【技術實現步驟摘要】
本技術涉及環境凈化處理，尤其涉及一種酸性氣體吸附過濾裝置。
技術介紹
1、霧化化學氣相沉積(mist-cvd)技術是一種新型的氧化物成膜技術，這項技術利用超聲波使得原料溶液霧化，然后通過傳輸氣體將霧化的原料輸送至反應室，并在反應室內依次經過熱分解、氧化、還原、置換等一系列反應后在襯底上成膜，具有節能安全、設備簡單易操作、原材料選擇多樣化等優勢。霧化化學氣相沉積(mist-cvd)作為一種廉價低成本，可用于大尺寸生長氧化物半導體薄膜的外延生長技術對于氧化物半導體薄膜生長與器件工藝的發展有著十分重要的意義。
2、mist-cvd是一種以霧化源作為原料的cvd設備，mist-cvd方法通過將液體原料霧化后應用于成膜制程，因為液體原料具有比較強的酸性在薄膜生長后尾氣排出段仍有酸性物質殘留，所以要考慮對排出的尾氣進行酸性過濾，達到排放標準才能進一步處理，
3、現有適用于mist-cvd設備的酸性氣體吸附過濾裝置，內部吸附過濾物質對于酸性氣體過濾效率較低，不能對酸性氣體進行有效過濾，再者，酸性氣體在過濾裝置內部流通時，吸附過濾物質不能均勻及充分的對酸性氣體進行吸附過濾，導致了吸附過濾物質的浪費。
技術實現思路
1、針對相關技術中的問題，本技術公開了一種適用于mist-cvd設備的酸性氣體吸附過濾裝置，解決了現有mist-cvd設備中酸性氣體吸附過濾裝置對酸性氣體處理效率較低及內部吸附過濾物質不能均勻充分利用的問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案
3、一種酸性氣體吸附過濾裝置，包括過濾體，所述過濾體為密封容腔狀容器，所述過濾體設有進氣口及出氣口，所述進氣口引導酸性氣體進入所述過濾體，所述出氣口將經過所述過濾體吸附過濾的氣體排出，所述過濾體內部設有引導氣體串聯流動的多個引導腔，所述引導腔內填充有吸附過濾物質，每個所述引導腔設有進氣端及出氣端，所述引導腔四周為封閉狀，氣體自進氣端進入引導腔由出氣端排出。
4、作為本技術進一步的方案：所述過濾體內部設有三個所述引導腔，包括第一引導腔、第二引導腔及第三引導腔，所述第一引導腔進氣端與所述進氣口連通，所述第二引導腔套設于所述第一引導腔四周及下部，所述第一引導腔出氣端與所述第二引導腔進氣端連通，所述第二引導腔四周及下部套設有所述第三引導腔，所述第二引導腔出氣端與所述第三引導腔進氣端連通，所述第三引導腔出氣端與所述出氣口連通。
5、作為本技術進一步的方案：所述第一引導腔內填充有分子篩，所述第二引導腔內填充有活性炭，所述第三引導腔內填充有酸性氣體吸附劑。
6、作為本技術進一步的方案：相鄰所述引導腔之間設有透氣板，所述透氣板為平板形狀，所述透氣板上均勻設有多個透氣孔。
7、作為本技術進一步的方案：所述第一引導腔出氣端位于所述第二引導腔底部中心，所述第一引導腔出氣端設有第一透氣板，所述第二引導腔出氣端位于所述第二引導腔頂部，所述第三引導腔進氣端位于所述第三引導腔頂部，所述第二引導腔出氣端與所述第三引導腔進氣端通過水平設置的流通腔連通，所述流通腔底部設有與所述第二引導腔出氣端及第三引導腔進氣端平行設置的第二透氣板，所述第三引導腔底部中心的出氣端設有第三透氣板，所述第三引導腔出氣端與所述出氣口連通。
8、作為本技術進一步的方案：所述流通腔內部設有多個支撐柱，所述支撐柱一端與所述過濾體主體固定連接，所述支撐柱另一端與所述第二透氣板抵接。
9、作為本技術進一步的方案：所述第三引導腔底部四周設有固定槽，所述第三透氣板四周固定設置于所述固定槽內。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果為：
11、1、酸性氣體吸附過濾裝置，過濾體內部設有引導氣體串聯流動的多個引導腔，引導腔內填充有吸附過濾物質，每個引導腔設有進氣端及出氣端，引導腔四周為封閉狀，氣體自進氣端進入引導腔由出氣端排出，多個串聯的四周封閉的引導腔引導氣體自進氣端進入由出氣端排出，使得內部填充的吸附過濾物質可均勻充分的對酸性氣體進行吸附過濾處理，保證了吸附過濾物質的利用率，同時提高了酸性氣體的處理效率。
12、2、三個引導腔為相互套設折返式連通，提高了氣體流通路徑，節省了空間，提高了酸性氣體處理效率。
13、3、第一引導腔內填充有分子篩，第二引導腔內填充有活性炭，第三引導腔內填充有酸性氣體吸附劑，三種物質的逐級有序設置，具有較優的處理效果。
14、4、相鄰引導腔之間透氣板的設置，可對不同吸附過濾物質進行有效隔離，防止物質間相互影響，影響處理效率。
15、5、第二引導腔出氣端與第三引導腔進氣端通過水平設置的流通腔連通，流通腔底部設有與第二引導腔出氣端及第三引導腔進氣端平行設置的第二透氣板，流通腔內部設有多個支撐柱，支撐柱一端與過濾體主體固定連接，支撐柱另一端與第二透氣板抵接，支撐柱可對第二透氣板進行穩定限制，此種水平設置的流通腔及支撐柱對整塊透氣板固定的結構，便于裝置加工組裝，透氣板穩定性高，經濟效率高。
