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【技術實現步驟摘要】
本申請涉及topcon電池片加工,更具體地說,它涉及一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法。
技術介紹
1、高溫工序粉塵污染是針對topcon電池片生產制造過程中高溫工序工藝本身產生的粉塵。
2、高溫工序是topcon電池片的核心工藝之一,高溫段的潔凈度對電池片的良率有重要的影響,在制成工藝過程中會產生大量的粉塵顆粒物導致潔凈度不符合工藝制成要求,粉塵顆粒物的來源主要有兩個方面:一是生產車間的環境因素,如生產車間的機臺、地面衛生不達標等環境因素;二是爐管內部工藝過程中產生的硼酸等顆粒物。
3、目前,在制成工藝過程中產生的大量粉塵顆粒物會附著在topcon電池片半成品的表面,topcon電池片半成品在經過高溫工序時,直接升溫至目標溫度進行反應,導致粉塵顆粒物直接進入topcon電池片的硅基體,使硅的晶體結構發生變形,最終使得電池端出現星型隱裂、黑斑、黑點等良品率問題。
技術實現思路
1、本申請的目的是提供一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,本申請減小了topcon電池片的生產制造過程中的粉塵影響,提高了topcon電池片的良品率。
2、本申請提供了一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,方法包括:
3、在打開高溫反應所需爐管的爐門之前,通過氮氣對爐管執行第一次吹掃;
4、在第一次吹掃執行完成后,檢測爐管的實時壓力是否為爐門可被打開的壓力值;
5、在檢測到爐管的實時壓力為爐門可被打
6、在爐管的爐門關閉之后,通過氮氣對爐管執行第二次吹掃。
7、在一種實現方案中,第一次吹掃與第二次吹掃的工序參數均包括氮氣流量、吹掃壓力、吹掃溫度和吹掃時間。
8、在一種實現方案中,第一次吹掃與第二次吹掃的氮氣流量、吹掃壓力和吹掃時間一致。
9、在一種實現方案中,吹掃的執行過程為:調整吹掃過程中氮氣的流量處于最大流量以及調整吹掃壓力小于爐門可被打開的壓力值。
10、在一種實現方案中,所述吹掃時間與所述吹掃壓力的數值呈反比關系。
11、在一種實現方案中,所述氮氣的流量為最大流量為20000r。
12、在一種實現方案中,所述第二次吹掃的吹掃溫度大于第一次吹掃的吹掃溫度。
13、在一種實現方案中,所述吹掃壓力的數值范圍為大于等于500mbar,小于1000mbar。
14、在一種實現方案中,所述開爐門、放舟和關爐門操作工序的壓力參數和溫度參數一致。
15、在一種實現方案中,所述第一次吹掃、檢測爐管的實時壓力是否為爐門可被打開的壓力值以及第二次吹掃的過程中氮氣流量保持一致。
16、與現有技術相比,本申請具有以下有益效果:
17、在本申請提供的一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法中,通過在現有的高溫工序的工藝基礎上進行改進,在打開高溫反應所需爐管的爐門前,在保證低于爐管的常壓下,增加第一次吹掃工序,即通過氮氣對爐管執行第一次吹掃,從而可配合隔膜泵抽壓形成吹向爐管尾部的氣流,以便在高溫工序開始前帶走石英管內部的顆粒物,其中保證低于爐管的常壓有利于快速去除爐管內部工藝過程中產生的硼酸等顆粒物。其次,在topcon電池片半成品未進行高溫反應的工序前,在設定的壓力條件下執行第二次吹掃,可避免因機臺、地面衛生不達標等環境因素導致的粉塵顆粒物附著在topcon電池片半成品的表面。綜上所述,本申請直接避免了粉塵顆粒物出現在topcon電池片半成品的表面,從而解決了粉塵顆粒物進入硅基體,導致后續硅的晶體結構變形的問題,因此基于本申請提供的方法改善的高溫工序,可以提高topcon電池片的良品率。
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1.一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,方法包括:
2.根據權利要求1所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,第一次吹掃與第二次吹掃的工序參數均包括氮氣流量、吹掃壓力、吹掃溫度和吹掃時間。
3.根據權利要求2所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,第一次吹掃與第二次吹掃的氮氣流量、吹掃壓力和吹掃時間一致。
4.根據權利要求3所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,吹掃的執行過程為:調整吹掃過程中氮氣的流量處于最大流量以及調整吹掃壓力小于爐門可被打開的壓力值。
5.根據權利要求4所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所述吹掃時間與所述吹掃壓力的數值呈反比關系。
6.根據權利要求4所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所述氮氣的流量為最大流量為20000r。
7.根據權利要求2所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所
8.根據權利要求2所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所述吹掃壓力的數值范圍為大于等于500mbar,小于1000mbar。
9.根據權利要求1所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所述開爐門、放舟和關爐門操作工序的壓力參數和溫度參數一致。
10.根據權利要求1所述的一種降低TOPCON電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所述第一次吹掃、檢測爐管的實時壓力是否為爐門可被打開的壓力值以及第二次吹掃的過程中氮氣流量保持一致。
...【技術特征摘要】
1.一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,方法包括:
2.根據權利要求1所述的一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,第一次吹掃與第二次吹掃的工序參數均包括氮氣流量、吹掃壓力、吹掃溫度和吹掃時間。
3.根據權利要求2所述的一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,第一次吹掃與第二次吹掃的氮氣流量、吹掃壓力和吹掃時間一致。
4.根據權利要求3所述的一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,吹掃的執行過程為:調整吹掃過程中氮氣的流量處于最大流量以及調整吹掃壓力小于爐門可被打開的壓力值。
5.根據權利要求4所述的一種降低topcon電池片高溫工序粉塵污染的方法,其特征在于,所述吹掃時間與所述吹掃壓力的數值呈反比關系。
6.根據權利要求4所...
【專利技術屬性】
技術研發人員:吳剛,劉大偉,王靖,劉源濤,獨鑫,
申請(專利權)人:綿陽炘皓新能源科技有限公司,
類型:發明
國別省市:
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