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    一種單晶爐用旋板閥制造技術(shù)

    技術(shù)編號:43508025 閱讀:22 留言:0更新日期:2024-11-29 17:10
    本技術(shù)提供一種單晶爐用旋板閥,單晶爐包括主室和副室以及位于副室外側(cè)的副室閥倉,旋板閥包括:設(shè)置于主室和副室之間的閥體,以及位于副室閥倉內(nèi)且與閥體連接的旋板軸;閥體內(nèi)部設(shè)置有用于容納冷卻水的冷卻管道,冷卻管道的進(jìn)水端和出水端均位于閥體的中心;旋板軸內(nèi)部設(shè)有容納腔;冷卻組件,設(shè)置于容納腔內(nèi),冷卻組件包含第一管道和第二管道,第一管道的一端與冷卻管道的第一端連接,另一端延伸至副室閥倉外;第二管道的一端與冷卻管道的第二端連接,另一端延伸至副室閥倉外。本技術(shù)通過在旋板軸內(nèi)設(shè)置冷卻組件,可以防止晶棒掉落造成的管道漏水,提高了生產(chǎn)過程的安全性。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本技術(shù)涉及旋板閥,特別涉及一種單晶爐用旋板閥


    技術(shù)介紹

    1、在直拉單晶爐結(jié)構(gòu)中,在主爐室與副爐室之間有一個旋板閥,其主要用于隔絕主室與副室,以此實(shí)現(xiàn)兩個爐室間不同的操作,關(guān)閉此閥后,可以打開副室,從而裝卸籽晶、二次加料或進(jìn)行取單晶等作業(yè)。

    2、旋板閥之上附有進(jìn)水和出水兩根冷卻循環(huán)水管,對旋板閥進(jìn)行通水冷卻,目前水路設(shè)計較簡單,直接將進(jìn)水和出水兩根循環(huán)冷卻水管外置于旋板軸之上。若在取單晶過程中,出現(xiàn)異常晶棒掉落砸到旋板閥上,會砸壞冷卻水管導(dǎo)致漏水進(jìn)入爐內(nèi),造成重大安全隱患。此外,拉晶環(huán)節(jié)對于爐內(nèi)潔凈度要求高,旋閥水管外置不利于員工對旋閥的清理,容易產(chǎn)生清理死角,在單晶拉制過程中若雜質(zhì)掉入爐內(nèi)會影響正常成晶。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、有鑒于此,本技術(shù)提供一種,用以解決旋板閥水冷管外置存在被單晶棒掉落砸壞的風(fēng)險以及存在衛(wèi)生死角的問題。

    2、為解決上述技術(shù)問題,本技術(shù)提供一種單晶爐用旋板閥,單晶爐包括主室和副室,以及位于所述副室外側(cè)的副室閥倉,單晶爐用旋板閥包括:

    3、設(shè)置于主室和副室之間的閥體,以及位于副室閥倉內(nèi)且與閥體連接的旋板軸;

    4、閥體內(nèi)部設(shè)置有用于容納冷卻水的冷卻管道,冷卻管道的進(jìn)水端和出水端均位于閥體的中心;

    5、旋板軸內(nèi)部設(shè)有容納腔;

    6、冷卻組件,設(shè)置于容納腔內(nèi),冷卻組件包含第一管道和第二管道,第一管道的一端與冷卻管道的第一端連接,另一端延伸至副室閥倉外,用于將副室閥倉外的冷卻水輸送至閥體內(nèi),以冷卻閥體;

    7、第二管道的一端與冷卻管道的第二端連接,另一端延伸至副室閥倉外,用于將冷卻后的水從閥體內(nèi)輸送至副室閥倉外。

    8、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,旋板軸包括相互連接的輸送段和引流段,輸送段位于閥體和引流段之間,引流段的第一端與輸送段連接,引流段的第二端延伸至副室閥倉外,容納腔設(shè)置于引流段內(nèi),輸送段內(nèi)設(shè)有連通冷卻管道和容納腔的通道。

