【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于半導體試驗，具體涉及一種封蓋扭矩試驗夾具及使用方法。
技術介紹
1、扭矩試驗是一種用于測量物體在受到扭矩作用時的力學性能的測試方法。他在許多工程和科學領域都有廣泛的應用，包括機械工程、材料科學、航空航天等領域。
2、根據gjb548方法2024玻璃熔封蓋板的扭矩試驗，扭矩試驗是一種常見的機械測試方法，用于評估扭矩承受能力，目的是確定玻璃熔封器件的封裝抗剪切強度。在對半導體器件進行破壞性物理分析（簡稱：dpa）和失效分析（簡稱：fa）中該項試驗往往需要對其進行封蓋扭矩試驗，封蓋扭矩試驗的質量對于dpa評價和失效分析的準確性至關重要，試驗設備應包括合適的固定式或可調節式的夾具和固定裝置，以便當扭矩加到密封區時器件能夠固定。扭轉機構和固定裝置應能支撐封裝基座和蓋板，以便保證扭矩的力主要施加在密封區，而被試驗器件的外殼沒有明顯的彎曲、翹起和移動。可采用扭轉扳手或其他扭轉機構將扭力施加到蓋板上以滿足試驗的要求，這些技術背景因素使得半導體元器件的扭矩試驗具有一定的挑戰性，需要專門的測試設備、技術和專業知識。扭矩試驗在半導體元器件的研發、制造和質量控制過程中起著重要的作用，有助于確保元器件的性能和可靠性符合要求，正確的扭矩試驗方法可以提高試驗結果的準確性，為可靠性評估提供有力支撐，目前，該試驗暫無合適的試驗夾具或設備，因此，半導體器件蓋板的扭矩試驗如何能保證試驗要求，正確地給出半導體器件蓋板扭矩試驗的dpa評價或準確分析出失效原因就顯得尤為重要。
技術實現思路
1、本專
2、為了達到上述目的，本專利技術采用如下技術方案：
3、第一方面，本專利技術提供一種封蓋扭矩試驗夾具，包括上圓形卡盤和下圓形卡盤，所述上圓形卡盤和所述下圓形卡盤同心同軸，所述上圓形卡盤設置在軸承上，所述上圓形卡盤頂部設置有凹坑，所述軸承兩側設置有高低度調節桿，所述高低度調節桿使軸承上下移動。
4、本專利技術進一步的改進在于，所述軸承上方設置有方形孔，所述方形孔位于高低度調節桿內側。
5、本專利技術進一步的改進在于，所述下圓形卡盤兩側均設置有支撐柱，所述支撐柱上端穿過軸承上的方形孔。
6、本專利技術進一步的改進在于，所述保護機制穿過軸承與支撐柱連接。
7、本專利技術進一步的改進在于，所述上圓形卡盤和下圓形卡盤均采用不銹鋼材料制成。
8、本專利技術進一步的改進在于，所述高低度調節桿頂端均設置有轉盤手柄。
9、本專利技術進一步的改進在于，所述上圓形卡盤和下圓形卡盤側面均開設有六棱螺紋孔。
10、本專利技術進一步的改進在于，所述下圓形卡盤固定設置在底座上。
11、第二方面，本專利技術還提供一種封蓋扭矩試驗夾具的使用方法，包括以下步驟：
12、步驟一，將玻璃熔封器件的封裝基座固定在下圓形卡盤中心位置，并夾緊；
13、步驟二，將封裝基座固定好后，通過高低度調節桿調節軸承的高度，軸承帶動上圓形卡盤向下移動，使上圓形卡盤下降至玻璃熔封器件的蓋板處并夾緊；
14、步驟三，將數顯扭力扳手插入凹坑中，向任意一方向慢慢扭動，隨著扭力扳手的轉動，數顯器上會顯示相應的扭力值，直至到達玻璃熔封器件蓋板設定的扭力值，停止轉動扭力扳手。
15、本專利技術進一步的改進在于，所述凹坑中能夠插入不同扭力值的扭矩扳手。
16、與現有技術相比，本專利技術具有如下有益效果：
17、本專利技術提供了一種封蓋扭矩試驗夾具，通過設置上圓形卡盤和下圓形卡盤，并將上圓形卡盤和下圓形卡盤設置為同心同軸，確保了試驗過程中被測蓋板的受力均勻，此外設置了高低度調節桿，可以方便地調整上圓形卡盤相對于下圓形卡盤的高度位置，這種設計使得夾具能夠適應不同尺寸和高度的蓋板測試需求，增強了夾具的通用性和靈活性；上圓形卡盤設置在軸承上，軸承為上圓形卡盤提供了較大的支撐力，同時在上圓形卡盤上設置凹坑，凹坑能夠插入扭力扳手，通過扭動扭力扳手能夠把扭矩力加到蓋板上，通過使用扭矩試驗夾具，可對各種扭矩、轉矩、轉速等物理量進行精確測量和數據分析，滿足多種封裝類型結構樣品的蓋板扭矩試驗及材料分析，該扭矩夾具解決了扭矩試驗中的要求，保證試驗結果的準確性，同時該扭矩試驗可以評估材料或組件在受到扭轉力時的性能，保證產品在使用過程中能夠承受預期的扭矩負載減少故障和損壞的風險。
18、進一步的，軸承上方設置有方形孔，方形孔位于高低度調節桿內側，下圓形卡盤兩側均設置有支撐柱，支撐柱上端穿過軸承上的方形孔，支撐柱的設置為夾具提供了良好的穩定性和剛性，確保了上圓形卡盤在承受扭矩時能夠保持平穩不晃動，支撐柱具有高強度和高剛性，能夠承受較大的負載而不易變形，從而為整個夾具提供了堅實的支撐基礎。
19、進一步的，保護機制穿過軸承與支撐柱連接，保護機制設置為螺母，當上圓形卡盤通過高低度調節桿移動至需要高度時，擰緊保護機制，使保護機制與支撐柱螺紋連接，提高操作的安全性，防止墜落發生。
20、進一步的，上圓形卡盤和下圓形卡盤均采用不銹鋼材料制成，不銹鋼材料具有優異的耐腐蝕性、耐磨性、耐高溫性能，同時還具備高強度和高硬度，在扭矩試驗過程中，上圓形卡盤和下圓形卡盤需要牢固地夾持玻璃熔封蓋板，并承受來自測試設備的扭矩力，不銹鋼的材質確保在測試過程中不會發生變形或損壞，延長了上圓形卡盤和下圓形卡盤的使用壽命，減少了維護和更換的頻率。
