【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于集成電路裝備制造，特別是涉及一種驅動裝置及運動裝置。
技術介紹
1、隨著半導體技術的發展和工藝技術的進步，半導體器件的尺寸不斷縮小，晶圓上致命缺陷的尺寸也變得越來越小，導致缺陷的檢測變得更加困難。電子束檢測設備克服了光學波長的限制，且由于其優異的分辨率和檢測精度，成為下一代制程(7納米/5納米)的缺陷檢測不可或缺的手段。
2、然而在電子束檢測裝備中，電子束對磁場非常敏感，所以需要對電子束檢測裝備的運動裝置中的驅動電機進行磁屏蔽，以降低驅動電機的漏磁對電子束的干擾，保證電子束檢測的精度。
3、而現有技術中對直線電機增加磁屏蔽板進行磁屏蔽的結構設計中，漏磁量最小也只能達到約100nt左右，無法達到nt級的漏磁要求；而其他可以實現更低漏磁量的直線電機基本都需要采用特殊定制的磁鋼組件，往往結構復雜，需要定制化生產，導致成本較高。
4、應該注意，上面對技術背景的介紹只是為了方便對本申請的技術方案進行清楚、完整的說明，并方便本領域技術人員的理解而闡述的，不能僅僅因為這些方案在本申請的
技術介紹
部分進行了闡述而認為上述技術方案為本領域技術人員所公知。
技術實現思路
1、鑒于以上現有技術的缺點，本專利技術的目的在于提供一種驅動裝置及運動裝置，用于解決現有技術中電子束檢測裝置的驅動電機降低漏磁量的結構復雜、生產成本高的問題。
2、為實現上述目的，本專利技術提供一種驅動裝置，驅動裝置包括：驅動電機、背鐵結構和磁屏蔽結構；
3、驅動
4、背鐵結構與電機定子的外表面固定連接，背鐵結構包括第一背鐵、第二背鐵和第三背鐵；第一背鐵至少覆蓋第一部沿xoz面和xoy面分布的外表面，第二背鐵至少覆蓋第二部沿xoz面和xoy面分布的外表面，兩塊第三背鐵分別連接電機定子沿x方向的兩端，且均覆蓋電機定子在yoz面上的投影；
5、磁屏蔽結構覆蓋背鐵結構的外表面，且與背鐵結構之間至少沿x方向和z方向存在預設距離；磁屏蔽結構覆蓋電機定子顯露出的外表面，且與電機定子及電機動子之間均存在預設距離。
6、可選地，磁屏蔽結構包括：
7、第一磁屏蔽層，第一磁屏蔽層覆蓋第一背鐵沿xoz面及xoy面分布的外表面，且覆蓋連接部沿xoz面分布的至少部分外表面；
8、第二磁屏蔽層，第二磁屏蔽層覆蓋第二背鐵沿xoz面及xoy面分布的外表面，且覆蓋連接部沿xoz面分布的至少部分外表面；第一磁屏蔽層與第二磁屏蔽層共同完全覆蓋連接部沿xoz面分布的外表面；
9、兩塊第三磁屏蔽層，每塊第三磁屏蔽層各自覆蓋于一塊第三背鐵沿yoz面分布的外表面。
10、可選地，第一磁屏蔽層和第二磁屏蔽層為一體成型結構。
11、可選地，n個驅動電機沿x方向排列，n為大于等于2的整數；
12、第一背鐵為沿x方向排列的由a段分體結構固定連接得到的結構，第二背鐵為沿x方向排列的由b段分體結構固定連接得到的結構；
13、和/或，第一磁屏蔽層為沿x方向排列的由c段分體結構固定連接得到的結構，第二磁屏蔽層為沿x方向排列的由d段分體結構固定連接得到的結構；
14、a、b、c、d均為正整數。
15、可選地，第一磁屏蔽層與第一背鐵之間通過第一連接件固定連接，第一連接件的材料為不導磁材料；和/或第二磁屏蔽層與第二背鐵之間通過第二連接件固定連接，第二連接件的材料為不導磁材料；和/或第三磁屏蔽層與第三背鐵之間通過第三連接件固定連接，第三連接件的材料為不導磁材料。
16、可選地，電機定子包括磁鋼和磁鋼載體，背鐵結構的導磁率大于等于電機定子中磁鋼載體的導磁率。
17、可選地，第一部包括第一磁鋼載體和第一磁鋼，第一背鐵至少沿z方向的厚度為第一磁鋼載體沿z方向的厚度的0.5-2倍；第二部包括第二磁鋼載體和第二磁鋼，第二背鐵至少沿z方向的厚度為第二磁鋼載體沿z方向的厚度的0.5-2倍；第三背鐵沿x方向的厚度為第一磁鋼載體或第二磁鋼載體沿z方向的厚度的0.5-2倍。
18、可選地，第一磁鋼載體包括第一主體部和第一回折部，第一主體部覆蓋第一磁鋼沿xoy面分布且遠離第二部的外表面，第一回折部覆蓋第一磁鋼沿xoz面分布且靠近電機動子的外表面；第二磁鋼載體包括第二主體部和第二回折部，第二主體部覆蓋第二磁鋼沿xoy面分布且遠離第一部的外表面，第二回折部覆蓋第二磁鋼沿xoz面分布且靠近電機動子的外表面。
19、可選地，驅動裝置包括相互對稱設置的兩組驅動電機、背鐵結構和磁屏蔽結構，兩組驅動電機均用于驅動對應的電機動子沿x方向運動，兩組驅動電機的連接部之間的距離小于兩組驅動結構的電機動子之間的距離。
20、本專利技術還提供一種運動裝置，運動裝置包括兩組以上驅動結構，各組驅動結構之間的驅動方向各不相同，各組驅動結構中的任意一組或一組以上的任意組合包括上述任意一種的驅動裝置。
21、如上，本專利技術的驅動裝置及運動裝置，具有以下有益效果：
22、本專利技術通過在電機定子外設置背鐵結構降低漏磁，可直接在原有電機定子結構上改裝，簡單方便成本低，有利于產業實際推廣使用；
23、本專利技術配合背鐵結構外包裹磁屏蔽結構，減少漏磁量至nt級；
24、本專利技術通過背鐵結構作為磁屏蔽結構和電機定子之間的連接件，提高磁屏蔽結構安裝可靠性；
25、本專利技術通過兩組驅動電機連接部相背設置，隔離電機動子附近的兩個磁場之間相互作用，避免產生更強的漏磁量，進一步提高磁屏蔽效果。
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1.一種驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括：驅動電機、背鐵結構和磁屏蔽結構；所述驅動電機包括電機定子(110)和電機動子(120)，所述電機動子(120)可相對所述電機定子(110)沿X方向運動；所述電機定子(110)包括沿X方向延伸的第一部(112)、第二部(113)以及連接部(111)，所述第一部(112)和所述第二部(113)沿Z方向間隔對稱設置，所述連接部(111)沿Z方向延伸的兩端分別連接所述第一部(112)和所述第二部(113)沿Y方向同側的一端；所述電機動子(120)垂直于X方向的截面呈“U”形，所述電機動子(120)至少部分設置在所述第一部(112)、第二部(113)之間；
