第一鏈板式輸送機(jī)和所述第二鏈板式輸送機(jī)的鏈板上均等間隔設(shè)置有多個(gè)晶圓放置板，且每個(gè)
4、兩個(gè)所述視覺(jué)成像檢測(cè)單元分別安裝在所述第一鏈板式輸送機(jī)和所述第二鏈板式輸送機(jī)上；
5、兩個(gè)所述視覺(jué)成像檢測(cè)單元分別用于檢測(cè)連續(xù)移動(dòng)中的單個(gè)晶圓放置板上晶圓正反面缺陷。
6、作為本實(shí)施例中的一種優(yōu)選地實(shí)施方式，所述視覺(jué)成像檢測(cè)單元包括安裝在u形板上的視覺(jué)成像檢測(cè)頭、安裝有限位桿的安裝板、滑動(dòng)安裝在所述晶圓放置板側(cè)端的接觸桿以及帶動(dòng)所述接觸桿相對(duì)所述晶圓放置板做伸縮運(yùn)動(dòng)的弧形板；
7、所述u形板的側(cè)壁上固定有滑板，且所述滑板滑動(dòng)套設(shè)在所述限位桿上；
8、所述接觸桿通過(guò)位于所述晶圓放置板內(nèi)腔的連接彈簧與所述晶圓放置板連接，所述接觸桿的下端相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有兩個(gè)轉(zhuǎn)桿，且兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿之間形成限位間隙，且此所述限位間隙與所述弧形板的厚度一致，所述接觸桿與所述u形板側(cè)端接觸的接觸面上安裝有第一彈性磁墊；
9、所述u形板的兩下端底部均設(shè)有滾珠；
10、所述安裝板上遠(yuǎn)離所述滑板的一端上安裝有可與所述滑板端面形成擠壓接觸的復(fù)位彈簧；
11、所述滑板的側(cè)端以及所述安裝板上分別相對(duì)設(shè)置有第三彈性磁墊和第二彈性磁墊。
12、作為本實(shí)施例中的一種優(yōu)選地實(shí)施方式，還包括減速單元，用于對(duì)進(jìn)行復(fù)位運(yùn)動(dòng)的u形板進(jìn)行減速，使得其平穩(wěn)恢復(fù)原位并停止運(yùn)動(dòng)。
13、作為本實(shí)施例中的一種優(yōu)選地實(shí)施方式，所述減速單元包括所述安裝板的安裝條上安裝的減速磁體以及安裝在所述滑板外壁上的永磁體，所述減速磁體與所述永磁體相對(duì)設(shè)置，且相對(duì)端磁極相同，所述減速磁體和所述永磁體均設(shè)置在回形隔磁罩內(nèi)，所述減速磁體遠(yuǎn)離所述復(fù)位彈簧設(shè)置。
14、作為本實(shí)施例中的一種優(yōu)選地實(shí)施方式，所述減速磁體包括若干個(gè)呈一字型排列的減速永磁體，多個(gè)所述減速永磁體的磁性逐漸變大，靠近所述復(fù)位彈簧，所述減速磁體的磁性就越小。
15、作為本實(shí)施例中的一種優(yōu)選地實(shí)施方式，還包括磁力屏蔽單元，用于屏蔽所述減速磁體與所述永磁體之間的磁力作用。
16、作為本實(shí)施例中的一種優(yōu)選地實(shí)施方式，所述磁力屏蔽單元包括橫向貫穿所述永磁體所在隔磁罩的隔磁板以及分別設(shè)置在所述安裝條上的第一擋板和第二擋板，所述隔磁板設(shè)置有與所述永磁體適配的透磁孔，所述隔磁板的兩端上均設(shè)有半圓形結(jié)構(gòu)的彈性定位柱，所述隔磁罩的兩側(cè)壁上均設(shè)置有定位板，且所述定位板上設(shè)置有與所述彈性定位柱適配的定位槽。
17、綜上，本專利技術(shù)的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：
18、本專利技術(shù)結(jié)構(gòu)合理，本專利技術(shù)可連續(xù)不間斷對(duì)晶圓地正反面進(jìn)行視覺(jué)缺陷檢測(cè)，可大大提高檢測(cè)效率；
19、本專利技術(shù)中，設(shè)置減速單元，配合第二彈性磁墊和第三彈性磁墊，可使得u形板快速平穩(wěn)停止運(yùn)動(dòng)；
