【技術實現步驟摘要】
本申請涉及測量儀器，特別涉及一種切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置及檢測方法。
技術介紹
1、在半導體工藝中，芯片是使用頻率很高的半導體元件，芯片由晶圓進行切割得到。通常采用切割機對晶圓進行切割，切割機包括轉軸，安裝在轉軸上的刀片及位于轉軸下方的噴水嘴。噴水嘴用于向刀片噴水以降低刀片的溫度，防止晶圓在切割過程中溫度升高而開裂。在安裝及拆卸刀片的過程中，均需要將噴水嘴移動至遠離轉軸的位置，容易導致在噴水嘴移動至刀片下方時其位置發生變化，例如噴水嘴出現傾斜，這將影響刀片的冷卻效果，進而影響晶圓的質量。
2、目前一般采用目測的方法來判斷噴水嘴的狀態，但目測的精度較低。
技術實現思路
1、本申請實施例提供了一種切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置及檢測方法。
2、本申請實施例的第一方面提供了一種切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，所述切割機包括轉軸及冷卻系統，所述轉軸設有開孔，所述冷卻系統包括至少兩個噴水管，所述噴水管的端部為噴水嘴；所述噴水嘴處于工作位置時，所述噴水嘴位于所述轉軸下方，且所述噴水嘴的延伸方向與所述開孔的軸向垂直；
3、所述檢測裝置包括連桿和主體結構；所述連桿包括同向延伸的第一桿部和第二桿部；所述主體結構包括兩個平行設置的擋板，且所述擋板與所述第一桿部平行；所述連桿與所述主體結構相連；
4、所述檢測裝置被配置為所述噴水嘴處于工作位置時，若各所述噴水嘴的狀態均正常，所述第一桿部可插入所述轉軸的開孔，同時各所述噴水嘴均可插入兩個所述擋板之間的間隙；若
5、在一個實施例中，所述主體結構還包括連接板，兩個所述擋板分別與所述連接板相連；所述連桿與所述連接板相連，所述第一桿部的至少部分與所述第二桿部位于所述連接板的相對兩側，且所述第一桿部與所述擋板位于所述連接板的同一側。
6、在一個實施例中，所述連桿與所述連接板可拆卸連接；所述連接板設有通孔，所述連桿穿過所述通孔；所述通孔為長條形孔，所述長條形孔的長度方向與所述第一桿部的延伸方向相交。
7、在一個實施例中，所述第一桿部與所述第二桿部可拆卸連接；所述第一桿部設有朝向所述連接板的第一抵接面，所述第二桿部設有朝向所述連接板的第二抵接面，所述第一抵接面與所述第二抵接面分別所述連接板抵接。
8、在一個實施例中，兩個所述擋板之間的距離范圍為3.7mm～4.7mm。
9、在一個實施例中，在所述第一桿部的延伸方向上，所述擋板的尺寸范圍為26.5mm～27.5mm。
10、在一個實施例中，所述第一桿部插入所述轉軸的開孔后，所述第一桿部與所述轉軸的開孔同軸。
11、在一個實施例中，在與所述第一桿部的延伸方向垂直的方向上，所述擋板的尺寸范圍為12.0mm～13.0mm。
12、在一個實施例中，所述主體結構還包括連接板，兩個所述擋板分別與所述連接板相連，所述連桿與所述連接板相連，所述第一桿部的至少部分與所述第二桿部位于所述連接板的相對兩側；所述第一桿部位于所述連接板背離所述第二桿部一側的部分的長度范圍為10.5mm～11.5mm。
13、在一個實施例中，所述第二桿部背離所述第一桿部的端部表面設有握持部，所述第二桿部設有所述握持部的部分的截面為非圓形。
14、本申請實施例的第二方面提供了一種切割機的噴水嘴狀態的檢測方法，所述檢測方法應用于上述的檢測裝置；所述檢測方法包括：
15、將所述切割機的刀片拆下，使所述噴水嘴處于工作位置；
16、控制所述檢測裝置沿所述開孔的軸向向所述轉軸移動，若所述第一桿部插入所述轉軸的開孔的同時各所述噴水嘴均可插入兩個所述擋板之間的間隙，則確定各所述噴水嘴的狀態均正常；若所述第一桿部插入所述轉軸的通孔時所述噴水嘴不能全部插入兩個所述擋板之間的間隙，或者至少一個所述噴水嘴插入兩個所述擋板之間的間隙時所述第一桿部不能插入所述轉軸的開孔，則確定至少一個所述噴水嘴的狀態異常。
17、本申請實施例提供的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置及檢測方法，通過設置連桿包括同向延伸的第一桿部和第二桿部、以及與連桿相連的主體結構包括同向延伸的兩個擋板，可根據在第二桿部插入轉軸的開孔的同時各噴水嘴是否能全部插入兩個擋板之間的間隙來判斷噴水嘴的狀態是否發生異常，判斷精度較高，操作簡單。
