【技術實現步驟摘要】
本公開涉及光電子集成器件領域，尤其涉及一種可調諧諧振腔和激光器。
技術介紹
1、硅光技術運用“以光代電”“光電融合”的核心理念，在功能、功耗、成本、封裝難度、可靠性、規模化等方面具有巨大優勢，但由于硅本身為間接帶隙半導體材料，發光效率極低，硅基光源集成是當前仍未完全解決的世界性難題。
2、隨著對超高速相干光通信的傳輸需求日益增大，激光器在硅光集成芯片中占據著越來越重要的地位，因此，需要提供一種突破集成化的具有可調諧諧振腔的窄線寬激光器。
技術實現思路
1、有鑒于此，本公開實施例提供一種可調諧諧振腔和激光器。
2、為達到上述目的，本公開的技術方案是這樣實現的：
3、一方面，本公開實施例提供一種可調諧諧振腔，包括：微環，包括圓弧波導部分和直波導部分；所述直波導部分上設置有熱模塊，用于調整所述微環的折射率；熱隔離槽，所述熱隔離槽具有布拉格光柵結構且位于所述熱模塊的兩側；彎曲波導，包括第一彎曲波導和第二彎曲波導，所述第一彎曲波導和所述第二彎曲波導分別與所述圓弧波導部分具有第一耦合區和第二耦合區。
4、在一些實施例中，所述彎曲波導包括彎曲部分，所述彎曲部分的曲率與所述圓弧波導部分的曲率相同。
5、在一些實施例中，所述彎曲波導的彎曲部分與所述圓弧波導部分的間距在100μm至300μm之間。
6、在一些實施例中，所述直波導部分包括直波導芯和波導包層，所述波導包層用于形成所述熱隔離槽；所述熱模塊位于所述直波導芯上方，所述熱隔離
7、在一些實施例中，所述熱隔離槽與所述直波導芯的間距在100nm至200nm之間。
8、另一方面，本公開實施例提供一種激光器，包括：依次連接的光源模塊、增益模塊和上述任一實施例中的可調諧諧振腔；所述增益模塊與所述彎曲波導連接，用于放大所述光源模塊輸出的光信號；所述可調諧諧振腔用于對所述增益模塊輸出的光信號進行頻率鎖定，輸出滿足諧振頻率的光信號；所述光源模塊還用于反射所述滿足諧振頻率的光信號，使得所述增益模塊與所述可調諧諧振腔實現自注入鎖定；輸出模塊，與所述增益模塊的輸出部分耦接，用于輸出所述自注入鎖定的光信號。
9、在一些實施例中，所述光源模塊包括：泵浦光源和第一反射器；所述增益模塊與所述泵浦光源和所述第一反射器連接。
10、在一些實施例中，還包括分束器；所述分束器的輸入端與所述增益模塊連接，所述分束器的第一輸出端與所述第一彎曲波導連接，所述分束器的第二輸出端與所述第二彎曲波導連接。
11、在一些實施例中，所述增益模塊與所述第二彎曲波導連接；所述第一彎曲波導一端設置有第二反射器，用于反射進入所述第一彎曲波導中的光信號。
12、在一些實施例中，所述輸出模塊包括第一波導、監測器和輸出耦合器；所述第一波導與所述增益模塊的輸出部分耦合，所述第一波導的一端設置有監測器，用于監測進入所述第一波導的光信號；所述第一波導的另一端設置有所述輸出耦合器，用于輸出所述自注入鎖定的光信號。
13、本公開實施例提供一種可調諧諧振腔和激光器，所述可調諧諧振腔包括：微環，包括圓弧波導部分和直波導部分；所述直波導部分上設置有熱模塊，用于調整所述微環的折射率；熱隔離槽，所述熱隔離槽具有布拉格光柵結構且位于所述熱模塊的兩側；彎曲波導，包括第一彎曲波導和第二彎曲波導，所述第一彎曲波導和所述第二彎曲波導分別與所述圓弧波導部分具有第一耦合區和第二耦合區。本公開實施例通過在微環的直波導部分上設置熱模塊，并在熱模塊兩側設置具有布拉格光柵結構的熱隔離槽，提升了可調諧諧振腔的熱調諧效率、減小了功耗，同時通過微環和熱隔離槽的共振現象，提高了可調諧諧振腔的品質因子和更窄線寬的光信號；另外在直波導部分兩側設置具有布拉格光柵結構的熱隔離槽可以提供更高的設計靈活性和性能優化空間。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種可調諧諧振腔，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述彎曲波導包括彎曲部分，所述彎曲部分的曲率與所述圓弧波導部分的曲率相同。
3.根據權利要求1所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述彎曲波導的彎曲部分與所述圓弧波導部分的間距在100μm至300μm之間。
4.根據權利要求1所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述直波導部分包括直波導芯和波導包層，所述波導包層用于形成所述熱隔離槽；
5.根據權利要求4所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述熱隔離槽與所述直波導芯的間距在100nm至200nm之間。
6.一種激光器，其特征在于，包括：依次連接的光源模塊、增益模塊和如權利要求1至5任一項所述的可調諧諧振腔；
7.根據權利要求6所述的激光器，其特征在于，所述光源模塊包括：泵浦光源和第一反射器；
8.根據權利要求6所述的激光器，其特征在于，還包括分束器；
9.根據權利要求6所述的激光器，其特征在于，所述增益模塊與所述第二彎曲波導連接；
10.根據權利要
...【技術特征摘要】
1.一種可調諧諧振腔，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述彎曲波導包括彎曲部分，所述彎曲部分的曲率與所述圓弧波導部分的曲率相同。
3.根據權利要求1所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述彎曲波導的彎曲部分與所述圓弧波導部分的間距在100μm至300μm之間。
4.根據權利要求1所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述直波導部分包括直波導芯和波導包層，所述波導包層用于形成所述熱隔離槽；
5.根據權利要求4所述的可調諧諧振腔，其特征在于，所述熱隔離槽與所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周佩奇，陳代高，張紅廣，肖希，
申請(專利權)人：武漢光谷信息光電子創新中心有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。