【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光伏設備領域，尤其是一種結構緊湊的pecvd設備。
技術介紹
1、傳統的板式pecvd設備以多個沉積腔串鏈的多站式沉積技術來降低設備節拍提高單機產能，雖然此技術為可行的降本技術路線，但隨著研究深入，多站式沉積技術發現不足之處：沉積腔數量增加使工藝沉積被節拍強制均勻分割，影響某功能層的非晶/微晶復合膜層沉積工藝的完整性和工藝窗口變窄。如圖5所示，采用多站式沉積技術，為保證銜接穩定，每個沉積腔需單獨配有泵組700及排氣閥門600。同時多站式沉積技術的進料節拍塊，導致前后上下料輔助的時間較短，為保證運行節拍搭配，因此在布局上需依次設置進片腔100、預熱腔200、工藝腔300、冷卻腔400、出片腔500，主體總廠約為37米左右。由于一個腔體占地面積大，腔室越多不僅增加設備成本還增加占據廠房成本。同時采用多站式沉積，在工藝腔內傳送載板時，還需開關閥門，增加沉積的輔助時間，影響產能。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于解決現有技術存在的占據面積大，產能效率有待提高的問題，提供一種結構緊湊的pecvd設備，不僅能夠縮短產線長度，節約設備、占地成本，而且還能提高產能效率。
2、為實現上述目的，本專利技術采用以下技術方案：
3、本專利技術公開了一種結構緊湊的pecvd設備，其包括依次通過門閥連接的進片預熱腔、一站式工藝腔和冷卻出片腔。所述一站式工藝腔包括若干個相通且能獨立工作的沉積腔。所述進片預熱腔包括進出片堆棧腔和加熱片，所述冷卻出片腔包括進出片堆棧腔和冷
4、其中，進出片堆棧腔包括腔體、載板傳動機構、堆棧升降機構和真空發生器。載板傳動機構設置于腔體的兩側。所述堆棧升降機構可上下移動地設置于進片預熱腔內，堆棧升降機構上設置有若干個放置載板的支撐間隔，支撐間隔的底部設置有加熱片或冷卻片，支撐間隔、加熱片和冷卻片上設置有避讓載板傳動機構的避讓區；當堆棧升降機構降到最低處時，載板傳動機構位于最上層支撐間隔的上方，當堆棧升降機構升到最高處時，載板傳動機構位于最下層支撐間隔的下方；所述真空發生器設置于腔體外部。
5、進一步地，所述載板傳動機構包括傳送輪和傳送驅動件，所述傳送輪可轉動地設置于腔體兩側，載板放置于傳送輪上，傳送驅動件固定于腔體外部并與傳送輪動力連接用于驅動傳送輪轉動。
6、進一步地，所述堆棧升降機構包括升降驅動單元、導向桿組和載板收納框；所述導向桿組一端固定于腔體的上端或者下端，另一端穿過載板收納框；所述升降驅動單元與載板收納框連接用于驅動載板收納框順著導向桿組上下移動；所述支撐間隔位于載板收納框內。
7、進一步地，進出片堆棧腔還包括腔體機架，所述腔體固定在腔體機架上方，真空發生器一端與腔體的底部連通，另一端與外界連通。
8、進一步地，所述堆棧升降機構還包括上拉桿組，所述上拉桿組的下端分別與載板收納框的上端面多點連接，上端與升降驅動單元連接。
9、進一步地，所述一站式工藝腔還包括抽空泵組，一個抽空泵組可對應一個或多個沉積腔。
10、本專利技術的有益之處為：
11、本專利技術采用一站式沉積結構代替現有的多站式沉積技術，工藝腔內的沉積腔相通且能獨立工作，因此無需每個腔體均設置抽空泵組，可幾個沉積腔排氣管道通過管道串聯至同一泵組進行抽空排氣，減少泵組數量，節約成本。同時取消了沉積腔之間的門板閥，可減少工藝腔的輔助工序時間，設備節拍降低，產能提高。同時一站式沉積結構為長節拍沉積，前后端上下料及預處理時間加長，從而可實現整合腔體，將現有技術的進片腔與預熱腔、冷卻腔與出片腔分別功能合并為進片預熱腔、冷卻出片腔，減少腔體數量，縮短產線長度，減少占地成本，降低設備加工制造成本和安裝工期。
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1.一種結構緊湊的PECVD設備，其特征在于：包括依次通過門閥連接的進片預熱腔(1)、一站式工藝腔(2)和冷卻出片腔(3)；所述一站式工藝腔(2)包括若干個相通且能獨立工作的沉積腔(21)；所述進片預熱腔(1)包括進出片堆棧腔(4)和加熱片(5)，所述冷卻出片腔(3)包括進出片堆棧腔(4)和冷卻片(6)；
2.根據權利要求1所述的結構緊湊的PECVD設備，其特征在于：所述載板傳動機構(43)包括傳送輪(431)和傳送驅動件(432)，所述傳送輪(431)可轉動地設置于腔體(42)兩側，載板放置于傳送輪(431)上，傳送驅動件(432)固定于腔體(42)外部并與傳送輪(431)動力連接用于驅動傳送輪(431)轉動。
3.根據權利要求1所述的結構緊湊的PECVD設備，其特征在于：所述堆棧升降機構(44)包括升降驅動單元(443)、導向桿組(445)和載板收納框(446)；所述導向桿組(445)一端固定于腔體(42)的上端或者下端，另一端穿過載板收納框(446)；所述升降驅動單元(443)與載板收納框(446)連接用于驅動載板收納框(446)順著導向桿組(445
4.根據權利要求1所述的結構緊湊的PECVD設備，其特征在于：所述進出片堆棧腔(4)還包括腔體機架(41)，所述腔體(42)固定在腔體機架(41)上方，真空發生器(45)一端與腔體(42)的底部連通，另一端與外界連通。
5.根據權利要求3所述的結構緊湊的PECVD設備，其特征在于：所述堆棧升降機構(44)還包括上拉桿組(444)，所述上拉桿組(444)的下端分別與載板收納框(446)的上端面多點連接，上端與升降驅動單元(443)連接。
6.根據權利要求1所述的結構緊湊的PECVD設備，其特征在于：所述一站式工藝腔(2)還包括抽空泵組(22)，一個抽空泵組(22)可對應一個或多個沉積腔(21)。
...【技術特征摘要】
1.一種結構緊湊的pecvd設備，其特征在于：包括依次通過門閥連接的進片預熱腔(1)、一站式工藝腔(2)和冷卻出片腔(3)；所述一站式工藝腔(2)包括若干個相通且能獨立工作的沉積腔(21)；所述進片預熱腔(1)包括進出片堆棧腔(4)和加熱片(5)，所述冷卻出片腔(3)包括進出片堆棧腔(4)和冷卻片(6)；
2.根據權利要求1所述的結構緊湊的pecvd設備，其特征在于：所述載板傳動機構(43)包括傳送輪(431)和傳送驅動件(432)，所述傳送輪(431)可轉動地設置于腔體(42)兩側，載板放置于傳送輪(431)上，傳送驅動件(432)固定于腔體(42)外部并與傳送輪(431)動力連接用于驅動傳送輪(431)轉動。
3.根據權利要求1所述的結構緊湊的pecvd設備，其特征在于：所述堆棧升降機構(44)包括升降驅動單元(443)、導向桿組(445)和載板收納框(446)；所述導向桿組(445)一端固定于腔體(42)的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：楊與勝，單洪青，劉義軍，郭禮賢，
申請(專利權)人：福建金石能源有限公司，
類型：發明
國別省市：
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