【技術實現步驟摘要】
本技術涉及人工晶體爐，尤其涉及一種用于晶體爐的抽氣管道。
技術介紹
1、已知的，晶體爐用抽氣管道是晶體生長設備中不可或缺的組件之一，以單晶爐為例，單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，單晶硅作為現代信息社會的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電的主要功能材料。隨著半導體、光電子、太陽能等行業的快速發展，對于晶體爐用抽氣管道的需求也越來越大。因此，抽氣管道具有廣闊的市場前景。
2、現有抽氣管道配合真空泵組在單晶硅生產過程中不僅可以使單晶爐內形成真空狀態，也可以實現及時抽取單晶爐在生產時產生的氧化物，現有的抽氣管道大都采用直管機械硬連接的形式，這樣不僅不利于生產過程中的氧化物及時清理，同時在安裝時也容易受到因加工誤差等因素造成無法安裝的問題，現有抽氣管道的弊端如下：
3、1、無法實時監控管道內的溫度值；
4、2、管道內壁需潔凈時，無法滿足快速便捷清理管道的要求；
5、3、無法實時監控管道內的真空度值等。
6、那么，如何提供一種用于晶體爐的抽氣管道就成了本領域技術人員的長期技術訴求。
技術實現思路
1、為了克服
技術介紹
中的不足，本技術公開了一種用于晶體爐的抽氣管道，本技術通過在管道上分別設置溫度傳感器和真空計，可以實時監測管道內的溫度和真空度值，為操作者提供參考，同時，本技術通過在管道、三通管道和四通接頭上分別設置多處清灰口，能夠快速便捷的實現管道內部全方位無死角的清灰，本技術具有使用
2、為了實現所述的專利技術目的，本技術采用如下技術方案：
3、一種用于晶體爐的抽氣管道，包括管道、波紋管、三通管道、四通接頭、球閥、溫度傳感器、彎頭、立管和冷卻套，所述管道間隔設置為兩根，兩根管道的右端頭分別通過波紋管連接三通管道的第一和第二端口，三通管道的第三端口連接四通接頭的左端口，所述四通接頭的下端口連接球閥，四通接頭的上端口和右端口作為四通接頭的上清灰口和右清灰口，在四通接頭的上清灰口和右清灰口上分別設有四通接頭清灰口上蓋板和四通接頭清灰口右蓋板，兩管道的左端口作為管道清灰口和泄壓口，在兩管道的左端口分別設置管道清灰口蓋板，在兩管道外緣面的上方分別設有立管，兩立管的上端頭分別連接冷卻套，兩冷卻套分別連接晶體爐的抽氣口或兩冷卻套分別通過管道連接晶體爐的抽氣口，兩立管的下端頭分別通過彎頭連通兩管道，在其中一個立管右側的管道的外緣面或在兩立管右側的兩管道的外緣面分別設有測溫接口，在每個測溫接口上分別設有溫度傳感器，所述溫度傳感器連接晶體爐的控制系統。
4、所述的用于晶體爐的抽氣管道，所述三通管道上設有至少一個真空計接口，在每個真空計接口上分別設有真空計，所述真空計連接晶體爐的控制系統。
5、所述的用于晶體爐的抽氣管道，所述三通管道上設有至少一個副爐室抽氣口，所述副爐室抽氣口通過管道連通晶體爐副爐室。
6、所述的用于晶體爐的抽氣管道，所述球閥為電動球閥。
7、所述的用于晶體爐的抽氣管道，所述三通管道的前后兩端頭作為三通管道的前后清灰口，在三通管道的前后清灰口分別設置三通管道清灰口蓋板。
8、所述的用于晶體爐的抽氣管道，所述冷卻套上的冷卻介質通道分別連接冷卻介質入口和冷卻介質出口。
9、所述的用于晶體爐的抽氣管道，所述冷卻介質優選為冷卻水。
10、采用上述技術方案，本技術的有益效果是：
11、本技術通過在管道上分別設置溫度傳感器和真空計，可以實時監測管道內的溫度和真空度值，為操作者提供參考，同時，本技術通過在管道、三通管道和四通接頭上分別設置多處清灰口，能夠快速便捷的實現管道內部全方位無死角的清灰，進一步，本技術通過波紋管的設置，有效的降低了安裝難度和加工時的精度要求，降低了加工成本，本技術具有使用安全、便捷的特點，有效的提升了抽氣管道的清潔效率等，適合大范圍的推廣和應用。
