【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術涉及曝光機，具體涉及一種曝光機投影鏡頭系統(tǒng)及高效率曝光機。
技術介紹
1、數(shù)字dmd曝光機的曝光原理是通過dmd（digital?micromirror?device，數(shù)字微鏡裝置）接收高強度的激光照射，經(jīng)處理形成高清的曝光圖案而受到廣泛應用。
2、為了保證曝光效果，需要使激光照射達到一定強度，而在通過dmd對部分光反射進入光學成像系統(tǒng)的同時，另一部分高強度的光就會轉(zhuǎn)化為熱能使得dmd升溫較高，就需要及時進行降溫，現(xiàn)有的常規(guī)解決方式是：通過金屬散熱體與dmd數(shù)字微鏡背面接觸，然后通入冷風或冷水將與金屬散熱體接觸，將熱量帶走，由于金屬散熱體與dmd外殼接觸時，會存在金屬散熱體不平整的問題或間隙等原因造成金屬散熱體不可能與dmd外殼完全融合接觸，導致熱量無法及時地被金屬散熱體吸收，同時風冷或水冷的效果有限，就會導致dmd數(shù)字微鏡的溫度較高，嚴重時會導致dmd燒毀，無法繼續(xù)使用；
3、為了保證把dmd模塊溫度控制在30度以下，現(xiàn)有的常規(guī)解決方式進行散熱，其dmd模塊可以承受的激光照射功率在40w以下；現(xiàn)有的通過水冷散熱方式進行散熱，其dmd模塊可以承受的激光照射功率在80w以下；兩種方式的冷卻方式都無法使dmd承受更高的激光功率。
技術實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術存在的散熱效果不佳的不足，本專利技術的目的在于提供一種對dmd模塊散熱降溫效果良好的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)及高效率曝光機。
2、為解決上述問題，本專利技術提供如下技術方案：
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4、激光模塊，用于發(fā)射光信號；
5、dmd組件，用于接受光信號并經(jīng)過處理再反射到鏡頭裝置；
6、鏡頭裝置，用于對光信號進行投射；
7、冷卻液冷卻組件，安裝于所述dmd組件，并用于對所述dmd組件降溫；
8、冷卻液控制組件，與所述冷卻液冷卻組件連接，用于控制所述冷卻液冷卻組件中冷卻液的流速和/或溫度，從而控制所述dmd組件溫度在預設溫度范圍。
9、在一些實施例中，所述激光模塊在使用時功率為100w以上。
10、在一些實施例中，所述dmd組件包括微鏡芯片模塊；
11、所述冷卻液冷卻組件包括收容冷卻液的腔體以及與所述腔體連通的第一進液管和第一出液管；所述腔體包括外側壁以及由外側壁圍繞形成的第一開口；
12、所述冷卻液冷卻組件中的液體通過第一開口與所述微鏡芯片模塊直接接觸，以對所述微鏡芯片模塊降溫。
13、在一些實施例中，所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊相連，所述冷卻液冷卻組件還包括密封件，所述密封件用于密封所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊之間的連接處。
14、在一些實施例中，所述dmd組件還包括dmd數(shù)據(jù)載板、dmd集成電路板、固定壓板和dmd數(shù)據(jù)卡接頭；
15、所述dmd數(shù)據(jù)卡接頭安裝于所述dmd數(shù)據(jù)載板；
16、所述dmd數(shù)據(jù)載板、所述dmd集成電路板和所述固定壓板位于所述冷卻液冷卻組件所處所述微鏡芯片模塊的同側；所述固定壓板上設有第一讓位孔，所述dmd數(shù)據(jù)載板上設有第二讓位孔，所述dmd集成電路板上設有第三讓位孔，所述冷卻液冷卻組件依次穿過所述第一讓位孔、所述第二讓位孔和所述第三讓位孔與所述微鏡芯片模塊直接接觸。
17、在一些實施例中，所述冷卻液冷卻組件還包括壓力裝置；?所述壓力裝置包括緊固螺栓、壓簧和安裝于所述冷卻液冷卻組件外的擠壓板；
18、所述緊固螺栓穿過所述擠壓板與所述dmd組件安裝固定；
19、所述壓簧套設在所述緊固螺栓；所述壓簧經(jīng)所述擠壓板使冷卻液冷卻組件與所述微鏡芯片之間存在擠壓力，所述擠壓力使密封件緊密密封所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊之間的連接處。
20、在一些實施例中，所述dmd組件包括微鏡芯片模塊；
21、所述冷卻液冷卻組件包括收容冷卻液的冷卻腔室以及收容在所述冷卻腔室的抽風管、隔熱棉和多組指向所述微鏡芯片模塊的冷凝管；所述冷卻腔室包括外側壁以及由外側壁圍繞形成的第二開口；
22、多組所述冷凝管在所述微鏡芯片模塊上均勻布置，每個所述冷凝管為u形管，所述冷凝管的底部與所述微鏡芯片模塊直接接觸；
23、每個所述冷凝管的第二進液管外側經(jīng)所述隔熱棉包裹，所述隔熱棉將熱量隔離在所述第二進液管的外側；
24、每個所述第二進液管的進液端連通；
25、每個所述冷凝管的第二出液管外套設有一個抽風管，所述抽風管將所述第二出液管散出的熱量及時抽出；
26、每個所述第二出液管的出液端連通；
27、每個所述第二出液管套設的所述抽風管上端連通。
