【技術實現步驟摘要】
本申請涉及外觀檢測，特別是涉及一種外觀檢測機構及測試設備。
技術介紹
1、在集成電路ic制造中，半導體設備貫穿整個封裝流程，而后段封裝工序完成后，需要對半導體器件（如芯片）進行外觀檢測，六面檢測芯片裝置可以實現所需的檢測、挑選功能。六面檢裝置對高精度半導體器件的外觀進行六個表面的光學立體檢測，實現在對芯片的吸取運動中全自動高精度識別、檢測、挑選功能。
2、目前，芯片通過通常通過六面檢相機對其外觀進行拍攝檢測，但由于單次只能對一個芯片進行檢測，導致芯片的六面檢效率過低，嚴重影響芯片的制造效率。
技術實現思路
1、基于此，有必要針對現有芯片的六面檢效率過低的問題，提供一種外觀檢測機構及測試設備。
2、一種外觀檢測機構，所述外觀檢測機構包括：
3、機臺；
4、第一相機，設置于所述機臺，用于獲取待檢芯片的頂面外觀信息；
5、多個第二相機，多個所述第二相機間隔設置于所述機臺，所述第二相機用于獲取所述待檢芯片的底面與環面外觀信息；
6、搬運組件，所述搬運組件設置于所述機臺，所述搬運組件設置有多個料盤，所述料盤用于所述待檢芯片的承載，所述待檢芯片在所述搬運組件上能夠沿x向與y向滑動，以在所述第一相機與所述第二相機之間運動。
7、在其中一個實施例中，所述搬運組件包括x向滑動模組、第一y向滑動模組與吸附模塊，其中：
8、所述x向滑動模組為多個，多個所述x向滑動模組均設置于所述機臺，且所述x向滑動模組滑動設
9、所述第一y向滑動模組設置于所述機臺，所述吸附模塊滑動設置于所述第一y向滑動模組，用于將所述待檢芯片吸附至所述第二相機上方。
10、在其中一個實施例中，多個所述x向滑動模組均滑動設置于所述第一y向滑動模組。
11、在其中一個實施例中，所述吸附模塊為多個，多個所述吸附模塊均滑動設置于所述第一y向滑動模組，且與多個所述第二相機對應。
12、在其中一個實施例中，所述吸附模塊包括多個吸附件，且多個所述吸附件間隔設置。
13、在其中一個實施例中，所述外觀檢測機構還包括安裝架，所述安裝架設置于所述機臺，所述第一相機滑動設置于所述安裝架。
14、在其中一個實施例中，所述外觀檢測機構還包括第二y向滑動模組，所述第二y向滑動模組設置于所述安裝架，且所述第一相機滑動設置于所述第二y向滑動模組。
15、在其中一個實施例中，所述第二相機包括殼體、鏡頭與攝像機，所述殼體內置有光源與棱鏡，所述棱鏡用于將所述光源發射的光束進行折射，所述鏡頭與所述攝像機均設置于所述殼體，且所述攝像機位于所述殼體靠近所述鏡頭的端部。
16、在其中一個實施例中，所述第二相機至少部分嵌設于所述機臺內部。
17、一種測試設備，所述測試設備包括：
18、如上述技術方案任一項所述的外觀檢測機構；以及
19、分料機構，所述分料機構設置于所述機臺，用于承接所述外觀檢測機構檢測后的所述待檢芯片。
20、上述外觀檢測機構及測試設備，待檢芯片在搬運組件上能夠沿x向與y向滑動，以使得待檢芯片在第一相機與第二相機之間運動，通過第一相機對待檢芯片的頂面外觀進行檢測，第二相機對待檢芯片的底面與環面外觀進行檢測，以檢測待檢芯片的外觀缺陷。本申請提供的外觀檢測機構，通過搬運組件將多個待檢芯片分別傳送至多個第二相機處進行底面與環面外觀檢測，可提高待檢芯片的外觀檢測效率。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種外觀檢測機構，其特征在于，所述外觀檢測機構包括：
2.根據權利要求1所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述搬運組件包括X向滑動模組、第一Y向滑動模組與吸附模塊，其中：
3.根據權利要求2所述的外觀檢測機構，其特征在于，多個所述X向滑動模組均滑動設置于所述第一Y向滑動模組。
4.根據權利要求2或3任一項所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述吸附模塊為多個，多個所述吸附模塊均滑動設置于所述第一Y向滑動模組，且與多個所述第二相機對應。
5.根據權利要求4所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述吸附模塊包括多個吸附件，且多個所述吸附件間隔設置。
6.根據權利要求1所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述外觀檢測機構還包括安裝架，所述安裝架設置于所述機臺，所述第一相機滑動設置于所述安裝架。
7.根據權利要求6所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述外觀檢測機構還包括第二Y向滑動模組，所述第二Y向滑動模組設置于所述安裝架，且所述第一相機滑動設置于所述第二Y向滑動模組。
8.根據權利要求1所述的外觀檢測機構，其特征在于
9.根據權利要求1所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述第二相機至少部分嵌設于所述機臺內部。
10.一種測試設備，其特征在于，所述測試設備包括：
...【技術特征摘要】
1.一種外觀檢測機構，其特征在于，所述外觀檢測機構包括：
2.根據權利要求1所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述搬運組件包括x向滑動模組、第一y向滑動模組與吸附模塊，其中：
3.根據權利要求2所述的外觀檢測機構，其特征在于，多個所述x向滑動模組均滑動設置于所述第一y向滑動模組。
4.根據權利要求2或3任一項所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述吸附模塊為多個，多個所述吸附模塊均滑動設置于所述第一y向滑動模組，且與多個所述第二相機對應。
5.根據權利要求4所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述吸附模塊包括多個吸附件，且多個所述吸附件間隔設置。
6.根據權利要求1所述的外觀檢測機構，其特征在于，所述外觀檢測機構還包括...
【專利技術屬性】
技術研發人員：儲成贇，楊勝利，
申請(專利權)人：蘇州華興源創科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。