2.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述磁屏蔽結構包括：
3.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一磁屏蔽層(310)和所述第二磁屏蔽層(320)為一體成型結構。
4.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，n個所述驅動電機沿X方向排列，n為大于等于2的整數；
5.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一磁屏
6.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述電機定子(110)包括磁鋼和磁鋼載體，所述背鐵結構的導磁率大于等于所述電機定子(110)中所述磁鋼載體的導磁率。
7.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一部(112)包括第一磁鋼載體(1121)和第一磁鋼(1122)，所述第一背鐵(210)至少沿Z方向的厚度為所述第一磁鋼載體(1121)沿Z方向的厚度的0.5-2倍；所述第二部(113)包括第二磁鋼載體(1131)和第二磁鋼(1132)，所述第二背鐵(220)至少沿Z方向的厚度為所述第二磁鋼載體(1131)沿Z方向的厚度的0.5-2倍；所述第三背鐵(230)沿X方向的厚度為所述第一磁鋼載體(1121)或所述第二磁鋼載體(1131)沿Z方向的厚度的0.5-2倍。
8.根據權利要求7所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一磁鋼載體(1121)包括第一主體部(1121a)和第一回折部(1121b)，所述第一主體部(1121a)覆蓋所述第一磁鋼(1122)沿XOY面分布且遠離所述第二部(113)的外表面，所述第一回折部(1121b)覆蓋所述第一磁鋼(1122)沿XOZ面分布且靠近所述電機動子(120)的外表面；所述第二磁鋼載體(1131)包括第二主體部(1131a)和第二回折部(1131b)，所述第二主體部(1131a)覆蓋所述第二磁鋼(1132)沿XOY面分布且遠離所述第一部(112)的外表面，所述第二回折部(1131b)覆蓋所述第二磁鋼(1132)沿XOZ面分布且靠近所述電機動子(120)的外表面。
9.根據權利要求1-8中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括相互對稱設置的兩組所述驅動電機、所述背鐵結構和所述磁屏蔽結構，兩組所述驅動電機均用于驅動對應的所述電機動子(120)沿X方向運動，兩組所述驅動電機的所述連接部(111)之間的距離小于兩組所述驅動結構的所述電機動子(120)之間的距離。
10.一種運動裝置，其特征在于，所述運動裝置包括兩組以上驅動結構，各組所述驅動結構之間的驅動方向各不相同，各組所述驅動結構中的任意一組或一組以上的任意組合包括權利要求1-9中任意一項所述的驅動裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括：驅動電機、背鐵結構和磁屏蔽結構；所述驅動電機包括電機定子(110)和電機動子(120)，所述電機動子(120)可相對所述電機定子(110)沿x方向運動；所述電機定子(110)包括沿x方向延伸的第一部(112)、第二部(113)以及連接部(111)，所述第一部(112)和所述第二部(113)沿z方向間隔對稱設置，所述連接部(111)沿z方向延伸的兩端分別連接所述第一部(112)和所述第二部(113)沿y方向同側的一端；所述電機動子(120)垂直于x方向的截面呈“u”形，所述電機動子(120)至少部分設置在所述第一部(112)、第二部(113)之間；
2.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述磁屏蔽結構包括：
3.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一磁屏蔽層(310)和所述第二磁屏蔽層(320)為一體成型結構。
4.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，n個所述驅動電機沿x方向排列，n為大于等于2的整數；
5.根據權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一磁屏蔽層(310)與所述第一背鐵(210)之間通過第一連接件(211)固定連接，所述第一連接件(211)的材料為不導磁材料；和/或所述第二磁屏蔽層(320)與所述第二背鐵(220)之間通過第二連接件(221)固定連接，所述第二連接件(221)的材料為不導磁材料；和/或所述第三磁屏蔽層(330)與所述第三背鐵(230)之間通過第三連接件(231)固定連接，所述第三連接件(231)的材料為不導磁材料。
6.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述電機定子(110)包括磁鋼和磁鋼載體，所述背鐵結構的導磁率大于等于所述電機定子(110)中所述磁鋼載體的導磁率。
7.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一部(112...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳嘯虎，江旭初，彭仁強，吳火亮，
申請(專利權)人：蘇州隱冠半導體技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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