28、在一些實施例中，所述曝光機投影鏡頭系統(tǒng)還包括用于對所述dmd組件的位置進行調(diào)整的調(diào)節(jié)組件；所述調(diào)節(jié)組件包括固定板、調(diào)節(jié)板和安裝板；
29、所述固定板安裝于所述鏡頭裝置；
30、所述調(diào)節(jié)板可相對所述固定板水平轉(zhuǎn)動；
31、所述安裝板可相對所述固定板上下移動，所述dmd組件安裝于所述安裝板。
32、在一些實施例中，所述調(diào)節(jié)板上開設有同圓心的弧形槽，所述固定板上固定有與所述弧形槽一一對應的限位件，所述調(diào)節(jié)板經(jīng)所述限位件水平旋轉(zhuǎn)；
33、所述安裝板上周側裝有多個上下移動的調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓數(shù)量大于等于3個，所述多個調(diào)節(jié)螺栓軸向平行且軸線不在一個平面上，所述調(diào)節(jié)螺栓上下移動帶動所述安裝板對應位置上下移動。
34、在一些實施例中，基座；
35、工作臺，所述工作臺安裝于基座上并用于承載待曝光件；
36、所述鏡頭裝置將光信號進行投射到所述工作臺上的待曝光件。
37、本專利技術的有益效果是：通過冷卻液冷卻組件安裝于dmd組件，并與微鏡芯片模塊直接接觸；再經(jīng)冷卻液控制組件控制冷卻液冷卻組件中冷卻液的流速和/或溫度，使微鏡芯片模塊溫度不超過30度，通過使微鏡芯片模塊在冷卻液直接作用的條件下快速降溫，保證微鏡芯片模塊不會因溫度過高損壞，同時溫度的降低也能使dmd模塊能夠承受100w-180w的溫度的激光功率，使曝光效果更好。
38、當采用多組冷凝的排列式設計，又加上隔熱棉和抽風管的配合使用，即達到快速降溫的效果，又使微鏡芯片模塊上任意位置的溫度相同，使其在曝光時保證穩(wěn)定性。
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1.一種曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述激光模塊在使用時功率為100W以上。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述DMD組件包括微鏡芯片模塊；
4.根據(jù)權利要求3所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊相連，所述冷卻液冷卻組件還包括密封件，所述密封件用于密封所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊之間的連接處。
5.根據(jù)權利要求3所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述DMD組件還包括DMD數(shù)據(jù)載板、DMD集成電路板、DMD數(shù)據(jù)卡接頭和固定壓板；
6.?根據(jù)權利要求3所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述冷卻液冷卻組件還包括壓力裝置；?所述壓力裝置包括緊固螺栓、壓簧和安裝于所述冷卻液冷卻組件外的擠壓板；
7.根據(jù)權利要求1或2所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述DMD組件包括微鏡芯片模塊；
8.根據(jù)權利要求1所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述曝光機投影鏡頭系
9.根據(jù)權利要求8所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述調(diào)節(jié)板上開設有同圓心的弧形槽，所述固定板上固定有與所述弧形槽一一對應的限位件，所述調(diào)節(jié)板經(jīng)所述限位件水平旋轉(zhuǎn)；
10.一種高效率曝光機，其特征在于，所述曝光機包括：
...【技術特征摘要】
1.一種曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述激光模塊在使用時功率為100w以上。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述dmd組件包括微鏡芯片模塊；
4.根據(jù)權利要求3所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊相連，所述冷卻液冷卻組件還包括密封件，所述密封件用于密封所述腔體的外側壁與所述微鏡芯片模塊之間的連接處。
5.根據(jù)權利要求3所述的曝光機投影鏡頭系統(tǒng)，其特征在于：所述dmd組件還包括dmd數(shù)據(jù)載板、dmd集成電路板、dmd數(shù)據(jù)卡接頭和固定壓板；
6.?根據(jù)權利要求3所述的曝光機投...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：陳志特，王華，吳中海，
申請(專利權)人：廣東科視光學技術股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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