【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶生產，尤其是涉及一種余氣回收系統。
技術介紹
1、隨著單晶生產規模不斷增加，氬氣的需求亦越來越大。在單晶工廠會設置氬氣回收裝置，用于回收單晶爐使用后氬氣并提純，減少氬氣消耗。氬氣回收裝置包括依次連接的除塵器、氣柜、原料壓縮機、除碳器、除碳預冷機、除碳純化器、除氧爐、除氧預冷機、除氧純化器、冷箱、產品壓縮機、產品緩沖罐和產品氣過濾器。被回收的氬氣經過除塵器、氣柜和原料壓縮機進行預處理后，經過除碳器、除碳預冷機和除碳純化器所組成的除碳組件進行除碳，再經過除氧爐、除氧預冷機和除氧純化器所組成的除氧組件進行除氧，最后經過冷箱、產品壓縮機、產品緩沖罐和產品氣過濾器后離開氬氣回收裝置進行利用。
2、現有氬氣回收裝置存在以下有待解決的困擾：
3、1、由于，單晶爐在使用氬氣過程中，管道會有泄漏率造成部分氬氣放散，以及，在氬氣回收裝置實際運行過程中，也存在很多氬氣放散現象，因而，需要外購部分液氬做為補充，以滿足單晶正常生產；但是，外購的液氬需要通過液氬槽車運輸至液氬儲罐進行充裝，在充裝后液氬槽車內的壓力仍有0.8mpa以上，而液氬儲罐設計壓力在0.8mpa以下，使得液氬槽車的余氣無法進入液氬儲罐，液氬槽車內的余氣無法泄放，需要返回充裝工廠進行回收處理或放空處理，造成能源浪費；
4、雖然在氬氣回收裝置中有氣柜的設計，可對從單晶爐回收的氬氣進行緩沖，但氣柜的設計壓力，無法滿足瞬時壓力高于0.1mpa以上氣體進入氣柜，否則會造成氣柜損壞，因而，難以直接將液氬槽車的余氣通過上述氬氣回收裝置進行回收。>
5、2、原料壓縮機、產品壓縮機在啟、停機或出現喘振時會對氬氣進行放空，以保護壓縮機正常運行，此部分氬氣放空無法回收，造成浪費。
6、3、除氧預冷機、除碳預冷機在置換、檢修、排放冷凝水時，需要把設備內的余氣排空，此部分氬氣放空無法回收，造成浪費。
7、4、產品氣過濾器在置換、檢修需要把設備內的余氣排空，此部分氬氣放空無法回收，造成浪費。
8、公開于該
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部分的信息僅僅旨在加深對本技術總體
技術介紹
的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成本領域技術人員所公知的現有技術。
技術實現思路
1、針對上述情況，本技術提供一種余氣回收系統，旨在至少解決上述
技術介紹
中指出的一項困擾。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：
3、本技術提供一種余氣回收系統，包括依次連接的氣柜和提純機構，還包括：
4、余氣緩沖儲罐，其入口與液氬槽車的出料口連接；
5、余氣送回管道，用于連接余氣緩沖儲罐的出口和氣柜的入口；
6、減壓閥，設置在余氣送回管道上，用于將余氣送回管道內的壓力減壓至滿足氣柜的設計壓力。
7、在本技術的一些實施例中，余氣送回管道上還設置有余氣送回自動調節閥。
8、在本技術的一些實施例中，余氣緩沖儲罐上設置有排空自動調節閥。
9、在本技術的一些實施例中，還包括汽化器，汽化器的入口與液氬槽車的出料口連接、出口與余氣緩沖儲罐的入口連接。
10、在本技術的一些實施例中，提純機構包括依次連接原料壓縮機、除碳組件、除氧組件、冷箱和產品壓縮機。
11、在本技術的一些實施例中，原料壓縮機和/或產品壓縮機排出的氬氣通過余氣回收管道輸送至余氣緩沖儲罐中。
12、在本技術的一些實施例中，除碳組件包括依次連接的除碳器、除碳預冷機和除碳純化器。
13、在本技術的一些實施例中，除碳預冷機和/或除碳純化器排出的氬氣通過余氣回收管道輸送至余氣緩沖儲罐中。
14、在本技術的一些實施例中，除氧組件包括依次連接的除氧爐、除氧預冷機和除氧純化器。
15、在本技術的一些實施例中，除氧預冷機和/或除氧純化器排出的氬氣通過余氣回收管道輸送至余氣緩沖儲罐中。
16、本技術實施例至少具有如下優點或有益效果：
17、通過余氣緩沖儲罐、余氣送回管道和減壓閥的設置，能夠將余氣緩沖儲罐的余氣輸送至氬氣回收裝置中進行提純，解決了液氬槽車余氣無法回收的難題。
18、本技術的其他特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得明顯，或者通過實施本技術而了解。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種余氣回收系統，包括依次連接的氣柜和提純機構，其特征在于，還包括：
2.根據權利要求1所述的余氣回收系統，其特征在于，所述余氣送回管道上還設置有余氣送回自動調節閥。
3.根據權利要求1所述的余氣回收系統，其特征在于，所述余氣緩沖儲罐上設置有排空自動調節閥。
4.根據權利要求1所述的余氣回收系統，其特征在于，還包括汽化器，汽化器的入口與液氬槽車的出料口連接、出口與余氣緩沖儲罐的入口連接。
5.根據權利要求1~4任一項所述的余氣回收系統，其特征在于，所述提純機構包括依次連接原料壓縮機、除碳組件、除氧組件、冷箱和產品壓縮機。
6.根據權利要求5所述的余氣回收系統，其特征在于，所述原料壓縮機和/或所述產品壓縮機排出的氬氣通過余氣回收管道輸送至所述余氣緩沖儲罐中。
7.根據權利要求5所述的余氣回收系統，其特征在于，所述除碳組件包括依次連接的除碳器、除碳預冷機和除碳純化器。
8.根據權利要求7所述的余氣回收系統，其特征在于，所述除碳預冷機和/或所述除碳純化器排出的氬氣通過余氣回收管道輸送至所述余氣緩沖儲
9.根據權利要求5所述的余氣回收系統，其特征在于，所述除氧組件包括依次連接的除氧爐、除氧預冷機和除氧純化器。
10.根據權利要求9所述的余氣回收系統，其特征在于，所述除氧預冷機和/或所述除氧純化器排出的氬氣通過余氣回收管道輸送至所述余氣緩沖儲罐中。
...【技術特征摘要】
1.一種余氣回收系統，包括依次連接的氣柜和提純機構，其特征在于，還包括：
2.根據權利要求1所述的余氣回收系統，其特征在于，所述余氣送回管道上還設置有余氣送回自動調節閥。
3.根據權利要求1所述的余氣回收系統，其特征在于，所述余氣緩沖儲罐上設置有排空自動調節閥。
4.根據權利要求1所述的余氣回收系統，其特征在于，還包括汽化器，汽化器的入口與液氬槽車的出料口連接、出口與余氣緩沖儲罐的入口連接。
5.根據權利要求1~4任一項所述的余氣回收系統，其特征在于，所述提純機構包括依次連接原料壓縮機、除碳組件、除氧組件、冷箱和產品壓縮機。
6.根據權利要求5所述的余氣回收系統，其特征在...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳杜秋，周洪富，胡楚漢，鮮洪，周林杰，代雄軍，鉉令智，
申請(專利權)人：四川永祥光伏科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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