【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種光伏濕法的刻蝕設備，尤其是一種刻蝕機恒壓滴液系統。
技術介紹
1、現有技術中在刻蝕清洗設備上為了將純水均勻的滴落在硅片上表面，使硅片上表面形成均勻且完整的水膜達到只刻蝕硅片下表面，采用的是微型隔膜泵做動力，從滴液箱吸純水，純水由管道輸送，經過滴水刀進行分流，均勻的滴落在硅片上表面。微型隔膜泵使用模擬電壓調速，頻繁啟停，會導致微型隔膜泵過早損壞，使用壽命短；此外，微型隔膜泵對純水介質要求太高，如純水介質中含有灰塵，油污等污染物會污染微型隔膜泵泵內零部件，會導致微型隔膜泵的流量小達不到使用需求，或過早損壞。由于微型隔膜泵頻繁損壞，增加了更換檢修時間，影響刻蝕清洗設備穩定性，降低了設備產能。再者，由于出水量僅僅依靠微信隔膜泵控制，導致滴水刀的出水不均勻，也不穩定。
技術實現思路
1、為解決上述滴水刀出水不均勻、不穩定、微型隔膜泵容易損壞導致設備穩定性低以及影響產能的問題，本技術提供一種刻蝕機恒壓滴液系統，具體技術方案為：
2、一種刻蝕機恒壓滴液系統，包括：滴液箱，用于存放純水；恒壓管，設于所述滴液箱的下方，且與所述滴液箱相通；若干手動隔膜閥，設于所述恒壓管上；若干氣動隔膜閥，設于所述手動隔膜閥上，且與所述手動隔膜閥一一對應；以及若干滴水刀，設于所述氣動隔膜閥上，且與所述氣動隔膜閥一一對應。
3、優選的，所述恒壓管上還設有排氣管。
4、優選的，還包括：浮球，設于所述滴液箱內。
5、優選的，還包括：若干固定板，設于所述氣動隔膜閥和
6、本技術提供的一種刻蝕機恒壓滴液系統既能保證滴液的穩定性和均勻性，同時能保證長期穩定的運行，減少售后維修維護成本，降低了人工成本，同時提高了清洗的產能。
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1.一種刻蝕機恒壓滴液系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種刻蝕機恒壓滴液系統，其特征在于，所述恒壓管(5)上還設有排氣管(4)。
3.根據權利要求1所述的一種刻蝕機恒壓滴液系統，其特征在于，還包括：浮球(2)，設于所述滴液箱(1)內。
4.根據權利要求1所述的一種刻蝕機恒壓滴液系統，其特征在于，還包括：若干固定板(91)，設于所述氣動隔膜閥(7)和所述手動隔膜閥(6)上。
【技術特征摘要】
1.一種刻蝕機恒壓滴液系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種刻蝕機恒壓滴液系統，其特征在于，所述恒壓管(5)上還設有排氣管(4)。
3.根據權利要求1所述的一種刻蝕機恒壓滴液...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王學衛，谷士斌，代聰，
申請(專利權)人：無錫釜川科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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