    9、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,第一管道包括:

    10、進(jìn)水引管,安裝于容納腔內(nèi),進(jìn)水引管的一端與輸送段內(nèi)的通道連接,另一端從引流段的第二端伸出;

    11、進(jìn)水彎管,進(jìn)水彎管的一端與進(jìn)水引管連接,并從副室閥倉中延伸出。

    12、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,第二管道包括:

    13、出水引管,安裝于容納腔內(nèi),出水引管的一端與輸送段內(nèi)的通道連接,另一端從引流段的第二端伸出;

    14、出水彎管,出水彎管的一端與出水引管連接,并從副室閥倉中延伸出。

    15、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,輸送段內(nèi)的通道包括進(jìn)水通道和出水通道,進(jìn)水通道的一端與冷卻管道的第一端連接,另一端與進(jìn)水引管連接,出水通道的一端與冷卻管道的第二端連接,另一端與出水引管連接。

    16、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,出水彎管延伸出副室閥倉外的一端設(shè)有流量檢測件。

    17、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,出水彎管延伸出副室閥倉外的一端設(shè)有水溫檢測件。

    18、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,進(jìn)水引管為不銹鋼軟管件。

    19、在本技術(shù)的一個實(shí)施例中,出水引管為不銹鋼軟管件。

    20、本技術(shù)的上述技術(shù)方案的有益效果如下:

    21、本技術(shù)實(shí)施例的單晶爐用旋板閥,通過將冷卻組件全部內(nèi)置,避免現(xiàn)有技術(shù)中冷卻水管外露。相對于傳統(tǒng)旋板閥中閥體的管道暴露在旋板軸外側(cè),在晶棒掉落時容易發(fā)生漏水,本技術(shù)可以防止管道漏水,極大延長了管道的使用時間,且有利于保證拉晶過程的安全性;并且也可以防止衛(wèi)生死角,避免雜質(zhì)掉入單晶爐內(nèi)。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種單晶爐用旋板閥,所述單晶爐包括主室和副室,以及位于所述副室外側(cè)的副室閥倉,其特征在于,所述單晶爐用旋板閥包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述旋板軸包括相互連接的輸送段和引流段,所述輸送段位于所述閥體和所述引流段之間,所述引流段的第一端與所述輸送段連接,所述引流段的第二端延伸至所述副室閥倉外,所述容納腔設(shè)置于所述引流段內(nèi),所述輸送段內(nèi)設(shè)有連通所述冷卻管道和所述容納腔的通道。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述第一管道包括:

    4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述第二管道包括:

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述輸送段內(nèi)的所述通道包括進(jìn)水通道和出水通道,所述進(jìn)水通道的一端與所述冷卻管道的第一端連接,另一端與所述進(jìn)水引管連接,所述出水通道的一端與所述冷卻管道的第二端連接,另一端與所述出水引管連接。

    6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述出水彎管延伸出所述副室閥倉外的一端設(shè)有流量檢測件。

    7.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述出水彎管延伸出所述副室閥倉外的一端設(shè)有水溫檢測件。

    8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述進(jìn)水引管為不銹鋼軟管件。

    9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述出水引管為不銹鋼軟管件。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種單晶爐用旋板閥,所述單晶爐包括主室和副室,以及位于所述副室外側(cè)的副室閥倉,其特征在于,所述單晶爐用旋板閥包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述旋板軸包括相互連接的輸送段和引流段,所述輸送段位于所述閥體和所述引流段之間,所述引流段的第一端與所述輸送段連接,所述引流段的第二端延伸至所述副室閥倉外,所述容納腔設(shè)置于所述引流段內(nèi),所述輸送段內(nèi)設(shè)有連通所述冷卻管道和所述容納腔的通道。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述第一管道包括:

    4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐用旋板閥,其特征在于,所述第二管道包括:

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐用旋板...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:宋克冉楊超方穎顏玉峰孫須良
    申請(專利權(quán))人:曲靖晶澳光伏科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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