【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶制造，尤其是涉及一種污氬氣排放聯鎖控制系統及氬氣回收裝置。
技術介紹
1、氬氣回收裝置用于回收單晶車間的粗氬氣，氬氣回收裝置對粗氬氣進行除塵、壓縮、除碳、除氧、吸附co2后送入精餾塔中，進入精餾塔的粗氬氣主要以n2、ar、h2為主，通過氣體露點的不同進行精餾分離，在精餾塔底部得到合格的液氬，液氬送入上部的冷凝蒸發器，在冷凝蒸發器內吸收熱量后得到蒸發氬氣，蒸發氬氣作為產品氣送出精餾塔提供給用戶使用；在精餾塔的頂部得到污氬氣。
2、目前，dcs操作人員通過觀測冷凝蒸發器內溫度是否在下降，色譜分析儀（為10分鐘/次采樣分析）檢測n2、h2是否在下降，粗氬氣內氧含量是否在下降，判斷精餾塔內工況是否正常，進而手動調整污氬氣放空調節閥的開度、控制污氬氣的排放量，從而確保精餾塔內分離出的n2、h2等不滯留在裝置中，保證液氬和產品氣的純度。
3、由于粗氬氣內o2、n2、h2等的含量不是穩定的，受單晶車間實際生產情況影響而不斷的波動，精餾塔內的工況也不停波動，上述操作方法受dcs操作人員工作經驗和技能水平影響，容易出現污氬氣過多排放，或在出現粗氬氣異常波動時未及時調整污氬氣排放量，造成精餾塔內液氬污染，使產品氣不合格，此外，排放的污氬氣成分為n2占45%、h2占10%、ar占40%，這部分污氬氣中ar的占比很大，污氬氣過多排放時造成了大量氬氣浪費。
4、公開于該
技術介紹
部分的信息僅僅旨在加深對本技術總體
技術介紹
的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成本領域技術人員所公知的現有技術。p>
技術實現思路
1、針對上述情況，本技術提供一種污氬氣排放聯鎖控制系統及氬氣回收裝置，旨在解決傳統方式不能及時調整污氬氣排放量，以及污氬氣過多排放時造成了大量氬氣浪費的技術問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：
3、第一方面，本技術提供一種污氬氣排放聯鎖控制系統，其包括在線分析設備、污氬氣放空調節閥和dcs控制系統，在線分析設備的輸出端電性連接dcs控制系統的輸入端，dcs控制系統的輸出端電性連接污氬氣放空調節閥的控制端；
4、在線分析設備包括粗氬氣氧含量分析儀、污氬氣氮氫含量分析儀、污氬氣排放壓力檢測器、冷凝蒸發器溫度檢測器和冷凝蒸發器氮含量分析儀；
5、污氬氣放空調節閥與精餾塔的頂部連接，用于排放污氬氣；精餾塔包括冷凝蒸發器；
6、dcs控制系統用于根據在線分析設備反饋的數據，自動地調節污氬氣放空調節閥的開度。
7、在本技術的一些實施例中，在線分析設備的分析精度為1%。
8、在本技術的一些實施例中，在線分析設備的飄移量為1%/月。
9、在本技術的一些實施例中，在線分析設備的分析時間為1分鐘。
10、在本技術的一些實施例中，粗氬氣氧含量分析儀用于檢測經過除塵、壓縮、除碳、除氧和吸附co2后粗氬氣中的氧含量。
11、第二方面，本技術提供一種氬氣回收裝置，其主要可以包括：
12、預處理裝置，用于對粗氬氣進行除塵、壓縮、除碳、除氧和吸附co2；
13、精餾塔，用于對經過預處理裝置處理后的粗氬氣進行精餾分離；
14、污氬氣排放聯鎖控制系統。
15、本技術實施例至少具有如下優點或有益效果：
16、通過自動、及時調節污氬氣放空調節閥的開度，有效保證了液氬和產品氣的純度，通過自動控制污氬氣的排放量，提高了氬氣回收裝置對粗氬氣中ar的回收率。
17、本技術的其他特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得明顯，或者通過實施本技術而了解。
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1.一種污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，包括在線分析設備、污氬氣放空調節閥和DCS控制系統，所述在線分析設備的輸出端電性連接所述DCS控制系統的輸入端，所述DCS控制系統的輸出端電性連接所述污氬氣放空調節閥的控制端；
2.根據權利要求1所述的污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，所述在線分析設備的分析精度為1%。
3.根據權利要求1所述的污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，所述在線分析設備的飄移量為1%/月。
4.根據權利要求1所述的污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，所述在線分析設備的分析時間為1分鐘。
5.根據權利要求1～4任一項所述的污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，所述粗氬氣氧含量分析儀用于檢測經過除塵、壓縮、除碳、除氧和吸附CO2后粗氬氣中的氧含量。
6.一種氬氣回收裝置，其特征在于，包括：
【技術特征摘要】
1.一種污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，包括在線分析設備、污氬氣放空調節閥和dcs控制系統，所述在線分析設備的輸出端電性連接所述dcs控制系統的輸入端，所述dcs控制系統的輸出端電性連接所述污氬氣放空調節閥的控制端；
2.根據權利要求1所述的污氬氣排放聯鎖控制系統，其特征在于，所述在線分析設備的分析精度為1%。
3.根據權利要求1所述的污氬氣排放聯鎖控制系統...
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐凌海，賀利強，童斌，郭文奇，陳杜秋，高強，侯光廷，胡楚漢，周洪富，
申請(專利權)人：四川永祥光伏科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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