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1.一種用于晶體爐的抽氣管道，包括管道(1)、波紋管(2)、三通管道(3)、四通接頭(6)、球閥(8)、溫度傳感器(11)、彎頭(13)、立管(15)和冷卻套(16)，其特征是：所述管道(1)間隔設置為兩根，兩根管道(1)的右端頭分別通過波紋管(2)連接三通管道(3)的第一和第二端口，三通管道(3)的第三端口連接四通接頭(6)的左端口，所述四通接頭(6)的下端口連接球閥(8)，四通接頭(6)的上端口和右端口作為四通接頭(6)的上清灰口和右清灰口，在四通接頭(6)的上清灰口和右清灰口上分別設有四通接頭清灰口上蓋板(5)和四通接頭清灰口右蓋板(7)，兩管道(1)的左端口作為管道清灰口和泄壓口，在兩管道(1)的左端口分別設置管道清灰口蓋板(14)，在兩管道(1)外緣面的上方分別設有立管(15)，兩立管(15)的上端頭分別連接冷卻套(16)，兩冷卻套(16)分別連接晶體爐的抽氣口或兩冷卻套(16)分別通過管道連接晶體爐的抽氣口，兩立管(15)的下端頭分別通過彎頭(13)連通兩管道(1)，在其中一個立管(15)右側的管道(1)的外緣面或在兩立管(15)右側的兩管道(1)的外緣面分別設有測溫
2.根據權利要求1所述的用于晶體爐的抽氣管道，其特征是：所述三通管道(3)上設有至少一個真空計接口，在每個真空計接口上分別設有真空計(12)，所述真空計(12)連接晶體爐的控制系統。
3.根據權利要求1所述的用于晶體爐的抽氣管道，其特征是：所述三通管道(3)上設有至少一個副爐室抽氣口(4)，所述副爐室抽氣口(4)通過管道連通晶體爐副爐室。
4.根據權利要求1所述的用于晶體爐的抽氣管道，其特征是：所述球閥(8)為電動球閥。
5.根據權利要求1所述的用于晶體爐的抽氣管道，其特征是：所述三通管道(3)的前后兩端頭作為三通管道的前后清灰口，在三通管道的前后清灰口分別設置三通管道清灰口蓋板(9)。
6.根據權利要求1所述的用于晶體爐的抽氣管道，其特征是：所述冷卻套(16)上的冷卻介質通道分別連接冷卻介質入口和冷卻介質出口。
7.根據權利要求6所述的用于晶體爐的抽氣管道，其特征是：所述冷卻介質為冷卻水。
...【技術特征摘要】
1.一種用于晶體爐的抽氣管道，包括管道(1)、波紋管(2)、三通管道(3)、四通接頭(6)、球閥(8)、溫度傳感器(11)、彎頭(13)、立管(15)和冷卻套(16)，其特征是：所述管道(1)間隔設置為兩根，兩根管道(1)的右端頭分別通過波紋管(2)連接三通管道(3)的第一和第二端口，三通管道(3)的第三端口連接四通接頭(6)的左端口，所述四通接頭(6)的下端口連接球閥(8)，四通接頭(6)的上端口和右端口作為四通接頭(6)的上清灰口和右清灰口，在四通接頭(6)的上清灰口和右清灰口上分別設有四通接頭清灰口上蓋板(5)和四通接頭清灰口右蓋板(7)，兩管道(1)的左端口作為管道清灰口和泄壓口，在兩管道(1)的左端口分別設置管道清灰口蓋板(14)，在兩管道(1)外緣面的上方分別設有立管(15)，兩立管(15)的上端頭分別連接冷卻套(16)，兩冷卻套(16)分別連接晶體爐的抽氣口或兩冷卻套(16)分別通過管道連接晶體爐的抽氣口，兩立管(15)的下端頭分別通過彎頭(13)連通兩管道(1)，在其中一個立管(15)右側的管道(1)的外緣面或在兩立管(15)右側的兩管道(1)的外緣面分別設有...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉朝軒，邵瑋，王興龍，范飛，
申請(專利權)人：洛陽長纓新能源科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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