16、6、第三引導腔底部四周設有固定槽，第三透氣板整塊鋪設于第三引導腔底部，第三透氣板四周固定設置于固定槽內，此種透氣板固定結構，方便于加工，透氣板穩定性高，具有較高的的經濟性。
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1.一種酸性氣體吸附過濾裝置，包括過濾體(1)，所述過濾體(1)為密封容腔狀容器，所述過濾體(1)設有進氣口(2)及出氣口(3)，所述進氣口(2)引導酸性氣體進入所述過濾體(1)，所述出氣口(3)將經過所述過濾體(1)吸附過濾的氣體排出，其特征在于：所述過濾體(1)內部設有引導氣體串聯流動的多個引導腔，所述引導腔內填充有吸附過濾物質，每個所述引導腔設有進氣端及出氣端，所述引導腔四周為封閉狀，氣體自進氣端進入引導腔由出氣端排出。
2.根據權利要求1所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：所述過濾體(1)內部設有三個所述引導腔，包括第一引導腔(41)、第二引導腔(42)及第三引導腔(43)，所述第一引導腔(41)進氣端與所述進氣口(2)連通，所述第二引導腔(42)套設于所述第一引導腔(41)四周及下部，所述第一引導腔(41)出氣端與所述第二引導腔(42)進氣端連通，所述第二引導腔(42)四周及下部套設有所述第三引導腔(43)，所述第二引導腔(42)出氣端與所述第三引導腔(43)進氣端連通，所述第三引導腔(43)出氣端與所述出氣口(3)連通。
3.根據權利要
4.根據權利要求3所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：相鄰所述引導腔之間設有透氣板，所述透氣板為平板形狀，所述透氣板上均勻設有多個透氣孔(54)。
5.根據權利要求4所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：所述第一引導腔(41)出氣端位于所述第二引導腔(42)底部中心，所述第一引導腔(41)出氣端設有第一透氣板(51)，所述第二引導腔(42)出氣端位于所述第二引導腔(42)頂部，所述第三引導腔(43)進氣端位于所述第三引導腔(43)頂部，所述第二引導腔(42)出氣端與所述第三引導腔(43)進氣端通過水平設置的流通腔(6)連通，所述流通腔(6)底部設有與所述第二引導腔(42)出氣端及第三引導腔(43)進氣端平行設置的第二透氣板(52)，所述第三引導腔(43)底部中心的出氣端設有第三透氣板(53)，所述第三引導腔(43)出氣端與所述出氣口(3)連通。
6.根據權利要求5所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：所述流通腔(6)內部設有多個支撐柱(7)，所述支撐柱(7)一端與所述過濾體(1)主體固定連接，所述支撐柱(7)另一端與所述第二透氣板(52)抵接。
7.根據權利要求6所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：所述第三引導腔(43)底部四周設有固定槽(8)，所述第三透氣板(53)四周固定設置于所述固定槽(8)內。
...【技術特征摘要】
1.一種酸性氣體吸附過濾裝置，包括過濾體(1)，所述過濾體(1)為密封容腔狀容器，所述過濾體(1)設有進氣口(2)及出氣口(3)，所述進氣口(2)引導酸性氣體進入所述過濾體(1)，所述出氣口(3)將經過所述過濾體(1)吸附過濾的氣體排出，其特征在于：所述過濾體(1)內部設有引導氣體串聯流動的多個引導腔，所述引導腔內填充有吸附過濾物質，每個所述引導腔設有進氣端及出氣端，所述引導腔四周為封閉狀，氣體自進氣端進入引導腔由出氣端排出。
2.根據權利要求1所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：所述過濾體(1)內部設有三個所述引導腔，包括第一引導腔(41)、第二引導腔(42)及第三引導腔(43)，所述第一引導腔(41)進氣端與所述進氣口(2)連通，所述第二引導腔(42)套設于所述第一引導腔(41)四周及下部，所述第一引導腔(41)出氣端與所述第二引導腔(42)進氣端連通，所述第二引導腔(42)四周及下部套設有所述第三引導腔(43)，所述第二引導腔(42)出氣端與所述第三引導腔(43)進氣端連通，所述第三引導腔(43)出氣端與所述出氣口(3)連通。
3.根據權利要求2所述的一種酸性氣體吸附過濾裝置，其特征在于：所述第一引導腔(41)內填充有分子篩，所述第二引導腔(42)內填充有活性炭，所述第三引導腔(43)內填充有酸性氣體吸附劑。
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【專利技術屬性】
技術研發人員：張義穎，雍曉龍，何奇，
申請(專利權)人：蘇州鎵耀半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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