【技術實現步驟摘要】
本申請涉及碳化硅襯底多線切割，特別是涉及一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統、方法及介質。
技術介紹
1、碳化硅(sic)材料，特別是其單晶體形態，是電力電子產業不可或缺的關鍵材料。sic憑借其出眾的高壓和高頻電阻特性，在電動汽車系統、光伏逆變器系統、軌道交通電源控制系統等諸多系統具有廣泛應用，能夠有效縮減系統體積，簡化結構設計，并顯著提升功率密度。然而，sic襯底晶體的生產過程極為復雜，涉及苛刻的生長條件和較長的生長周期。同時，由于其高硬度特性，加工難度也相對較大。這些因素共同導致了sic襯底晶體的成本在整個sic生產鏈中占據較高比例。因此，確保sic加工過程的質量穩定、避免不良品的產生，成為了優化sic生產、降低成本并提高效率的關鍵。
2、在相關的sic晶體的切割過程中，當切割線發生斷裂時，存在以下問題：當切割室內的切割線斷裂時，由于高速飛散，這些斷裂的切割線往往難以被即時檢測到，導致漏檢和報警延遲的情況時有發生，無法迅速響應以避免不良品的產生。此外，一旦機臺因斷線而觸發報警并停機，大量散亂的切割線會纏繞在槽輪上，并可能穿透在制品的縫隙，劃傷產品，嚴重影響產品質量。同時，處理這些散亂的鋼線和重新布線的過程耗時費力，不僅降低了生產效率，還可能引發產品線痕缺陷及后續加工過程中的質量問題。
技術實現思路
1、基于上述問題，本申請提供了一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統、方法及介質，不僅提高了生產安全性和效率，還降低了維護成本和產品不良率，為碳化硅晶體切割工藝的優化和降本增效提供
2、本申請實施例公開了如下技術方案：
3、第一方面，本申請公開了一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括：斷線報警器和阻抗檢測桿，所述阻抗檢測桿通過導線與所述斷線報警器連接；
4、所述斷線報警器用于，若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
5、可選地，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括多組阻抗檢測桿，每組所述阻抗檢測桿分別設置于導輪的一側；
6、所述斷線報警器具體用于，若通過任意一組或多組阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
7、可選地，其特征在于，所述斷線報警器還用于，在觸發所述報警指示后，若通過所述斷線報警器的復位端口接收到復位脈沖，則解除所述報警指示。
8、可選地，其特征在于，所述斷線報警器具體用于，
9、每預設時長獲取歷史斷線數據，所述歷史斷線數據包括斷線時間、斷線位置、斷線前后阻抗變化值、斷線類型和斷線環境中的至少一種；
10、根據所述歷史斷線數據調整所述預設阻抗閾值；
11、若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于調整后的預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
12、可選地，所述斷線報警器具體用于，若根據所述阻抗檢測桿的輸出電流和輸出電壓計算得到所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
13、第二方面，本申請公開了一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法，應用于碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括斷線報警器和阻抗檢測桿，所述阻抗檢測桿通過導線與所述斷線報警器連接；所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法包括：
14、若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
15、可選地，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括多組阻抗檢測桿，每組所述阻抗檢測桿分別設置于導輪的一側；
16、所述若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示，包括：
17、若通過任意一組或多組阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
18、可選地，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法還包括：
19、在觸發所述報警指示后，若通過所述斷線報警器的復位端口接收到復位脈沖，則解除所述報警指示。
20、可選地，所述若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示，包括：
21、每預設時長獲取歷史斷線數據，所述歷史斷線數據包括斷線時間、斷線位置、斷線前后阻抗變化值、斷線類型和斷線環境中的至少一種；
22、根據所述歷史斷線數據調整所述預設阻抗閾值；
23、若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于調整后的預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
24、可選地，所述若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示，包括：
25、若根據所述阻抗檢測桿的輸出電流和輸出電壓計算得到所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
26、第三方面，本申請公開了一種計算機可讀介質，其上存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執行時，實現如第二方面所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法的各個步驟。
27、相較于現有技術，本申請具有以下有益效果：
28、本申請實施例提供了一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統、方法及介質，該系統包括斷線報警器和阻抗檢測桿，斷線報警器用于，若通過阻抗檢測桿檢測到，阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。本申請的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，通過集成斷線報警器和阻抗檢測桿，通過將阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值和預設阻抗閾值進行比較，在測量得到的阻抗值小于預設阻抗閾值時即可判定切割線斷裂，并通過報警指示迅速通知操作人員，實現了對切割線狀態的實時檢測與快速響應，不僅提高了生產安全性和效率，還降低了維護成本和產品不良率，為碳化硅晶體切割工藝的優化和降本增效提供了有力支持。
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1.一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括：斷線報警器和阻抗檢測桿，所述阻抗檢測桿通過導線與所述斷線報警器連接；
2.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括多組阻抗檢測桿，每組所述阻抗檢測桿分別設置于導輪的一側；
3.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述斷線報警器還用于，在觸發所述報警指示后，若通過所述斷線報警器的復位端口接收到復位脈沖，則解除所述報警指示。
4.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述斷線報警器具體用于，
5.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述斷線報警器具體用于，若根據所述阻抗檢測桿的輸出電流和輸出電壓計算得到所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
6.一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法，其特征在于，應用于碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括斷線報警器和阻抗
7.根據權利要求6所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括多組阻抗檢測桿，每組所述阻抗檢測桿分別設置于導輪的一側；
8.根據權利要求6所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法還包括：
9.根據權利要求6所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法，其特征在于，所述若通過所述阻抗檢測桿檢測到，所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示，包括：
10.一種計算機可讀介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執行時，實現如權利要求6至9中任一項所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測方法的各個步驟。
...【技術特征摘要】
1.一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括：斷線報警器和阻抗檢測桿，所述阻抗檢測桿通過導線與所述斷線報警器連接；
2.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統包括多組阻抗檢測桿，每組所述阻抗檢測桿分別設置于導輪的一側；
3.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述斷線報警器還用于，在觸發所述報警指示后，若通過所述斷線報警器的復位端口接收到復位脈沖，則解除所述報警指示。
4.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述斷線報警器具體用于，
5.根據權利要求1所述的碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統，其特征在于，所述斷線報警器具體用于，若根據所述阻抗檢測桿的輸出電流和輸出電壓計算得到所述阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。
6.一種碳化硅...
【專利技術屬性】
技術研發人員：董亞南，張育唯，王中奇，鄒宇，張平，婁艷芳，彭同華，楊建，
申請(專利權)人：江蘇天科合達半導體有限公司，
類型：發明
國別省市：
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