20、本你專利技術(shù)中，還包括磁力屏蔽單元，當(dāng)u形板靠近復(fù)位彈簧的運(yùn)動(dòng)，可屏蔽減速段的磁力作用，減小晶圓放置板的運(yùn)動(dòng)阻力，降低輸送機(jī)的輸送能耗同時(shí)防止得u形板相對(duì)晶圓位移不斷發(fā)生改變，有利于快速形成清晰地影像以及檢測(cè)精度地提高。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：包括第一鏈板式輸送機(jī)（1）、第二鏈板式輸送機(jī)（2）和兩組視覺(jué)成像檢測(cè)單元（5）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：所述視覺(jué)成像檢測(cè)單元（5）包括安裝在U形板（51）上的視覺(jué)成像檢測(cè)頭（52）、安裝有限位桿（55）的安裝板（54）、滑動(dòng)安裝在所述晶圓放置板（3）側(cè)端的接觸桿（57）以及帶動(dòng)所述接觸桿（57）相對(duì)所述晶圓放置板（3）做伸縮運(yùn)動(dòng)的弧形板（511）；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：還包括減速單元，用于對(duì)進(jìn)行復(fù)位運(yùn)動(dòng)的U形板（51）進(jìn)行減速，使得其平穩(wěn)恢復(fù)原位并停止運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：所述減速單元包括所述安裝板（54）的安裝條上安裝的減速磁體（513）以及安裝在所述滑板（53）外壁上的永磁體（514），所述減速磁體（513）與所述永磁體（514）相對(duì)設(shè)置，且相對(duì)端磁極相同，所述減速磁體（513）和所述永磁體（514）均設(shè)置在回形隔磁罩內(nèi)，所述減速磁體（513）遠(yuǎn)離所述復(fù)位
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：所述減速磁體（513）包括若干個(gè)呈一字型排列的減速永磁體，多個(gè)所述減速永磁體的磁性逐漸變大，靠近所述復(fù)位彈簧（56），所述減速磁體（513）的磁性就越小。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：還包括磁力屏蔽單元，用于屏蔽所述減速磁體（513）與所述永磁體（514）之間的磁力作用。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：所述磁力屏蔽單元包括橫向貫穿所述永磁體（514）所在隔磁罩的隔磁板（8）以及分別設(shè)置在所述安裝條上的第一擋板（6）和第二擋板（7），所述隔磁板（8）設(shè)置有與所述永磁體（514）適配的透磁孔（9），所述隔磁板（8）的兩端上均設(shè)有半圓形結(jié)構(gòu)的彈性定位柱（10），所述隔磁罩的兩側(cè)壁上均設(shè)置有定位板（11），且所述定位板（11）上設(shè)置有與所述彈性定位柱（10）適配的定位槽。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：包括第一鏈板式輸送機(jī)（1）、第二鏈板式輸送機(jī)（2）和兩組視覺(jué)成像檢測(cè)單元（5）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：所述視覺(jué)成像檢測(cè)單元（5）包括安裝在u形板（51）上的視覺(jué)成像檢測(cè)頭（52）、安裝有限位桿（55）的安裝板（54）、滑動(dòng)安裝在所述晶圓放置板（3）側(cè)端的接觸桿（57）以及帶動(dòng)所述接觸桿（57）相對(duì)所述晶圓放置板（3）做伸縮運(yùn)動(dòng)的弧形板（511）；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：還包括減速單元，用于對(duì)進(jìn)行復(fù)位運(yùn)動(dòng)的u形板（51）進(jìn)行減速，使得其平穩(wěn)恢復(fù)原位并停止運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓雙面連續(xù)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：所述減速單元包括所述安裝板（54）的安裝條上安裝的減速磁體（513）以及安裝在所述滑板（53）外壁上的永磁體（514），所述減速磁體（513）與所述永磁體（514）相對(duì)設(shè)置，且相對(duì)端磁極相同，所述減速磁體（513）和所述永磁體（5...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：肖飛，宋雅林，孫臣，陳俊，余東升，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：安徽富樂(lè)德長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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