【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體加工制造，更具體地，涉及一種艙門壓緊機構及密封艙門。
技術介紹
1、半導體材料作為半導體及微電子工業的基礎，經過不斷的升級和演進已經得到了極大的發展。其生產工藝過程中通常需要用到密封的腔室，以隔絕外界影響，并可通過向密閉的腔室內通入不同的氣體實現各種半導體結構所需的層。
2、隨著工藝的多樣化和工藝技術、生產效率的提升，現有的密封腔室的密封性由于機械精度的原因已經逐漸難以滿足需求，密封腔室工作過程中，當出現內部壓力與外部壓力之差大于等于0時，密封腔室的艙門也可能會出現密封不嚴導致漏氣事故發生。現有的艙門其重復密封效果差，密封壓緊時壓緊力不足，艙門密封不嚴，壓緊機構復雜，使用壽命短，可靠性低。
3、期望進一步改進艙門壓緊機構及密封艙門，提升壓緊力和密封效果，提升可靠性。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是提供一種艙門壓緊機構及密封艙門，使得艙門壓緊密封過程中可以獲得充足的壓緊力，進一步地，通過偏心軸設計還可實現自鎖功能，通過單一動力源即可實現艙門的壓緊，提升可靠性。
2、根據本專利技術的一方面，提供一種艙門壓緊機構，其特征在于，包括：基座，所述基座具有承載面和連接面；驅動單元，位于所述基座上；移動轉盤，與所述驅動單元相連，所述移動轉盤位于所述基座的承載面；壓緊鉤，所述壓緊鉤與所述移動轉盤相連；其中，所述基座的連接面與艙門相連，所述基座的承載面還包括導槽，所述驅動單元驅動所述移動轉盤在所述導槽內移動和旋轉，使所述壓緊鉤從所述基座的
3、可選地，所述驅動單元包括驅動缸和與所述驅動缸活塞相連的驅動繩，所述驅動繩纏繞于所述移動轉盤的外緣并與所述移動轉盤相連。
4、可選地，所述導槽包括第一導槽和第二導槽，所述第一導槽包括直線型導槽，所述第二導槽包括弧形導槽，所述第二導槽與所述第一導槽的中間部分相連。
5、可選地，所述移動轉盤還包括轉盤隨動器，所述移動轉盤的轉盤軸和所述轉盤隨動器可在所述第一導槽中移動，所述轉盤隨動器還可在所述第二導槽中移動。
6、可選地，還包括偏心軸，所述偏心軸位于所述承載面下方，所述移動轉盤的轉盤軸與所述偏心軸相連，所述偏心軸通過軸套和連桿與所述壓緊鉤相連，所述第二導槽所對應的圓心角不小于180°。
7、上述的艙門壓緊機構，還包括導軌，所述壓緊鉤的側面設置有輪軸，所述輪軸嵌入至所述導軌的軌道中，使所述壓緊鉤沿所述導軌移動。
8、可選地，所述導軌的一端包括上翹部分，使得在艙門打開時，所述壓緊鉤的彎曲部分翹起，為艙門的開啟路徑避讓空間。
9、可選地，所述連桿與所述壓緊鉤相連的一端設置有球形軸，通過連接銷穿過所述球形軸與所述壓緊鉤相連。
10、可選地，所述軸套與所述連桿相鉸接，使所述連桿可相對于所述軸套上下擺動。
11、根據本專利技術的另一方面，提供一種密封艙門，包括：門框；艙門，位于所述門框上，與所述門框相對應；上述的艙門壓緊機構；其中，所述艙門壓緊機構位于所述門框或所述艙門上，所述艙門壓緊機構可通過壓緊鉤將所述艙門與所述門框壓緊密封。
12、本專利技術實施例提供的艙門壓緊機構及密封艙門，通過采用驅動缸作為動力源，并由柔性的驅動繩帶動移動轉盤移動和旋轉，通過導槽及偏心軸設計實現艙門的壓緊和自鎖。該壓緊機構及對應的密封艙門的不僅結構簡單，可靠性高，還通過分階段的運動設計，實現了艙門關閉過程對壓緊力的要求，通過越過偏心軸的平衡點實現艙門的自鎖功能，由于采用驅動缸，其活塞的兩端可分別與驅動繩相連，從而實現單一動力源驅動，即可實現壓緊機構的所有動作。
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1.一種艙門壓緊機構，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述驅動單元包括驅動缸和與所述驅動缸活塞相連的驅動繩，所述驅動繩纏繞于所述移動轉盤的外緣并與所述移動轉盤相連。
3.根據權利要求1所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述導槽包括第一導槽和第二導槽，所述第一導槽包括直線型導槽，所述第二導槽包括弧形導槽，所述第二導槽與所述第一導槽的中間部分相連。
4.根據權利要求3所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述移動轉盤還包括轉盤隨動器，所述移動轉盤的轉盤軸和所述轉盤隨動器可在所述第一導槽中移動，所述轉盤隨動器還可在所述第二導槽中移動。
5.根據權利要求4所述的艙門壓緊機構，其特征在于，還包括偏心軸，所述偏心軸位于所述承載面下方，所述移動轉盤的轉盤軸與所述偏心軸相連，所述偏心軸通過軸套和連桿與所述壓緊鉤相連，所述第二導槽所對應的圓心角不小于180°。
6.根據權利要求5所述的艙門壓緊機構，其特征在于，還包括導軌，所述壓緊鉤的側面設置有輪軸，所述輪軸嵌入至所述導軌的軌道中，使所述壓緊鉤沿所述導軌移動。
7.根據權利要求6所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述導軌的一端包括上翹部分，使得在艙門打開時，所述壓緊鉤的彎曲部分翹起，為艙門的開啟路徑避讓空間。
8.根據權利要求5所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述連桿與所述壓緊鉤相連的一端設置有球形軸，通過連接銷穿過所述球形軸與所述壓緊鉤相連。
9.根據權利要求7所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述軸套與所述連桿相鉸接，使所述連桿可相對于所述軸套上下擺動。
10.一種密封艙門，其特征在于，包括：
...【技術特征摘要】
1.一種艙門壓緊機構，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述驅動單元包括驅動缸和與所述驅動缸活塞相連的驅動繩，所述驅動繩纏繞于所述移動轉盤的外緣并與所述移動轉盤相連。
3.根據權利要求1所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述導槽包括第一導槽和第二導槽，所述第一導槽包括直線型導槽，所述第二導槽包括弧形導槽，所述第二導槽與所述第一導槽的中間部分相連。
4.根據權利要求3所述的艙門壓緊機構，其特征在于，所述移動轉盤還包括轉盤隨動器，所述移動轉盤的轉盤軸和所述轉盤隨動器可在所述第一導槽中移動，所述轉盤隨動器還可在所述第二導槽中移動。
5.根據權利要求4所述的艙門壓緊機構，其特征在于，還包括偏心軸，所述偏心軸位于所述承載面下方，所述移動轉盤的轉盤軸與所述偏心軸相...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李書田，姚丹丹，
申請(專利權)人：蘇州中科重儀半導體材料有限公司，
類型：發明
國別省市：
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