21、進一步的，高低度調節桿頂端均設置有轉盤手柄，通過轉盤手柄，用戶可以輕松、精確地調節高低度調節桿的位置，進而實現對上圓形卡盤高度的快速調整。
22、進一步的，上圓形卡盤和下圓形卡盤側面均開設有六棱螺紋孔，上圓形卡盤與下圓形卡盤，作為夾持裝置的主要部件，其側面設計有六棱螺紋孔，當需要固定玻璃熔封器件時，操作人員使用匹配的六棱扳手，將其依次插入下圓形卡盤和上圓形卡盤的六棱螺紋孔中，通過旋轉六棱扳手，能夠使位于上圓形卡盤和下圓形卡盤中心位置的玻璃熔封器件被夾緊。
23、進一步的，下圓形卡盤固定設置在底座上，下圓形卡盤在試驗過程中位置無法移動，固定設置的下圓形卡盤能夠確保在試驗過程中始終保持穩定的位置，不會因振動或沖擊而發生移動或偏移，而且固定設置的下圓形卡盤還能在一定程度上提高試驗過程的安全性，當上圓形卡盤對玻璃熔封器件施加扭力時，如果下圓形卡盤發生移動，可能會導致器件脫落或損壞，甚至引發安全事故，而下圓形卡盤的固定設置則能有效避免這種情況的發生，確保試驗過程的安全順利進行。
24、本專利技術還提供了一種封蓋扭矩試驗夾具的使用方法，包括將玻璃熔封器件的封裝基座固定在下圓形卡盤中心位置，并夾緊，將封裝基座固定好后，通過高低度調節桿調節軸承的高度，軸承帶動上圓形卡盤向下移動，使上圓形卡盤下降至玻璃熔封器件的蓋板處并夾緊，將數顯扭力扳手插入凹坑中，向任意一方向本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，包括上圓形卡盤（4）和下圓形卡盤（5），所述上圓形卡盤（4）和所述下圓形卡盤（5）同心同軸，所述上圓形卡盤（4）設置在軸承（3）上，所述上圓形卡盤（4）頂部設置有凹坑（2），所述軸承（3）兩側設置有高低度調節桿（1），所述高低度調節桿（1）使軸承（3）上下移動。
2.根據權利要求1所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述軸承（3）上方設置有方形孔（8），所述方形孔（8）位于高低度調節桿（1）內側。
3.根據權利要求2所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述下圓形卡盤（5）兩側均設置有支撐柱（9），所述支撐柱（9）上端穿過軸承（3）上的方形孔（8）。
4.根據權利要求3所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述軸承（3）上設置有保護機制（6），所述保護機制（6）穿過軸承（3）與支撐柱（9）連接。
5.根據權利要求1所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述上圓形卡盤（4）和下圓形卡盤（5）均采用不銹鋼材料制成。
6.根據權利要求1所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述
7.根據權利要求1所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述上圓形卡盤（4）和下圓形卡盤（5）側面均開設有六棱螺紋孔。
8.根據權利要求1所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述下圓形卡盤（5）固定設置在底座（7）上。
9.一種封蓋扭矩試驗夾具的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：
10.根據權利要求9所述的一種封蓋扭矩試驗夾具的使用方法，其特征在于，所述凹坑（2）中能夠插入不同扭力值的扭矩扳手。
...【技術特征摘要】
1.一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，包括上圓形卡盤（4）和下圓形卡盤（5），所述上圓形卡盤（4）和所述下圓形卡盤（5）同心同軸，所述上圓形卡盤（4）設置在軸承（3）上，所述上圓形卡盤（4）頂部設置有凹坑（2），所述軸承（3）兩側設置有高低度調節桿（1），所述高低度調節桿（1）使軸承（3）上下移動。
2.根據權利要求1所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述軸承（3）上方設置有方形孔（8），所述方形孔（8）位于高低度調節桿（1）內側。
3.根據權利要求2所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述下圓形卡盤（5）兩側均設置有支撐柱（9），所述支撐柱（9）上端穿過軸承（3）上的方形孔（8）。
4.根據權利要求3所述的一種封蓋扭矩試驗夾具，其特征在于，所述軸承（3）上設置有保護機制（6），所述保護機制（6...
【專利技術屬性】
技術研發人員：薛亞楠，郭飛，
申請(專利權)人：西安太乙電子有限公司，
類型：發明
國別省市：
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