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1.一種切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述切割機包括轉軸及冷卻系統，所述轉軸設有開孔，所述冷卻系統包括至少兩個噴水管，所述噴水管的端部為噴水嘴；所述噴水嘴處于工作位置時，所述噴水嘴位于所述轉軸下方，且所述噴水嘴的延伸方向與所述開孔的軸向垂直；
2.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述主體結構還包括連接板，兩個所述擋板分別與所述連接板相連；所述連桿與所述連接板相連，所述第一桿部的至少部分與所述第二桿部位于所述連接板的相對兩側，且所述第一桿部與所述擋板位于所述連接板的同一側。
3.根據權利要求2所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述連桿與所述連接板可拆卸連接；所述連接板設有通孔，所述連桿穿過所述通孔；所述通孔為長條形孔，所述長條形孔的長度方向與所述第一桿部的延伸方向相交。
4.根據權利要求3所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述第一桿部與所述第二桿部可拆卸連接；所述第一桿部設有朝向所述連接板的第一抵接面，所述第二桿部設有朝向所述連接板的第二抵接面，所述第一抵接面與所述第二抵接面分
5.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，兩個所述擋板之間的距離范圍為3.7mm～4.7mm；和/或，
6.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述第一桿部插入所述轉軸的開孔后，所述第一桿部與所述轉軸的開孔同軸。
7.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，在與所述第一桿部的延伸方向垂直的方向上，所述擋板的尺寸范圍為12.0mm～13.0mm。
8.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述主體結構還包括連接板，兩個所述擋板分別與所述連接板相連，所述連桿與所述連接板相連，所述第一桿部的至少部分與所述第二桿部位于所述連接板的相對兩側；所述第一桿部位于所述連接板背離所述第二桿部一側的部分的長度范圍為10.5mm～11.5mm。
9.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述第二桿部背離所述第一桿部的端部表面設有握持部，所述第二桿部設有所述握持部的部分的截面為非圓形。
10.一種切割機的噴水嘴狀態的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法應用于權利要求1至9任一項所述的檢測裝置；所述檢測方法包括：
...【技術特征摘要】
1.一種切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述切割機包括轉軸及冷卻系統，所述轉軸設有開孔，所述冷卻系統包括至少兩個噴水管，所述噴水管的端部為噴水嘴；所述噴水嘴處于工作位置時，所述噴水嘴位于所述轉軸下方，且所述噴水嘴的延伸方向與所述開孔的軸向垂直；
2.根據權利要求1所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述主體結構還包括連接板，兩個所述擋板分別與所述連接板相連；所述連桿與所述連接板相連，所述第一桿部的至少部分與所述第二桿部位于所述連接板的相對兩側，且所述第一桿部與所述擋板位于所述連接板的同一側。
3.根據權利要求2所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述連桿與所述連接板可拆卸連接；所述連接板設有通孔，所述連桿穿過所述通孔；所述通孔為長條形孔，所述長條形孔的長度方向與所述第一桿部的延伸方向相交。
4.根據權利要求3所述的切割機的噴水嘴狀態的檢測裝置，其特征在于，所述第一桿部與所述第二桿部可拆卸連接；所述第一桿部設有朝向所述連接板的第一抵接面，所述第二桿部設有朝向所述連接板的第二抵接面，所述第一抵接面與所述第二抵接面分別所述連接板抵接。
5.根據權利要求1所述的切...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉兆青，
申請(專利權)人：杰群電子科技東莞有限公司，
類型：發明
國別省市：
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